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Si(001)面弛豫表面构型与电子结构的第一性原理 被引量:3
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作者 秦芳 王茺 +1 位作者 邓荣斌 杨宇 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 2009年第3期143-146,共4页
采用基于第一性原理的密度泛函方法对Si(001)表面进行理论研究,通过几何优化得到Si(001)表面的稳定结构。在结构优化的基础上,针对该表面研究表面能和原子弛豫与模型中原子层数和真空层厚度的关系。研究结果表明:模型中原子层数和真空... 采用基于第一性原理的密度泛函方法对Si(001)表面进行理论研究,通过几何优化得到Si(001)表面的稳定结构。在结构优化的基础上,针对该表面研究表面能和原子弛豫与模型中原子层数和真空层厚度的关系。研究结果表明:模型中原子层数和真空层厚度对表面的表面能和原子构型有较大影响。当原子层数为8层,真空层厚度为1 nm时,表面能与原子弛豫程度趋于稳定;与理想晶格相比,表面弛豫导致表面层的电子结构和键合特性发生很大变化。弛豫后,体系能量降为最低,结构趋于更加稳定。 展开更多
关键词 si(001) 表面弛豫 态密度 第一性原理
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Si(001)衬底上闪锌矿ZnO的制备与分析 被引量:4
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作者 詹华瀚 黄斌旺 +3 位作者 吴雅苹 陈晓航 李书平 康俊勇 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期209-213,共5页
采用分子束外延方法在室温下于Si(001)表面上生长ZnO材料。实验发现:样品为闪锌矿和六角结构的ZnO混合多晶薄膜,其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构。在不同参数的高温退火后,这些梯形台柱将变小,形成梯形纳米环,... 采用分子束外延方法在室温下于Si(001)表面上生长ZnO材料。实验发现:样品为闪锌矿和六角结构的ZnO混合多晶薄膜,其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构。在不同参数的高温退火后,这些梯形台柱将变小,形成梯形纳米环,或分解为较小的纳米柱及其团簇结构等。分析表明:ZnO混合多晶薄膜的形成,以及表面纳米台柱的演变,与Si(001)衬底、较低温的生长温度及热效应等因素相关联。 展开更多
关键词 闪锌矿结构 氧化锌 分子束外延生长 硅(001)
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Microstructure of Epitaxial Er2O3 Thin Film on Oxidized Si (111) Substrate
3
作者 薛宪营 王玉柱 +5 位作者 贾全杰 王勇 陈雨 姜晓明 朱燕艳 蒋最敏 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2007年第6期1649-1652,共4页
Er2O3 thin films are grown on oxidized Si (111) substrates by molecular beam epitaxy. The sample grown under optimized condition is characterized in its microstructure, surface morphology and thickness using grazing... Er2O3 thin films are grown on oxidized Si (111) substrates by molecular beam epitaxy. The sample grown under optimized condition is characterized in its microstructure, surface morphology and thickness using grazing incidence x-ray diffraction (GIXRD), atomic force morphology and x-ray reflectivity. GIXRD measurements reveal that the Er2O3 thin film is a mosaic of single-crystal domains. The interplanar spacing d in-plane residual strain tensor ell and the strain relaxation degree ε are calculated. The Poisson ratio μ obtained by conventional x-ray diffraction is in good agreement with that of the bulk Er2O3. In-plane strains in three sets of planes, i.e. (440), (404), and (044), are isotropic. 展开更多
