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题名灵敏度温度自补偿薄膜压力传感器的研制
被引量：4
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作者
李小换
张世名
邹其利
郭志萍
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机构
北京遥测技术研究所
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出处
《遥测遥控》
2007年第S1期153-157,共5页
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文摘
溅射薄膜压力传感器具有长期稳定性好、耐高温等优点,但是由于受弹性体材料自身特性的影响,传感器的灵敏度温度误差大,大约在1.5×10-4~2×10-4/F.S℃,是导致传感器测量误差大的原因之一。在弹性体上设计加工灵敏度温度补偿电阻,使应变电阻和灵敏度温度误差补偿电阻可以在同一时间感受温度,比在后续电路上进行温度补偿,温度响应快。对灵敏度温度自补偿压力敏感元件进行设计与研制。实测结果表明,采用灵敏度温度自补偿工艺技术的敏感元件,灵敏度温度误差较小,可以控制在0.25×10-4/F.S℃以下,传感器的温度性能得到了提高。
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关键词
薄膜压力传感器
灵敏度温度自补偿
灵敏度温度误差
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Keywords
Sputtering thin-film pressure sensor
self-temperature-compensation
Sensitivity-temperature-error
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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