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高强双相钢表面选择性氧化行为对磷化性能的影响 被引量:13
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作者 郝玉林 蔡宁 +2 位作者 姚士聪 龙袁 黎敏 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第8期309-315,341,共8页
目的确定高强双相钢表面Si、Mn元素选择性氧化行为对磷化性能的影响,以改善高强双相钢的磷化性能。方法在具备不同表面选择性氧化行为的试样表面制备磷化膜。采用X射线光电子能谱仪(XPS)、辉光光谱仪(GDS)、透射电镜(TEM)等手段,分析高... 目的确定高强双相钢表面Si、Mn元素选择性氧化行为对磷化性能的影响,以改善高强双相钢的磷化性能。方法在具备不同表面选择性氧化行为的试样表面制备磷化膜。采用X射线光电子能谱仪(XPS)、辉光光谱仪(GDS)、透射电镜(TEM)等手段,分析高强双相钢表面Si、Mn元素的选择性氧化行为,通过扫描电镜观察磷化膜的结晶状态,并采用电化学技术分析钢板在磷化液中的反应过程。结果当高强钢表面Si含量较少时,表面氧化物主要以弥散分布的小颗粒状MnAl2O4形态存在,能够加快在磷化液中酸蚀反应速度,磷化晶粒均匀、致密,尺寸小于4mm,覆盖率为100%。当高强钢表面Si含量较高时,形成的Mn2SiO4容易在晶界聚集,颗粒尺寸较大,减慢了酸蚀反应速度,磷化晶粒尺寸大于8μm,均匀致密性差。而提高材料表面Mn元素的富集程度,可以减轻Mn2SiO4聚集的现象,提高酸蚀反应速度,磷化晶粒均匀、致密,尺寸小于4mm,覆盖率100%。结论减轻双相高强钢表面Si元素的富集程度,而提升Mn元素的富集程度,可以加快钢板在磷化液中的酸蚀反应,进而改善磷化性能。 展开更多
关键词 双相钢 选择性氧化 磷化 酸蚀反应 Mn2SiO4 MnAl2O4
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不同酸蚀技术用于恒切牙冠折断冠再接的临床观察 被引量:4
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作者 苏颖颖 徐勤 杜启涛 《大连医科大学学报》 CAS 2016年第6期565-568,共4页
目的探讨3种不同酸蚀技术用于恒切牙冠折断冠再接的临床疗效。方法 63颗冠折恒切牙分为未露髓25颗,露髓38颗,按就诊顺序分别用随机数字表法各分为A、B、C 3组(每组两项共计21颗),其中A组未露髓8颗,B组8颗,C组9颗。根据牙髓暴露情况及牙... 目的探讨3种不同酸蚀技术用于恒切牙冠折断冠再接的临床疗效。方法 63颗冠折恒切牙分为未露髓25颗,露髓38颗,按就诊顺序分别用随机数字表法各分为A、B、C 3组(每组两项共计21颗),其中A组未露髓8颗,B组8颗,C组9颗。根据牙髓暴露情况及牙根发育情况对牙髓做间接盖髓术、直接盖髓术、活髓切断术或根尖诱导成形术。应用"内部倒凹+舌侧排溢道+唇侧洞斜面"技术预备牙体组织与断冠。A组使用全酸蚀粘结技术(35%Gluma+Single Bond 2),B组使用自酸蚀粘结技术(3M Easy One),C组使用选择性釉质酸蚀加自酸蚀粘结技术(35%Gluma+3M Easy One)进行自体牙断冠再接。随访2年评价3组的成功率和术后1周的敏感状况。结果 3组的成功率分别为90.5%、85.7%和90.5%,术后一过性敏感率分别为25%、0%和0%,3组间比较差异均无统计学意义(P>0.05)。结论不同酸蚀技术用于恒切牙冠折断冠再接的临床疗效是相同的。 展开更多
关键词 断冠再接 全酸蚀粘结 自酸蚀粘结 选择性酸蚀
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Cu-Fe-Cr原位复合材料的纤维相结构 被引量:5
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作者 孙世清 郭志猛 殷声 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期658-661,共4页
通过感应熔炼和冷拔变形制备了Cu 16Fe 2Cr原位复合材料 ,将铜基体选择腐蚀后提取出了纤维 ,采用SEM和TEM观察分析了纤维相结构。在较低的应变量 (η =1.6 7)时 ,纤维不均匀 ,随着变形量的增大 (η =5 .42 ) ,纤维外形变得均匀。在 η =... 通过感应熔炼和冷拔变形制备了Cu 16Fe 2Cr原位复合材料 ,将铜基体选择腐蚀后提取出了纤维 ,采用SEM和TEM观察分析了纤维相结构。在较低的应变量 (η =1.6 7)时 ,纤维不均匀 ,随着变形量的增大 (η =5 .42 ) ,纤维外形变得均匀。在 η =5 .42时 ,一个显著的特点是单根Fe Cr纤维分为一些由晶界隔开的平行亚单元 (宽度约为 10 0nm) ,通过亚单元共同的 [110 ]衍射获得了晶粒之间的相对取向 ,相邻晶粒的取向角在 3°~ 15°之间。 展开更多
关键词 Cu-Fe-Cr原位复合材料 选择腐蚀 Fe-Cr纤维 亚单元 织构
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Spindt阴极制作中剥离层的研究 被引量:5
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作者 李兴辉 白国栋 +3 位作者 李含雁 丁明清 冯进军 廖复疆 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期303-308,共6页