关键词 ATOMIC-LAYER DEPOsiTION ERBIUM OXIDE-FILMS GROWTH si(100) siLICON si(001)
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小富勒烯C_(28)在Si(001)-c(2×1)表面吸附的密度泛函理论研究
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作者 樊婷 姚淑娟 +2 位作者 周成冈 韩波 吴金平 《武汉大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期655-660,共6页
采用第一原理密度泛函理论方法研究了小富勒烯C28在Si(001)-c(2×1)表面的化学吸附机理,分析了吸附前后基底和富勒烯构型的变化、吸附能、电荷转移以及电子态密度.结果表明:C28与Si(001)表面具有很强的相互作用;基底和富勒烯分子发... 采用第一原理密度泛函理论方法研究了小富勒烯C28在Si(001)-c(2×1)表面的化学吸附机理,分析了吸附前后基底和富勒烯构型的变化、吸附能、电荷转移以及电子态密度.结果表明:C28与Si(001)表面具有很强的相互作用;基底和富勒烯分子发生了晶格松弛和结构扭曲;C28位于Si(001)表面沟渠位置的吸附构型最稳定,吸附能达到5.00 eV;Si(001)表面沉积C28后表面导电性能明显增强. 展开更多
关键词 密度泛函理论 C28 si(001) 化学吸附
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Size Effects for the Adsorption of Alkali Metal Atoms on the Si(001) Surface
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作者 NI Bi-Lian HU Jian-Ming +1 位作者 ZHAO Yong-Gang LI Yi 《Chinese Journal of Structural Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2015年第6期837-852,共16页
The adsorptions of a series of alkali metal (AM) atoms, Li, Na, K, Rb and Cs, on a Si(001)-2 × 2 surface at 0.25 monolayer coverage have been investigated systematically by means of density functional theory ... The adsorptions of a series of alkali metal (AM) atoms, Li, Na, K, Rb and Cs, on a Si(001)-2 × 2 surface at 0.25 monolayer coverage have been investigated systematically by means of density functional theory calculations. The effects of the size of AM atoms on the Si(001) surface are focused in the present work by examining the most stable adsorption site, diffusion path, band structure, charge transfer, and the change of work function for different adsorbates. Our results suggest that, when the interactions among AM atoms are neglectable, these AM atoms can be divided into three classes. For Li and Na atoms, they show unique site preferences, and correspond to the strongest and weakest AM-Si interactions, respectively. In particular, the band structure calculation indicates that the nature of Li-Si interaction differs significantly from others. For the adsorptions of other AM atoms with larger size (namely, K, Rb and Cs), the similarities in the atomic and electronic structures are observed, implying that the atom size has little influence on the adsorption behavior for these large AM atoms on the Si(001) surface. 展开更多
关键词 size effects ADSORPTION alkali metal atoms si001 surface
