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在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响
被引量:
3
1
作者
吕永积
邵佑军
+2 位作者
刘光诒
施化芬
罗运良
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002年第3期189-192,共4页
CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料 ,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用。介绍了精确控制Se气氛的实验装置和Se气氛对CdSe光导靶性能影响的实验结果。
关键词
烧结氧化
se
气氛
Cd
se
靶
真空微电子
平板摄像管
硒
气氛
六角形结构
硒化镉靶
靶面材料
晶格结构
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职称材料
题名
在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响
被引量:
3
1
作者
吕永积
邵佑军
刘光诒
施化芬
罗运良
机构
国家广播电影电视总局广播科学研究院光电研究所
中国科学院电子学研究所
北京三信时代信息公司
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002年第3期189-192,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 ( 6 9971 0 1 1 )
文摘
CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料 ,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用。介绍了精确控制Se气氛的实验装置和Se气氛对CdSe光导靶性能影响的实验结果。
关键词
烧结氧化
se
气氛
Cd
se
靶
真空微电子
平板摄像管
硒
气氛
六角形结构
硒化镉靶
靶面材料
晶格结构
Keywords
vacuum microelectronics flat panel camera tube
se
atmosphere
hexagonal structure
分类号
TN142 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响
吕永积
邵佑军
刘光诒
施化芬
罗运良
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2002
3
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职称材料
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