在Spindt场发射阴极制作工艺流程中,剥离层对于形成良好的发射尖锥形状至关重要,同时它也是实现阴极阵列中尖锥均匀性的关键因素。本文研究了几种常用的剥离层材料包括金属铜,Al2O3以及水溶性的NaCl和Na2CO3。实验表明NaCl和Na2CO3用作... 在Spindt场发射阴极制作工艺流程中,剥离层对于形成良好的发射尖锥形状至关重要,同时它也是实现阴极阵列中尖锥均匀性的关键因素。本文研究了几种常用的剥离层材料包括金属铜,Al2O3以及水溶性的NaCl和Na2CO3。实验表明NaCl和Na2CO3用作剥离层,可以被去离子水迅速、容易地去除,并同时实现很好的腐蚀选择性。但用这些水溶性材料得到的发射尖锥形状不很规则且表面粗糙,由此也会带来整个阴极阵列上尖锥的不均匀性。使用Al2O3作为剥离层则较为理想,可以得到光滑的栅极收口和很好的尖锥阵列。但传统用来腐蚀Al2O3的热H3PO4,对于加热制作的Al2O3剥离层腐蚀较为困难。尝试了使用基于NaOH的腐蚀液来剥离加热Al2O3层,通过严格的工艺参数控制,如腐蚀液浓度和刻蚀时间,可以制作出质量较好尖锥发射体阵列。 展开更多
关键词 Spindt阴极 剥离层 选择性腐蚀 水溶性材料 氧化铝
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原位氧化FeNiMnAlCrC高熵合金的光热转换性能
5
作者 李雨洁 章飞 +4 位作者 陈梅洁 李开洋 熊志平 宋旼 王章维 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期3595-3607,共13页
本文采用经济的原位氧化和选择性刻蚀工艺,通过调控氧化温度和表面粗糙度,研究了Fe_(40)Ni_(11)Mn_(35)Al_(7)Cr_(6)C_(1)(摩尔分数,%)高熵合金表面的氧化产物变化及其对太阳能光热转换性能的影响。结果表明:在500~700℃范围内,随着温... 本文采用经济的原位氧化和选择性刻蚀工艺,通过调控氧化温度和表面粗糙度,研究了Fe_(40)Ni_(11)Mn_(35)Al_(7)Cr_(6)C_(1)(摩尔分数,%)高熵合金表面的氧化产物变化及其对太阳能光热转换性能的影响。结果表明:在500~700℃范围内,随着温度升高和刻蚀引起的初始表面粗糙度的增大,氧化后高熵合金表面的氧化物尺寸、氧化层厚度、粗糙度和氧化物种类均呈上升趋势,使得光热转换性能逐渐提升。预先刻蚀并经700℃氧化2 h后,合金的太阳能吸收率和光热转换效率分别达到峰值90.4%和87.9%。当氧化温度继续升高至800℃后,由于热膨胀系数不匹配导致热应力增大,合金表面生成的氧化层均开始大面积脱落,进而导致材料的光热性能开始下降。本研究为金属氧化层的有效设计提供了理论支持,有助于实现高熵合金光热性能的优化与提升。 展开更多
关键词 高熵合金 原位氧化 选择性刻蚀 光热转换 太阳能选择性吸收材料
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选择性腐蚀Si_(1-x)Ge_x与Si制备绝缘体上超薄应变硅 被引量:4
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作者 母志强 薛忠营 +2 位作者 陈达 狄增峰 张苗 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期40-44,共5页
基于应变硅以及绝缘体上超薄应变硅(SSOI)工艺,使用氢氟酸、硝酸和醋酸的混合溶液与质量分数为25%的四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液选择性腐蚀Si1-xGex与Si以制备绝缘体上超薄应变硅。研究了质量分数为0.5%~5%的HF和Si1-xGex中Ge的含量对选... 基于应变硅以及绝缘体上超薄应变硅(SSOI)工艺,使用氢氟酸、硝酸和醋酸的混合溶液与质量分数为25%的四甲基氢氧化铵(TMAH)溶液选择性腐蚀Si1-xGex与Si以制备绝缘体上超薄应变硅。研究了质量分数为0.5%~5%的HF和Si1-xGex中Ge的含量对选择性腐蚀的腐蚀速度与选择比的影响,优化了选择性腐蚀工艺。采用氨水、过氧化氢和水的混合溶液处理选择性腐蚀后的Si1-xGex与Si表面,得到了高应变度、高晶体质量的超薄SSOI。采用原子力显微镜(AFM)测试腐蚀速度以及腐蚀后的表面粗糙度;使用喇曼光谱仪表征Si1-xGex以及应变硅的组分以及应变度;使用透射电子显微镜(TEM)对SSOI的晶体质量进行了表征。结果表明,超薄SSOI的表面粗糙度(RMS)为0.446 nm,顶层Si的应变度为0.91%,顶层应变硅层厚度为18 nm,且具有高的晶体质量。 展开更多
关键词 选择性腐蚀 应变硅 超薄 绝缘体上应变硅 锗硅
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美学复合树脂分层堆塑技术修复前牙缺损临床观察 被引量:4
7
作者 范晓川 王艳华 +2 位作者 周昊 杜伊 黄晓峰 《中国美容医学》 CAS 2021年第2期103-105,共3页
目的:探讨美学复合树脂分层堆塑技术修复前牙缺损的临床疗效。方法:以2015年9月-2017年11月收治的39例前牙缺损患者的64颗患牙为研究对象,全部患者均在硅橡胶导板引导下使用3M Z350XT美学树脂分层修复前牙缺损,术后随访2年,并观察其疗... 目的:探讨美学复合树脂分层堆塑技术修复前牙缺损的临床疗效。方法:以2015年9月-2017年11月收治的39例前牙缺损患者的64颗患牙为研究对象,全部患者均在硅橡胶导板引导下使用3M Z350XT美学树脂分层修复前牙缺损,术后随访2年,并观察其疗效。结果:单颗患牙的平均操作时间为(78.56±9.23)min。2年随访期间,1颗患牙发生修复体内部折断,1颗患牙存在敏感症状,2颗患牙发生了充填体变色,18颗患牙修复体发生着色需要进行再次抛光。结论:复合树脂分层修复技术可以较好地模拟前牙外形及美学特征,适用于各种原因引起的前牙缺损,但其椅旁操作时间较长,远期疗效仍需观察。 展开更多