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Lattice strains and composition of self—organized Ge dots grown on Si(001)
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作者 Z.M.Jiang X.M.Jiang 等 《同步辐射装置用户科技论文集》 2000年第1期430-432,共3页
关键词 硅(001) 自组装 锗斑 X射线衍射 半导体薄膜 表面生长 si(001)
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HfO_2/Si(001)界面层的TEM研究
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作者 卓木金 马秀良 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第B08期81-82,共2页
关键词 si(001) HFO2 TEM 界面层 高K栅介质 微电子技术 MOS器件 等效厚度
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金刚石表面台阶结构比硅平面更稳定
8
《磨料磨具通讯》 2008年第1期21-22,共2页
众所周知,当表面上存在台阶结构时,有可能导致悬键或额外应变的发生,因而一般不如平面稳定,这种情形对于Si(001)表面确实如此。但是,对于金刚石而言,尽管和硅有着相同的晶体结构,其(001)表面的台阶结构却和硅大相径庭。
关键词 表面台阶 平面稳定 金刚石 结构比 si(001) 台阶结构 晶体结构
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金刚石表面台阶结构比硅平面更稳定
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《磨料磨具通讯》 2008年第2期26-27,共2页
众所周知,当表面上存在台阶结构时,有可能导致悬键或额外应变的发生,因而一般不如平面稳定,这种情形对于Si(001)表面确实如此。但是,对于金刚石而言,尽管和硅有着相同的晶体结构,其(001)表面的台阶结构却和硅大相径庭。
关键词 表面台阶 平面稳定 金刚石 结构比 si(001) 台阶结构 晶体结构
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不同温度下Si(001)表面各种亚稳态结构的分子动力学模拟 被引量:2
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作者 王昶清 贾瑜 +5 位作者 马丙现 王松有 秦臻 王飞 武乐可 李新建 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期4313-4318,共6页
采用StillingerWeber势对不同温度下解理Si(001)表面的原子几何结构进行等温分子动力学模拟.模拟结果表明Si(001)表面除主要的p(2×1)结构之外,较低温度下还会有双悬挂键的单原子结构存在;较高温度下表面还会存在c(2×2)和三聚... 采用StillingerWeber势对不同温度下解理Si(001)表面的原子几何结构进行等温分子动力学模拟.模拟结果表明Si(001)表面除主要的p(2×1)结构之外,较低温度下还会有双悬挂键的单原子结构存在;较高温度下表面还会存在c(2×2)和三聚体等亚稳态结构;接近表面熔化温度时,双悬挂键单原子、c(2×2)和三聚体等亚稳态结构都消失,表面只存在稳定的p(2×1)结构. 展开更多
关键词 分子动力学模拟 表面结构 si(001)表面 Stillinger-Weber势 si(001) 亚稳态结构 近表面 低温度 原子结构 模拟结果 几何结构 熔化温度
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Si(001)表面硅氧团簇原子与电子结构的第一性原理研究 被引量:2
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作者 杨冲 杨春 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期5362-5369,共8页
在周期性边界条件下的k空间中,采用基于密度泛函理论的第一性原理广义梯度近似方法,对建立的规则对称型结构(A)、周期性非对称型结构(B)、周期性非对称型结构(C)、不规则型结构(D)四种可能的Si(001)表面硅氧团簇的结构模型进行了优化计... 在周期性边界条件下的k空间中,采用基于密度泛函理论的第一性原理广义梯度近似方法,对建立的规则对称型结构(A)、周期性非对称型结构(B)、周期性非对称型结构(C)、不规则型结构(D)四种可能的Si(001)表面硅氧团簇的结构模型进行了优化计算.结果表明优化后的表面结构呈无定形状,并且优化后的B,C,D三种模型的表面结构具有类似SiO2的四面体结构的几何特征.此外,通过电子局域函数图以及Mulliken布居分析发现硅氧团簇中的Si—O键既有明显的离子键成分,也有一定的共价键成分. 展开更多
关键词 si(001)表面 硅氧团簇 密度泛函理论 第一性原理
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Si/Ge_n/Si(001)异质结薄膜的掠入射荧光X射线吸收精细结构研究 被引量:2
