期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
LIGA工艺技术研究 被引量：4
1
作者 徐春叶 刘善喜 《集成电路通讯》 2005年第1期32-37,共6页
本文论述了标准LIGA技术的工艺过程,对重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了近年发展起来的准LIGA工艺技术,同时重点研究了利用我所薄膜线工艺手段就能加工的UV- LIGA工艺和能制作自由摆动、旋转、直线运动的可动微结构的SLIGA工... 本文论述了标准LIGA技术的工艺过程,对重点工序进行了总结并阐明其工艺要点。介绍了近年发展起来的准LIGA工艺技术,同时重点研究了利用我所薄膜线工艺手段就能加工的UV- LIGA工艺和能制作自由摆动、旋转、直线运动的可动微结构的SLIGA工艺,最后提出了LIGA技术的优缺点和技术难点。 展开更多
关键词 LIGA技术 制造工艺 sliga工艺 UV-LIGA技术 紫外线曝光 厚胶光刻 微机械电子系统
下载PDF
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部