关键词 复合树脂分层堆塑技术 直接粘接技术 选择性酸蚀 牙体修复
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环栅晶体管制备中SiGe选择性刻蚀技术综述
8
作者 刘恩序 李俊杰 +5 位作者 刘阳 杨超然 周娜 李俊峰 罗军 王文武 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第9期14-20,共7页
环栅(Gate-all-around,GAA)晶体管是3 nm以下节点替代现有鳍式晶体管(FinFET)最有竞争力的器件结构,能有效改善器件尺寸不断微缩带来的短沟道效应。与FinFET相比,GAA器件制备的工艺流程中内侧墙制备和沟道释放是新引入的工艺模块,均需要... 环栅(Gate-all-around,GAA)晶体管是3 nm以下节点替代现有鳍式晶体管(FinFET)最有竞争力的器件结构,能有效改善器件尺寸不断微缩带来的短沟道效应。与FinFET相比,GAA器件制备的工艺流程中内侧墙制备和沟道释放是新引入的工艺模块,均需要SiGe选择性刻蚀技术。工艺要求SiGe作为牺牲层被选择性刻蚀去除,且尽可能减少对Si沟道的损伤。本文对环栅晶体管制备工艺中所需的SiGe选择性刻蚀技术进行了综述,主要分析了器件结构的发展趋势及SiGe选择性刻蚀的应用,并分类综述了常规SiGe选择性刻蚀方法以及新型选择性刻蚀技术的发展历程,分析了各种技术的优点和不足。最后对SiGe选择性刻蚀技术面临的挑战进行了分析,并对其未来可能的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 锗硅 选择性刻蚀 环栅 内侧墙 沟道释放 纳米线 纳米片
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Friction-Induced Nanofabrication: A Review 被引量:4
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作者 Bingjun Yu Linmao Qian 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第2期26-51,共26页
As the bridge between basic principles and applications of nanotechnology,nanofabrication methods play significant role in supporting the development of nanoscale science and engineering,which is changing and improvin... As the bridge between basic principles and applications of nanotechnology,nanofabrication methods play significant role in supporting the development of nanoscale science and engineering,which is changing and improving the production and lifestyle of the human.Photo lithography and other alternative technologies,such as nanoimprinting,electron beam lithography,focused ion beam cutting,and scanning probe lithography,have brought great progress of semiconductor industry,IC manufacturing and micro/nanoelectromechanical system(MEMS/NEMS)devices.However,there remains a lot of challenges,relating to the resolution,cost,speed,and so on,in realizing high-quality products with further development of nanotechnology.None of the existing techniques can satisfy all the needs in nanoscience and nanotechnology at the same time,and it is essential to explore new nanofabrication methods.As a newly developed scanning probe microscope(SPM)-based lithography,friction-induced nanofabrication provides opportunities for maskless,flexible,low-damage,low-cost and environment-friendly processing on a wide variety of materials,including silicon,quartz,glass surfaces,and so on.It has been proved that this