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SiC反射镜表面改性研究进展 被引量：5
1
作者 唐惠东 李龙珠 +2 位作者 孙媛媛 谭寿洪 许俊宇 《江苏陶瓷》 CAS 2011年第6期8-12,共5页
采用SiC陶瓷作反射镜是目前国际上的一个研究热点。但是SiC陶瓷用作反射镜时存在各种类型的缺点,必须对SiC反射镜表面进行改性。本文综述了各种表面改性方法、制备机理以及优缺点,最后展望了未来SiC反射镜的发展方向:即低成本化和大型化。
关键词 SiC反射镜 表面改性 CVD SIC涂层 PVD Si涂层
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