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作者 潘志云 孙治湖 +2 位作者 谢治 闫文盛 韦世强 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期3344-3349,共6页
利用掠入射荧光X射线吸收精细结构(XAFS)方法研究了在400℃的温度下分子束外延生长的Si/Gen/Si(001)异质结薄膜(n=1,2,4和8个原子层)中Ge原子的局域环境结构.结果表明,在1至2个Ge原子层(ML)生长厚度的异质结薄膜中,Ge原子的第一近邻配... 利用掠入射荧光X射线吸收精细结构(XAFS)方法研究了在400℃的温度下分子束外延生长的Si/Gen/Si(001)异质结薄膜(n=1,2,4和8个原子层)中Ge原子的局域环境结构.结果表明,在1至2个Ge原子层(ML)生长厚度的异质结薄膜中,Ge原子的第一近邻配位主要是Si原子.随着Ge原子层厚度增加到4ML,Ge原子的最近邻配位壳层中的Ge-Ge配位的平均配位数增加到1.3.当Ge原子层厚度增加到8ML时,第一配位壳层中的Ge-Ge配位占的比例只有55%.这表明在400℃的生长条件下,Ge原子有很强的迁移到Si覆盖层的能力.随着Ge层厚度从1增加到2,4和8ML,Ge原子迁移到Si覆盖层的量由0.5ML分别增加到1.5,2.0和3.0ML.认为在覆盖Si过程中Ge原子的迁移主要是通过产生Ge原子表面偏析来降低表面能和Ge层的应变能. 展开更多
关键词 XAFS si/Gen/si(001)异质膜 迁移效应
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分子束外延GaAs/Si(001)材料反相畴的湮灭机理 被引量:3
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作者 肖春阳 王俊 +10 位作者 李家琛 王海静 贾艳星 马博杰 刘倬良 明蕊 白一鸣 黄永清 任晓敏 罗帅 季海铭 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第23期33-38,共6页
从第一性原理出发,计算了不同温度下GaAs材料中沿{110}、{111}和{112}面传播的反相畴(APD)形成能,探索了反相畴的湮灭机理。结果表明,当温度达到660 K以上时,APD最稳定的传播晶面从{110}转变到{112}。通过分子束外延(MBE)技术,在无偏角S... 从第一性原理出发,计算了不同温度下GaAs材料中沿{110}、{111}和{112}面传播的反相畴(APD)形成能,探索了反相畴的湮灭机理。结果表明,当温度达到660 K以上时,APD最稳定的传播晶面从{110}转变到{112}。通过分子束外延(MBE)技术,在无偏角Si(001)衬底上生长了1.4μm厚的GaAs外延层。测试结果表明,随着生长温度的升高,APD密度降低,不同传播面的湮灭现象增加。反相畴在较高的生长温度下更易于扭折到{112}面,从而与其他反相畴相遇并发生湮灭。该结果对全MBE生长高性能无偏角硅基激光器研究具有重要意义。 展开更多
关键词 材料 硅基激光器 第一性原理 分子束外延 反相畴 无偏角si(001)
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Au吸附清洁及H化Si(001)表面的第一原理研究 被引量:1
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作者 李同伟 琚伟伟 +1 位作者 汤正新 曹万民 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A01期977-978,共2页
用第一原理理论研究了Au吸附于清洁及H化Si(001)表面的特性。结果表明,对于清洁表面,Au原子的吸附能够打断衬底Si层的二聚体化学键;在低温下,Au原子停留在表面,但由于具有较小的扩散势垒,比较容易扩散到Si衬底中。而Au原子在H-Si(001)... 用第一原理理论研究了Au吸附于清洁及H化Si(001)表面的特性。结果表明,对于清洁表面,Au原子的吸附能够打断衬底Si层的二聚体化学键;在低温下,Au原子停留在表面,但由于具有较小的扩散势垒,比较容易扩散到Si衬底中。而Au原子在H-Si(001)表面的吸附则不会打破衬底Si二聚体键,这一点与清洁表面的吸附性质完全相反。 展开更多
关键词 第一原理 AU si 清洁表面 H-si(001)
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MBE自组装量子点生长和结构形态研究 被引量:1
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作者 吴巨 金鹏 +4 位作者 吕小晶 王占国 曾一平 王宝强 姚然 《微纳电子技术》 CAS 2008年第8期435-439,457,共6页