fabrication route provides with a broad application prospect in the fabrication of nanoimprint templates,microfluidic devices,and micro/nano optical structures.This paper hereby involved the principals and operations of friction-induced nanofabrication,including friction-induced selective etching,and the applications were reviewed as well for looking ahead at opportunities and challenges with nanotechnology development.The present review will not only enrich the knowledge in nanotribology,but also plays a positive role in promoting SPM-based nanofabrication. 展开更多
关键词 Scanning probe microscope Tip-based lithography Friction-induced nanofabrication Friction-induced selective etching
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Mesoporous Ag nanocubes synthesized via selectively oxidative etching at room temperature for surface- enhanced Raman spectroscopy 被引量:4
10
作者 Lin Gan Meijia Yang +6 位作者 Xi Ke Guofeng Cui Xudong Chen Shiva Gupta William Kellogg Drew Higgins Gang Wu 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第7期2351-2362,共12页
Silver nanocubes enriched with {100} facets have been extensively used for surface-enhanced Raman scattering. Herein, we report a new water-phase synthesis method for weU-defined Ag nanocubes with tunable sizes via a ... Silver nanocubes enriched with {100} facets have been extensively used for surface-enhanced Raman scattering. Herein, we report a new water-phase synthesis method for weU-defined Ag nanocubes with tunable sizes via a two-step procedure at room temperature. First, irregularly shaped Ag nanoparticles (INPs) were prepared by reducing silver ammonia solution using ethylal. Second, the agglomerated INPs were selectively etched with HNO3 and C1- to yield {100} facet-rich mesoporous Ag nanocubes. The mechanism of Ag-nanocube formation and growth was investigated in detail by elucidating the involved chemical reactions and physical changes at each step during the synthesis. The addition of C1- anions was responsible for facilitating Ag nanoparticle growth by removing surface-adsorbed Ag+ species, thereby eliminating inter-particle repulsive forces. This agglomeration was found crucial for the subsequent selective oxidation of Ag nanoparticles because the protective agent used, polyvinylpyrrolidone (PVP), was the most effective one for adsorption on the surfaces of Ag nanoparticles of size greater than approximately 50 nm. Importantly mesopores were found inside the Ag nanocubes; this can be attributed to the unavoidable imperfect packing during the agglomeration of INPs. The newly prepared Ag nanocubes were further used to enhance the Raman signal of rhodamine 6G, which is capable of reducing the detection limitation to 10-16 mol·L-1. 展开更多
