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13nm窄带Si／Mo／C多层膜反射镜
1
作者
易强
黄秋实
+7 位作者
王香梅
杨洋
张众
王占山
徐荣昆
彭太平
周洪军
霍同林
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期14-19,共6页
基于多层膜准单色覆盖50-1500eV能谱的多能点发射光谱测量系统可获得“聚龙一号”装置Z-pinch等离子体X射线源的能谱结构和总能量等信息。考虑装置的条件,在13nm处的多层膜需要工作在掠入射角60°。常规的Mo/Si多层膜尽管反射率最高...
基于多层膜准单色覆盖50-1500eV能谱的多能点发射光谱测量系统可获得“聚龙一号”装置Z-pinch等离子体X射线源的能谱结构和总能量等信息。考虑装置的条件,在13nm处的多层膜需要工作在掠入射角60°。常规的Mo/Si多层膜尽管反射率最高,但其带宽较大,不能满足多层膜准单色的要求。因此提出将Mo和C共同作为多层膜的吸收层材料与Si组成Si/Mo/C多层膜,可使反射率降低较小而带宽明显减小。采用磁控溅射方法制备了Si/Mo/C多层膜,其掠入射X射线反射测量表面多层膜的结构清晰完整,同步辐射工作条件下反射率测量,得到Si/Mo/C多层膜在13nm处和掠入射角60°时的反射率为56.5%,带宽为0.49nm（3.7eV）。
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关键词
多层膜
mo
/
si
si
/
mo
/
c
Z-PIN
c
H
光谱诊断
反射率
带宽
下载PDF
职称材料
题名
13nm窄带Si／Mo／C多层膜反射镜
1
作者
易强
黄秋实
王香梅
杨洋
张众
王占山
徐荣昆
彭太平
周洪军
霍同林
机构
中国工程物理研究院核物理与化学研究所
同济大学物理科学与工程学院
中国科学技术大学国家同步辐射实验室
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期14-19,共6页
基金
国家自然科学基金项目(11443007,11505129,U1430131)
国家重大科学仪器设备开发项目(2012YQ13012505,2012YQ24026402)
上海市浦江人才计划(15PJ1408000)
文摘
基于多层膜准单色覆盖50-1500eV能谱的多能点发射光谱测量系统可获得“聚龙一号”装置Z-pinch等离子体X射线源的能谱结构和总能量等信息。考虑装置的条件,在13nm处的多层膜需要工作在掠入射角60°。常规的Mo/Si多层膜尽管反射率最高,但其带宽较大,不能满足多层膜准单色的要求。因此提出将Mo和C共同作为多层膜的吸收层材料与Si组成Si/Mo/C多层膜,可使反射率降低较小而带宽明显减小。采用磁控溅射方法制备了Si/Mo/C多层膜,其掠入射X射线反射测量表面多层膜的结构清晰完整,同步辐射工作条件下反射率测量,得到Si/Mo/C多层膜在13nm处和掠入射角60°时的反射率为56.5%,带宽为0.49nm（3.7eV）。
关键词
多层膜
mo
/
si
si
/
mo
/
c
Z-PIN
c
H
光谱诊断
反射率
带宽
Keywords
multilayer
mo
/
si
si
/
mo
/
c
Z-pin
c
h
spe
c
trum diagnosti
c
s
refleetivity
bandwidth
分类号
O434.2 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
13nm窄带Si／Mo／C多层膜反射镜
易强
黄秋实
王香梅
杨洋
张众
王占山
徐荣昆
彭太平
周洪军
霍同林
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
0
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