综述了对自组装量子点形态和生长过程所做的探讨和研究。介绍了关于量子点成核和形态的热力学理论、量子点生长过程的计算机模拟及Ge/Si(001)和InAs/GaAs(001)量子点生长和形态的实验观察。鉴于InAs/GaAs(001)体系的复杂性,把对InAs量... 综述了对自组装量子点形态和生长过程所做的探讨和研究。介绍了关于量子点成核和形态的热力学理论、量子点生长过程的计算机模拟及Ge/Si(001)和InAs/GaAs(001)量子点生长和形态的实验观察。鉴于InAs/GaAs(001)体系的复杂性,把对InAs量子点的观察和研究分为"微观"和"宏观"两种。微观研究对象包括量子点原子尺度上的结构、量子点表面小晶面的晶体学的精确取向等,这些性质可能受热运动的影响比较大,在一定程度上是随机的,它们代表了量子点生长行为的复杂性;宏观研究的对象是指量子点密度、纳米尺度形态等大量粒子统计意义上的集体行为,这些性质和行为可能更具有实际意义。因此作者认为,目前研究量子点生长和形态更为有效的方法应该是探寻以量子点宏观行为所表征的简单性。重点介绍中科院半导体所半导体材料重点实验室最近所做的对InAs/GaAs(001)量子点生长过程的实验观察。结果表明,在一般生长条件下(富As,500℃,0.1ML/s),InAs量子点成核和生长应该都是连续的,没有经历被普遍认为的不连续(一级)相变。按照作者的观察,把InAs量子点成核看作是连续(二级)相变更为贴切。 展开更多
关键词 分子束外延 SK生长模式 量子点 形态和生长 Ge/si(001) InAs/GaAs(001)
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吸附在Si(001)表面二聚体相互作用的分子动力学模拟 被引量:2
16
作者 王昶清 唐春娟 +1 位作者 赵慧仙 贾瑜 《河南大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2009年第6期581-585,共5页
采用Stillinger-Weber原子间相互作用势,对吸附在Si(001)表面上的二聚体之间的相互作用进行了分子动力学模拟.通过对它们之间相互作用的分子动力学模拟,发现不同的二聚体之间相互作用会形成不同类型的四聚体结构.本文给出两种通过二聚... 采用Stillinger-Weber原子间相互作用势,对吸附在Si(001)表面上的二聚体之间的相互作用进行了分子动力学模拟.通过对它们之间相互作用的分子动力学模拟,发现不同的二聚体之间相互作用会形成不同类型的四聚体结构.本文给出两种通过二聚体之间的相互作用形成四聚体结构的途径.模拟还发现这样的四聚体结构在一定温度下是相当稳定的,而且它们的结合位形类似于B型台阶,有利于吸附新的原子形成外延层. 展开更多
关键词 Stillinger—Weber势 分子动力学模拟 二聚体 si(001)表面 四聚体 扩散
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Si原子在Si(001)表面及其台阶附近扩散的分子动力学模拟 被引量:1
17
作者 王昶清 秦臻 +1 位作者 王春雷 贾瑜 《洛阳理工学院学报(自然科学版)》 2008年第2期8-12,17,共6页
采用Stillinger-Weber势,利用分子动力学方法模拟了Si原子在Si(001)表面和该表面单层台阶附近扩散的动力学过程。(1)给出单个Si原子在Si(001)表面垂直于二聚体排方向扩散的扩散路径和扩散机制。Si原子在Si(001)表面垂直于二聚体排方向... 采用Stillinger-Weber势,利用分子动力学方法模拟了Si原子在Si(001)表面和该表面单层台阶附近扩散的动力学过程。(1)给出单个Si原子在Si(001)表面垂直于二聚体排方向扩散的扩散路径和扩散机制。Si原子在Si(001)表面垂直于二聚体排方向扩散能够减弱Si原子在Si(001)表面扩散的各向异性。(2)模拟不仅给出与以往文献中原子从SA台阶下台面扩散到上台面相同的扩散路径而且还给出原子从成键的SB台阶上台面扩散到下台面的一种新的扩散机制:增原子通过与表面原子之间的交换。从而解释实验上观察到的Si(001)表面双层原子台阶形成的机制。无论是单个Si原子在Si(001)表面垂直于二聚体排方向扩散还是在Si(001)表面的单层台阶附近扩散,增原子和表面原子之间的交换机制都起着重要的作用。 展开更多
关键词 表面扩散 分子动力学模拟 台阶 si(001)表面 Stillinger—Weber势
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应变平衡超晶格改善GaAs/Si(001)表面研究 被引量:2
18
作者 李家琛 王俊 +11 位作者 肖春阳 王海静 贾艳星 刘倬良 马博杰 明蕊 葛庆 翟浩 林枫 何玮钰 黄永清 任晓敏 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期30-37,共8页
本文提出了一种有效改善GaAs/Si(001)材料表面形貌和晶体质量的应变平衡超晶格结构及其制备方案。在无偏角Si(001)衬底上,采用金属有机化学气相沉积技术生长了具有应变平衡超晶格结构的GaAs外延层,并在相同条件下仅生长了GaAs外延层作... 本文提出了一种有效改善GaAs/Si(001)材料表面形貌和晶体质量的应变平衡超晶格结构及其制备方案。在无偏角Si(001)衬底上,采用金属有机化学气相沉积技术生长了具有应变平衡超晶格结构的GaAs外延层,并在相同条件下仅生长了GaAs外延层作为比较。采用原子力显微镜、光致荧光光谱仪和双晶X射线衍射仪对两种样品进行表征与测试。测试结果表明:与未采用该方案生长的样品相比,采用应变平衡超晶格结构方案生长的样品的均方根表面粗糙度由1.92 nm(10μm×10μm)降至1.16 nm(10μm×10μm),光致荧光光谱峰值强度提高5倍以上,光致荧光光谱峰值半峰全宽从31.6 nm降为23.4 nm,XRD曲线峰值半峰全宽降低了30.4%,X射线衍射峰值强度提升了472.2%。该方案可显著改善GaAs/Si(001)材料的表面形貌及晶体质量,对制备硅基电子和光电子器件具有重要意义。 展开更多
关键词 材料 硅基砷化镓材料 表面粗糙度 应变平衡超晶格 金属有机化学气相沉积
