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声表面渡(SAW)力传感器
1
作者
李同泽
《气动实验与测量控制》
CSCD
1990年第1期50-53,共4页
本文对声表面波(SAW)力传感器的基本工作原理进行了理论分析,同时对该传感器进行了实验研究。实验获得了约2.3kHz/9.8×10^(-3)N 的力灵敏度。实验表明该传感器是一个线性传感器,对于微力测量十分敏感。
关键词
声表面波
力传感器
传感器
下载PDF
职称材料
题名
声表面渡(SAW)力传感器
1
作者
李同泽
机构
西北工业大学
出处
《气动实验与测量控制》
CSCD
1990年第1期50-53,共4页
文摘
本文对声表面波(SAW)力传感器的基本工作原理进行了理论分析,同时对该传感器进行了实验研究。实验获得了约2.3kHz/9.8×10^(-3)N 的力灵敏度。实验表明该传感器是一个线性传感器,对于微力测量十分敏感。
关键词
声表面波
力传感器
传感器
Keywords
saw
resonator
(
sawr
)
saw
force
sensor
micro-force
measurement
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
声表面渡(SAW)力传感器
李同泽
《气动实验与测量控制》
CSCD
1990
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