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颇具竞争力的SOI硅集成技术
被引量：
1
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作者
蔡菊荣
《电子与封装》
2004年第5期9-14,共6页
主要讨论了SOI集成技术及其发展前景,介绍了SOI技术在VLSI应用方面 的优越性以及在微电子领域中的广泛应用。
关键词
soi
技术
soi
材料
soi
ic
下载PDF
职称材料
题名
颇具竞争力的SOI硅集成技术
被引量：
1
1
作者
蔡菊荣
机构
荷叶新村
出处
《电子与封装》
2004年第5期9-14,共6页
文摘
主要讨论了SOI集成技术及其发展前景,介绍了SOI技术在VLSI应用方面 的优越性以及在微电子领域中的广泛应用。
关键词
soi
技术
soi
材料
soi
ic
Keywords
soi
technology
soi
materials
soi
ic
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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作者
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1
颇具竞争力的SOI硅集成技术
蔡菊荣
《电子与封装》
2004
1
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