关键词 AG nanocube selective etching water phase synthesis room tempersture surface-enhanced raman scattering(sers)
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Steering surface reconstruction of hybrid metal oxides for efficient oxygen evolution reaction in water splitting and zinc-air batteries
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作者 Jie Zhu Junxue Chen +7 位作者 Xida Li Kun Luo Zewei Xiong Zhiyu Zhou Wenyun Zhu Zhihong Luo Jingbin Huang Yibing Li 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第5期383-393,共11页
Surface reconstruction yields real active species in electrochemical oxygen evolution reaction(OER)conditions;however,rationally regulating reconstruction in a targeted manner for constructing highly active OER electr... Surface reconstruction yields real active species in electrochemical oxygen evolution reaction(OER)conditions;however,rationally regulating reconstruction in a targeted manner for constructing highly active OER electrocatalysts remains a formidable challenge.Here,an electrochemical activation strategy with selective etching was utilized to guide the reconstruction process of a hybrid cobalt-molybdenum oxide(CoMoO_(4)/Co_(3)O_(4)@CC)in a favorable direction to improve the OER performance.Both in-situ Raman and multiple ex-situ characterization tools demonstrate that controlled surface reconstruction can be easily achieved through Mo etching,with the formation of a dynamically stable amorphous-crystalline heterostructure.Theoretical calculations together with experimental results reveal that the synergistic effects between amorphous CoOOH and crystalline Co_(3)O_(4) are crucial in enhancing the catalytic performance.Consequently,the reconstructed CoMoO_(4)/Co_(3)O_(4)@CC exhibits a low overpotential of 250 mV to achieve a current density of 10 mA cm^(-2) in 1 M KOH,and more importantly it can be practiced in electrolytic water splitting and rechargeable zinc-air batteries devices,achieving ultra-long stability for over 500 and 1200 h,respectively.This work provides a promising route for the construction of high-performance electrocatalysts. 展开更多
关键词 ELECTROCATALYST Oxygen evolution reaction Surface reconstruction selective etching Amorphous-crystalline heterostructures
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二维MXenes材料的制备工艺研究现状 被引量:3
