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集成阻抗识别的介电泳芯片设计及其关键工艺
被引量：
2
1
作者
许静
赵湛
刘泳宏
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2011年第11期1-3,共3页
以微粒的阻抗识别为目的,设计出一种三维网格阵列微电极传感器。传感器将介电泳分离与阻抗识别集成在同一芯片上。首先通过介电泳将微粒中的一种分离至测试区域,再通过阻抗信号描述微粒特性。针对芯片关键区域,提出了调节SU8曝光时间以...
以微粒的阻抗识别为目的,设计出一种三维网格阵列微电极传感器。传感器将介电泳分离与阻抗识别集成在同一芯片上。首先通过介电泳将微粒中的一种分离至测试区域,再通过阻抗信号描述微粒特性。针对芯片关键区域,提出了调节SU8曝光时间以提高阻抗测试有效信号的工艺解决方案。实验表明,SU8最佳曝光时间为70 s.对芯片性能的相关实验表明,芯片可对不同直径的乳胶微粒进行介电泳分离与阻抗识别。
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关键词
介电泳
阻抗识别
三维
su
8
阱
下载PDF
职称材料
基于介电泳诱捕与阻抗测量的三维网格型生物传感器的研究
被引量：
2
2
作者
许静
赵湛
+3 位作者
方震
刘泳宏
杜利东
耿道渠
《分析化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期295-299,共5页
微粒分离与检测的集成,一直是微全分析系统亟待解决的难题。结合介电泳与生物阻抗谱测量,设计了一种三维介电泳芯片。以SU8胶为材料的绝缘夹层以及其上方和下方网格状交叉的电极阵列,构成了芯片的关键区域,且在SU8绝缘夹层中利用光刻技...
微粒分离与检测的集成,一直是微全分析系统亟待解决的难题。结合介电泳与生物阻抗谱测量,设计了一种三维介电泳芯片。以SU8胶为材料的绝缘夹层以及其上方和下方网格状交叉的电极阵列,构成了芯片的关键区域,且在SU8绝缘夹层中利用光刻技术形成了圆柱状小势阱。三维的网格状阵列结构及具有束缚电场功能的SU8电介质,共同形成了其独特的电场极值分布,使得微粒诱捕电压降低的同时,更能将微粒诱捕到SU8阱中,便于阻抗谱测量。三维电极结构解决了平面电极电场分散的难题,具有更高的灵敏度。更为重要的是同一电极的介电泳诱捕与阻抗谱测试的切换使用,降低了制作复杂度,并使测试更加快捷。
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关键词
介电泳
su
8
阱
阻抗
生物传感器
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职称材料
题名
集成阻抗识别的介电泳芯片设计及其关键工艺
被引量：
2
1
作者
许静
赵湛
刘泳宏
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2011年第11期1-3,共3页
基金
国家自然科学基金(60971071)
国家高技术研究发展计划(863)(2007AA042104)
文摘
以微粒的阻抗识别为目的,设计出一种三维网格阵列微电极传感器。传感器将介电泳分离与阻抗识别集成在同一芯片上。首先通过介电泳将微粒中的一种分离至测试区域,再通过阻抗信号描述微粒特性。针对芯片关键区域,提出了调节SU8曝光时间以提高阻抗测试有效信号的工艺解决方案。实验表明,SU8最佳曝光时间为70 s.对芯片性能的相关实验表明,芯片可对不同直径的乳胶微粒进行介电泳分离与阻抗识别。
关键词
介电泳
阻抗识别
三维
su
8
阱
Keywords
dielectrophoresis
impedance identification three-dimensional
su
8
well
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
基于介电泳诱捕与阻抗测量的三维网格型生物传感器的研究
被引量：
2
2
作者
许静
赵湛
方震
刘泳宏
杜利东
耿道渠
机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《分析化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第3期295-299,共5页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划
No.2007AA042104)
国家自然科学基金(No.60971071)资助项目
文摘
微粒分离与检测的集成,一直是微全分析系统亟待解决的难题。结合介电泳与生物阻抗谱测量,设计了一种三维介电泳芯片。以SU8胶为材料的绝缘夹层以及其上方和下方网格状交叉的电极阵列,构成了芯片的关键区域,且在SU8绝缘夹层中利用光刻技术形成了圆柱状小势阱。三维的网格状阵列结构及具有束缚电场功能的SU8电介质,共同形成了其独特的电场极值分布,使得微粒诱捕电压降低的同时,更能将微粒诱捕到SU8阱中,便于阻抗谱测量。三维电极结构解决了平面电极电场分散的难题,具有更高的灵敏度。更为重要的是同一电极的介电泳诱捕与阻抗谱测试的切换使用,降低了制作复杂度,并使测试更加快捷。
关键词
介电泳
su
8
阱
阻抗
生物传感器
Keywords
Dielectrophoresis
su
8
trap
Impedance
Biosensor
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
集成阻抗识别的介电泳芯片设计及其关键工艺
许静
赵湛
刘泳宏
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2011
2
下载PDF
职称材料
2
基于介电泳诱捕与阻抗测量的三维网格型生物传感器的研究
许静
赵湛
方震
刘泳宏
杜利东
耿道渠
《分析化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
2
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职称材料
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