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双层TiO_xN_y光谱选择性吸收薄膜特性的研究 被引量:4
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作者 王贺权 王志坚 +3 位作者 巴德纯 沈辉 陈达 闻立时 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期450-453,共4页
应用直流反应磁控溅射设备在铜基底上制备双层TiOxNy选择性吸收薄膜。当第一层薄膜的制备参数不变时,研究了第二层薄膜中N2流量参数对双层薄膜反射率的影响。结果表明,当第二层薄膜氧氮比为1∶1时具有较好的光谱选择吸收特性,并测试了... 应用直流反应磁控溅射设备在铜基底上制备双层TiOxNy选择性吸收薄膜。当第一层薄膜的制备参数不变时,研究了第二层薄膜中N2流量参数对双层薄膜反射率的影响。结果表明,当第二层薄膜氧氮比为1∶1时具有较好的光谱选择吸收特性,并测试了该样品的太阳吸收率和发射率分别αs=0.920、ε=0.03。 展开更多
关键词 直流反应磁控溅射 TiOxNy 选择性吸收薄膜 反射率
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太阳选择性吸收薄膜中干涉条件的近似计算 被引量:9
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作者 曹韫真 胡行方 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期279-284,共6页
从菲涅尔方程出发对太阳选择性吸收薄膜的干涉作用进行了讨论。以介电膜、吸收膜和金属底层组合形成的太阳选择性吸收膜系为代表 ,对该膜系在可见—近红外光波段形成零反射率的干涉条件进行了推导。结果能满意地解释干涉型太阳选择性吸... 从菲涅尔方程出发对太阳选择性吸收薄膜的干涉作用进行了讨论。以介电膜、吸收膜和金属底层组合形成的太阳选择性吸收膜系为代表 ,对该膜系在可见—近红外光波段形成零反射率的干涉条件进行了推导。结果能满意地解释干涉型太阳选择性吸收薄膜的光谱选择性吸收特性 。 展开更多
关键词 太阳能 选择性吸收薄膜 干涉作用
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真空镀膜工艺对选择性吸收膜性能的影响 被引量:5
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作者 郭信章 阎军 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期207-209,共3页
报道了不同镀膜工艺制备的太阳能选择性吸收膜的性能,并对其发展方向进行了探讨。
关键词 真空镀膜 太阳能 选择性吸收膜
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TiAlN/SiO_2太阳能选择性吸收薄膜的制备与研究 被引量:3
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作者 余超 冒守栋 +3 位作者 汪少杰 谢婷婷 孙可卿 宋振纶 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第22期43-46,共4页
采用直流磁控溅射法在铜基底上制备了TiAlN/SiO2选择性吸收薄膜。通过调整制备过程中的工艺参数,得到优化后的组合薄膜(铜基底),其吸收率可达0.92、发射率为0.06。在此组合膜系中,TiAlN为吸收层,SiO2为减反层。对基底为铜片的样品在550... 采用直流磁控溅射法在铜基底上制备了TiAlN/SiO2选择性吸收薄膜。通过调整制备过程中的工艺参数,得到优化后的组合薄膜(铜基底),其吸收率可达0.92、发射率为0.06。在此组合膜系中,TiAlN为吸收层,SiO2为减反层。对基底为铜片的样品在550℃退火2h,其性质保持稳定,表明TiAlN/SiO2组合薄膜在高温太阳能选择性吸收领域具有一定的应用前景。 展开更多
关键词 选择性吸收薄膜 吸收率 发射率 热稳定性
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太阳能光谱选择性吸收薄膜高温性能衰减分析
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作者 魏东辉 李文哲 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1993-1997,共5页
对SiO_2/CrO_x/CrN_y/Al型太阳能光谱选择性吸收薄膜的热稳定性进行测试,分析薄膜在高温下的光学性能、表面及截面形貌、元素分布、微观结构等变化。在450℃下热处理300 h后采用SEM、AES、TEM等方法分析薄膜热处理后的微观结构、成分变... 对SiO_2/CrO_x/CrN_y/Al型太阳能光谱选择性吸收薄膜的热稳定性进行测试,分析薄膜在高温下的光学性能、表面及截面形貌、元素分布、微观结构等变化。在450℃下热处理300 h后采用SEM、AES、TEM等方法分析薄膜热处理后的微观结构、成分变化。结果表明,经热处理薄膜出现表面粗糙度增加、晶粒异常长大、亚层界面变模糊等变化。主要的衰减机制为薄膜在高温下O、N发生轻微扩散,另外经热处理后吸收层Cr结晶度略有增加。 展开更多
关键词 太阳能光谱选择性吸收薄膜 过渡金属氧化物及氮化物 热稳定性 衰减机制 高温扩散
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太阳能选择性吸收薄膜研究进展及展望 被引量:8
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作者 张霖 赵腾 +3 位作者 陈大鹏 周佳南 干蜀毅 陈长琦 《真空》 CAS 2013年第3期57-62,共6页
太阳能选择性吸收薄膜是太阳能集热器的主要功能组件,是太阳能光热转换中最为关键的部分,也是获得高光热转换效率的重要方式。本文从太阳能选择性吸收薄膜的原理出发,对材料选择、吸收机理以及制备方法等方面进行了介绍,对太阳能选择性... 太阳能选择性吸收薄膜是太阳能集热器的主要功能组件,是太阳能光热转换中最为关键的部分,也是获得高光热转换效率的重要方式。本文从太阳能选择性吸收薄膜的原理出发,对材料选择、吸收机理以及制备方法等方面进行了介绍,对太阳能选择性吸收薄膜的国内外发展现状进行了论述,同时对限制太阳能选择性吸收薄膜性能的主要因素进行了分析,并对今后的发展进行了展望。 展开更多
关键词 太阳选择性吸收薄膜 光热转换 太阳光谱 太阳能
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