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作者 秦琴 杨雪 +4 位作者 钱泽 费培恩 易清阳 孙浩 李立强 《无机盐工业》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期47-54,共8页
MXenes是一种电阻很小且导电能力很强的二维晶体材料,在电池、传感器、电磁屏蔽、医疗方面都具有很大的应用潜能。为了研发制备更多的MXenes,国内外学者开展了许多制备工艺研究和应用的探索。针对MXenes独特的层次结构、化学组成、物理... MXenes是一种电阻很小且导电能力很强的二维晶体材料,在电池、传感器、电磁屏蔽、医疗方面都具有很大的应用潜能。为了研发制备更多的MXenes,国内外学者开展了许多制备工艺研究和应用的探索。针对MXenes独特的层次结构、化学组成、物理性能,综述了MXenes制备工艺的研究进展,对比分析了每种制备方法的优点和需要进一步解决的问题。指出:在未来的研究中,氟化氢刻蚀法的研究重点是如何提高MXenes的电容性和插层问题;原位刻蚀法对刻蚀时间、温度、环境的要求较高,需要攻克的难点是这些因素的影响机理以及相应的改善措施;电化学腐蚀法制备的MXenes中没有—F官能团,但是研究的重点将是对沉淀物的分离和净化;熔融盐法制备MXenes正是起步阶段,需要进一步的开发和研究。 展开更多
关键词 MXenes 选择性刻蚀法 电化学刻蚀法 熔盐法 二维材料
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化学气相沉积法制备石墨烯的转移技术研究进展 被引量:3
13
作者 陈天山 宋文轩 +1 位作者 胡天娇 李义和 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第9期266-269,共4页
化学气相沉积法能够大面积合成石墨烯,但将生长的石墨烯转移到应用基底上是十分重要的问题。传统转移方法能够将石墨烯转移到特定的基底上,但不可避免有裂缝、残胶和褶皱等不足,综述了石墨烯薄膜的转移和直接在绝缘基底表面生长的方法,... 化学气相沉积法能够大面积合成石墨烯,但将生长的石墨烯转移到应用基底上是十分重要的问题。传统转移方法能够将石墨烯转移到特定的基底上,但不可避免有裂缝、残胶和褶皱等不足,综述了石墨烯薄膜的转移和直接在绝缘基底表面生长的方法,并介绍了选择性刻蚀石墨烯生长基底或制造石墨烯纳米孔的新方法和应用前景。 展开更多
关键词 石墨烯 转移方法 选择性刻蚀
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GaAs衬底层选择性腐蚀技术 被引量:3
14
作者 杨建义 王明华 +3 位作者 江晓清 周强 周伟勤 孙一翎 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 1998年第1期51-53,共3页
本文在GaAs/GaAlAs选择性腐蚀的基础上进行了腐蚀GaAs衬底层获得GaAs/GaAlAs外延层薄膜的二次腐蚀技术。最终选用了C3H4(OH)(COOH3)·H2O-H2O2系选择性腐蚀液和H2SO4-H2... 本文在GaAs/GaAlAs选择性腐蚀的基础上进行了腐蚀GaAs衬底层获得GaAs/GaAlAs外延层薄膜的二次腐蚀技术。最终选用了C3H4(OH)(COOH3)·H2O-H2O2系选择性腐蚀液和H2SO4-H2O2系腐蚀液,获得了快速、可控制、重复性好的可全部可局部去除衬底的腐蚀方法。在国内首次获得了GaAs/GaAlAs较大面积的外延层薄膜。 展开更多
关键词 选择性腐蚀 砷化镓 衬底
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GaAs基VCSEL干法刻蚀技术研究综述 被引量:1
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作者 范昊轩 张文博 +1 位作者 李沐泽 郝永芹 《红外》 CAS 2023年第2期24-34,共11页
GaAs基垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,VCSEL)自1977年问世以来,凭借阈值电流较低、光束质量很高、可集成到二维阵列、易单模激射等优势被广泛应用于各个领域,但是其尺寸过小而在制造中难以精确控制精度、... GaAs基垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,VCSEL)自1977年问世以来,凭借阈值电流较低、光束质量很高、可集成到二维阵列、易单模激射等优势被广泛应用于各个领域,但是其尺寸过小而在制造中难以精确控制精度、等离子体刻蚀时易对掩膜和侧壁造成形貌损伤、刻蚀过程中生成副产物过多等问题,影响了应用范围和提高了制造难度。如何保持高刻蚀速率并尽可能地减小刻蚀损伤成为了目前的研究热点问题。分析了GaAs基VCSEL干法刻蚀技术的研究现状与技术难点,并展望了未来的发展趋势。 展开更多
关键词 GAAS 垂直腔面发射激光器 干法刻蚀 选择性刻蚀 刻蚀损伤
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HF/CrO_3溶液对AlGaAs的选择性湿法刻蚀应用于楔型结构的制备 被引量:2
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作者 黄辉 黄永清 +3 位作者 任晓敏 高俊华 罗丽萍 马骁宇 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期208-212,共5页
