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题名薄膜厚度对Si基SiO_2薄膜力学性能的影响
被引量:2
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作者
聂晓梦
李继军
郎风超
张伟光
赵春旺
邢永明
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机构
内蒙古工业大学理学院
内蒙古自治区土木工程结构与力学重点实验室
上海海事大学文理学院
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出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2019年第4期646-651,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(11562016
11762013
+3 种基金
11762014)
内蒙古自然科学基金项目(2018MS01013)
国家留学基金项目(20145049)
内蒙古工业大学科研项目(X201713)资助
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文摘
为了研究薄膜厚度对Si基SiO_2薄膜力学性能的影响规律,利用纳米压痕技术及有限元模拟方法对不同厚度的Si基SiO_2薄膜材料进行测试,分析了不同厚度薄膜的硬度及弹性模量等力学性能,讨论了不同压深膜厚比对不同厚度薄膜弹性恢复率的影响,并在试验的基础上,建立了有限元模型,模拟了不同厚度薄膜在相同压深下的载荷位移关系,分析了薄膜的弹性恢复性能。结果表明:SiO_2薄膜越厚其弹性模量越小,而薄膜的硬度在薄膜较薄时压痕的尺寸效应更明显,并利用模拟进一步分析得出薄膜越薄弹性恢复性能越好。
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关键词
si基sio2薄膜
纳米压痕
有限元模拟
弹性模量
硬度
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Keywords
si-based sio2 thin films
nanoindentation
FEM
elastic modulus
hardness
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分类号
TG147
[一般工业技术—材料科学与工程]
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