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SI单位变革下原子尺度扫描探针显微术的计量空间
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作者 李剑桥 施玉书 +1 位作者 王芳 李伟 《计量科学与技术》 2024年第6期49-54,共6页
2018年第26届国际计量大会建议采用硅{220}晶面间距作为米定义的复现方法之一,以满足不断缩小的物理尺寸对原子级准确度计量的需求。目前能直接表征硅晶格的仪器主要有X射线衍射仪、透射电子显微镜和扫描探针显微镜。简要介绍了硅晶格... 2018年第26届国际计量大会建议采用硅{220}晶面间距作为米定义的复现方法之一,以满足不断缩小的物理尺寸对原子级准确度计量的需求。目前能直接表征硅晶格的仪器主要有X射线衍射仪、透射电子显微镜和扫描探针显微镜。简要介绍了硅晶格常数溯源方式在不同测量原理下的国内外应用和发展现状。针对扫描探针显微术,根据不同种类扫描探针显微镜的测量原理,主要综述了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和qPlus原子力显微镜在原子尺度水平和垂直维度下的空间计量校准及其应用前景。硅晶格常数作为SI单位变革的重要内容,开展基于硅晶格常数的扫描探针显微技术计量研究,将助力我国新一代纳米计量体系的建立,提升我国在纳米计量领域的国际地位和话语权。 展开更多
关键词 计量学 硅晶格常数 扫描探针显微镜 si单位变革 原子尺度 纳米计量
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