利用动态掩膜腐蚀技术 ,研究了 HF/ Cr O3腐蚀液对各种不同组分的 Alx Ga1 - x As(x =0 .3,0 .5 ,0 .6 5 )的腐蚀速率及腐蚀表面形貌 .随着 HF(48wt% ) / Cr O3(33wt% )的体积比由 0 .0 1变化到 0 .138,相应的腐蚀液对 Al0 .8-Ga0 .2 As... 利用动态掩膜腐蚀技术 ,研究了 HF/ Cr O3腐蚀液对各种不同组分的 Alx Ga1 - x As(x =0 .3,0 .5 ,0 .6 5 )的腐蚀速率及腐蚀表面形貌 .随着 HF(48wt% ) / Cr O3(33wt% )的体积比由 0 .0 1变化到 0 .138,相应的腐蚀液对 Al0 .8-Ga0 .2 As/ Al0 .3Ga0 .7As的选择性由 179降到 8.6 ;通过调节腐蚀液的选择性 ,在 Al0 .3Ga0 .7As外延层上制备出了倾角从 0 .32°到 6 .6 1°的各种斜面 .当 HF(48wt% ) / Cr O3(33wt% )的体积比为 0 .0 2 8时 ,Al组分分别为 0 .3、0 .5和 0 .6 5时 ,相应的腐蚀表面的均方根粗糙度为 1.8、9.1和 19.3nm.另外 。 展开更多
关键词 制备 楔形结构 铝镓砷化物合 选择性湿法刻蚀 HF-CrO3溶液
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感应耦合等离子体选择性刻蚀GaN/AlGaN 被引量:1
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作者 王冲 冯倩 +1 位作者 郝跃 杨燕 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期520-523,共4页
采用Cl2/Ar作为刻蚀气体,研究了在感应耦合等离子体干法刻蚀GaN、Al0.27Ga0.73N材料中工艺参数对刻蚀速率及选择比的影响.GaN与Al0.27Ga0.73N之间的刻蚀选择比随自偏压的增大而减小,随感应耦合等离子体功率的增大变化不大.在Cl2/Ar为3:... 采用Cl2/Ar作为刻蚀气体,研究了在感应耦合等离子体干法刻蚀GaN、Al0.27Ga0.73N材料中工艺参数对刻蚀速率及选择比的影响.GaN与Al0.27Ga0.73N之间的刻蚀选择比随自偏压的增大而减小,随感应耦合等离子体功率的增大变化不大.在Cl2/Ar为3:1的刻蚀气体中加入10%的O2对GaN刻蚀速率影响不大,却使Al0.27Ga0.73N刻蚀速率明显下降,从而提高了GaN与Al0.27Ga0.73N之间的刻蚀选择比.对比了采用不同自偏压刻蚀的Al0.27Ga0.73N材料肖特基的特性,发现反向漏电流随自偏压的增大而增大. 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 刻蚀速率 选择性刻蚀 选择比 刻蚀损伤
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Efficient catalytic hydrogen generation by intermetallic platinum-lead nanostructures with highly tunable porous feature 被引量:1
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作者 Bin E Lingzheng Bu +2 位作者 Qi Shao Yujing Li Xiaoqing Huang 《Science Bulletin》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第1期36-43,共8页
The water-gas shift(WGS) reaction is an essential industrial reaction for upgrading hydrogen(H2) by removing carbon monoxide(CO), while highly efficient platinum(Pt)-based catalysts for WGS with simultaneously high ac... The water-gas shift(WGS) reaction is an essential industrial reaction for upgrading hydrogen(H2) by removing carbon monoxide(CO), while highly efficient platinum(Pt)-based catalysts for WGS with simultaneously high activity and stability are still yet to be developed due to the poisoning issue during the reaction. Herein, we report on the porous PtPb peanut nanocrystals(porous PtPb PNCs) and porous PtPb octahedron nanocrystals(porous PtPb ONCs) with controllable ratios of Pt/Pb as extremely active and stable catalysts towards WGS reaction. It exhibits the composition-dependent activity with porous PtPb PNCs-40/ZnO being the most active for WGS to H_2, 