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不同覆盖度下Li原子在Si(001)表面上的吸附构型和电子结构 被引量:2
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作者 倪碧莲 蔡亚萍 +2 位作者 李奕 丁开宁 章永凡 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1535-1544,共10页
采用基于赝势平面波基组的密度泛函理论,对不同Li原子覆盖度下Li/Si(001)体系的吸附构型、电子结构以及吸附Li原子对表面性质的影响进行了系统研究.计算结果表明,在所考察的覆盖度范围内,Li原子倾向于吸附在相邻两个Si-Si二聚体之间各... 采用基于赝势平面波基组的密度泛函理论,对不同Li原子覆盖度下Li/Si(001)体系的吸附构型、电子结构以及吸附Li原子对表面性质的影响进行了系统研究.计算结果表明,在所考察的覆盖度范围内,Li原子倾向于吸附在相邻两个Si-Si二聚体之间各种对称性较高的空穴位,其中覆盖度为0.75ML(monolayer)时具有最小的平均吸附能.由能带结构分析结果可知,随着覆盖度的增大,Si(001)表面存在由半导体→导体→半导体的变化过程.在覆盖度为1.00ML时,由于表层二聚体均受到显著破坏,使得体系带隙明显增大.吸附后,有较多电子从Li原子转移到底物,导致Si(001)表面功函显著下降,并随着覆盖度的增加表面功函呈现振荡变化.此外,从热力学稳定性角度上看,覆盖度为0.75ML的Li/Si(001)表面较难形成. 展开更多
关键词 密度泛函理论 碱金属 表面吸附 能带结构 si(001)表面
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Investigation of GaN Growth Directly on Si (001) by ECR Plasma Enhanced MOCVD 被引量:1
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作者 徐茵 顾彪 +2 位作者 秦福文 李晓娜 王三胜 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第12期1238-1244,共7页
Direct growth of GaN films on Si(001) substrate at low temperatures (620~720℃) by electron cyclotron resonance (ECR) microwave plasma enhanced metalorganic chemical vapor deposition (PEMOCVD).The crystalline phase s... Direct growth of GaN films on Si(001) substrate at low temperatures (620~720℃) by electron cyclotron resonance (ECR) microwave plasma enhanced metalorganic chemical vapor deposition (PEMOCVD).The crystalline phase structures of the films are investigated.The results of high resolution transmission electron microscopy (HRTEM) and X ray diffraction (XRD) indicate that high c axis oriented crystalline wurtzite GaN is grown on Si(001) but there is an amorphous layer formed naturally at GaN/Si interface.Both faces of the amorphous layer are flat and sharp,and the thickness of the layer is 2nm approximately cross the interface.The analysis supports that β GaN phase is not formed owing to the N x Si y amorphous layer induced by the reaction between N and Si during the initial nucleation stage.The results of XRD and atomic force microscopy (AFM) indicate that the conditions of substrate surface cleaned in situ by hydrogen plasma,GaN initial nucleation and subsequent growth are very important for the crystalline quality of GaN films. 展开更多
关键词 PEMOCVD GaN/si(001) interface crystalline phase structure
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