16.9 times higher than that of the commercial Pt/C. The porous PtPb PNCs-40/ZnO also display outstanding durability with barely activity decay and negligible structure and composition changes after ten successive reaction cycles. X-ray photoelectron spectroscopy(XPS) results reveal that the suitable binding energy of Pt 4f_(7/2) and the high ratio of Pt(0)to Pt(II) in porous PtPb PNCs/ZnO and porous PtPb ONCs/ZnO are crucial for the enhanced WGS activity.The CO stripping results indicate the optimized CO adsorption strength on the Pt surface ensure the excellent WGS activity and the outstanding durability. The present work demonstrates an important advance in tuning the porous metal nanomaterials as highly efficient and durable catalysts for catalysis,energy conversion and beyond. 展开更多
关键词 POROUS selective etching Hydrogen Pt-Pb Water-gas SHIFT
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金刚石薄膜图形化技术的研究 被引量:2
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作者 莘海维 奚正蕾 +1 位作者 凌行 张志明 《航空精密制造技术》 北大核心 2002年第1期9-12,共4页
从金刚石薄膜半导体器件的实用要求出发,比较了金刚石薄膜的各种图形化技术,研究了它们各自的特点和适用性,如播种法选择性生长、掩膜法选择性生长、离子束刻蚀和反应离子刻蚀技术等。
关键词 金刚石薄膜 图形化 选择性生长 刻蚀
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Fabrication of Through Micro-hole Arrays in Silicon Using Femtosecond Laser Irradiation and Selective Chemical Etching 被引量:2
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作者 高博 陈涛 +2 位作者 陈颖 司金海 侯洵 《Chinese Physics Letters》 SCIE CAS CSCD 2015年第10期142-145,共4页
We demonstrate a method of fabricating through micro-holes and micro-hole arrays in silicon using femtosecond laser irradiation and selective chemical etching. The micro-hole formation mechanism is identified as the c... We demonstrate a method of fabricating through micro-holes and micro-hole arrays in silicon using femtosecond laser irradiation and selective chemical etching. The micro-hole formation mechanism is identified as the chemical reaction of the femtosecond laser-induced structure change zone and hydrofluoric acid solution. The morphologies of the through micro-holes and micro-hole arrays are characterized by using scanning electronic microscopy, The effects of the pulse number on the depth and diameter of the holes are investigated. Honeycomb arrays of through micro-holes fabricated at different laser powers and pulse numbers are demonstrated. 展开更多
关键词 Fabrication of Through Micro-hole Arrays in Silicon Using Femtosecond Laser Irradiation and selective Chemical etching Figure
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