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微半球谐振陀螺技术研究进展 被引量:9
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作者 石岩 席翔 +1 位作者 吴学忠 肖定邦 《导航与控制》 2019年第2期1-8,共8页
微半球谐振陀螺是一种基于MEMS工艺实现高精度谐振结构制造,进而实现角速率或角度信号测量的新型振动式陀螺。该技术既有望继承传统半球谐振陀螺高精度、长寿命等优点,又兼具了微型化的技术优势,具有极大的发展潜力。目前,微半球谐振陀... 微半球谐振陀螺是一种基于MEMS工艺实现高精度谐振结构制造,进而实现角速率或角度信号测量的新型振动式陀螺。该技术既有望继承传统半球谐振陀螺高精度、长寿命等优点,又兼具了微型化的技术优势,具有极大的发展潜力。目前,微半球谐振陀螺技术处于起步阶段,对其的研究重点主要集中于高精度谐振结构的制造技术。介绍了多种微半球谐振陀螺的制造方法,分析了其技术特点,并结合国内外微半球谐振陀螺技术的发展现状,对其未来发展趋势进行了阐述。 展开更多
关键词 惯性传感 谐振陀螺 MEMS技术 制造方法
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高精度环形谐振腔的结构设计及优化 被引量:5
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作者 刘耀英 薛晨阳 +4 位作者 郑华 安盼龙 崔晓文 卢晓云 刘俊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第11期3688-3693,共6页
环形谐振器作为谐振式光学陀螺的核心敏感部件,其精细度的大小直接影响光纤陀螺的灵敏度,所以研究光纤环形谐振器的特性及其精细度是优化陀螺设计和制造及提高性能的关键。通过对比分析不同耦合器结构的耦合原理,系统分析了在一定激光... 环形谐振器作为谐振式光学陀螺的核心敏感部件,其精细度的大小直接影响光纤陀螺的灵敏度,所以研究光纤环形谐振器的特性及其精细度是优化陀螺设计和制造及提高性能的关键。通过对比分析不同耦合器结构的耦合原理,系统分析了在一定激光器线宽的基础上,谐振式光学陀螺系统灵敏度和谐振腔光路中各参数的间的关系及耦合器耦合系数与各损耗参数间的关系。设计优化R-MOG系统的主要参数。最终在同时考虑到谐振腔的高精细度和高Q值得前提下,得到当腔长尺寸为21.4 cm时,精细度达170,Q值为3.34×107,此时,灵敏度为0.48(°)/h,并且,通过建立一个R-MOG闭环实验系统,对系统双路转动的闭环响应进行了测试,这为陀螺系统的构建提供了理论和实验基础。 展开更多
关键词 谐振器 光纤陀螺 耦合器 精细度 灵敏度
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全角模式半球谐振陀螺阻尼误差补偿方法研究 被引量:3
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作者 郭锞琛 吴宇列 +2 位作者 张勇猛 肖定邦 吴学忠 《自动化仪表》 CAS 2021年第5期6-9,13,共5页
全角(WA)模式作为一种新型陀螺控制模式,可使陀螺具有高动态范围和稳定的标度因数,有广阔的发展前景。而阻尼不均匀是影响全角模式陀螺精度的重要因素。在研究全角模式下的运动模型和控制方案基础上,针对半球谐振陀螺阻尼不均匀导致的... 全角(WA)模式作为一种新型陀螺控制模式,可使陀螺具有高动态范围和稳定的标度因数,有广阔的发展前景。而阻尼不均匀是影响全角模式陀螺精度的重要因素。在研究全角模式下的运动模型和控制方案基础上,针对半球谐振陀螺阻尼不均匀导致的速率阈值和振型角漂移现象,创造性地提出了振型自进动和前馈阻尼补偿相结合的补偿方案。通过试验测试,半球谐振陀螺在经过补偿后突破了原先0.01°/s的速率阈值,并且其输出波动由0.37°降低到了0.048°。该方法达成的周向阻尼不均匀性的标定与补偿作用不局限于半球谐振陀螺,对于其他类型的哥氏振动陀螺,也能够起到同样的效果,对降低陀螺由阻尼不均匀引起的误差有重要意义。 展开更多
关键词 振动陀螺 全角模式 半球谐振陀螺 速率阈值 自进动 阻尼不均匀 误差补偿 前馈补偿
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光纤环形谐振腔输入功率波动对谐振式光纤陀螺的影响(英文) 被引量:3
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作者 郑华 郑永秋 +3 位作者 安盼龙 张婷 卢晓云 薛晨阳 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第11期293-297,共5页
谐振式光纤陀螺是一种基于Sagnac效应的高精度惯性传感器。作为一种互异性噪声,光纤谐振腔输入功率的波动会造成陀螺的检测误差。首先,分析了光纤谐振腔输入功率波动产生噪声的机理。通过对不同输入功率下的谐振腔传输特性和陀螺解调输... 谐振式光纤陀螺是一种基于Sagnac效应的高精度惯性传感器。作为一种互异性噪声,光纤谐振腔输入功率的波动会造成陀螺的检测误差。首先,分析了光纤谐振腔输入功率波动产生噪声的机理。通过对不同输入功率下的谐振腔传输特性和陀螺解调输出的理论及实验分析得到了谐振腔输入功率波动引起的检测误差的表达式。当输入角速度为500(°)/s、输入功率为0.69 mW时,0.007 5 mW的功率波动会引起5.26(°)/s的检测误差。其次,研究了谐振腔输入功率波动对陀螺标度因数的影响。通过计算发现随着输入功率波动的增大,解调曲线的线性区将会发生扭曲,同时陀螺的标度因数非线性度会恶化,为谐振式光纤陀螺中输入功率波动噪声的估测提供了参考。 展开更多
关键词 谐振腔 光纤陀螺 噪声 灵敏度
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无源谐振腔激光陀螺中的闭锁效应 被引量:3
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作者 肖贵遐 丁金星 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第11期1589-1593,共5页
从谐振腔的谐振特性出发,严格地推导出无源谐振腔激光陀螺中由腔镜背散射引起的闭锁效应关系式及闭锁阈值表达式。实验观察结果证实了理论推导的正确性。
关键词 无源谐振腔 激光陀螺 背散射 闭锁效应
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金属筒形谐振陀螺的频率修调技术研究 被引量:3
6
作者 于得川 齐国华 魏艳勇 《导航定位与授时》 2019年第1期100-107,共8页
旋转对称结构的谐振陀螺与传统的陀螺相比,具有高寿命、高稳定性、结构简单等诸多优点,然而该种陀螺在加工制造过程中产生的各种误差以及密度应力不均等缺陷,使得谐振子产生频率裂解,严重影响了陀螺性能。国内外对于频率裂解消除的技术... 旋转对称结构的谐振陀螺与传统的陀螺相比,具有高寿命、高稳定性、结构简单等诸多优点,然而该种陀螺在加工制造过程中产生的各种误差以及密度应力不均等缺陷,使得谐振子产生频率裂解,严重影响了陀螺性能。国内外对于频率裂解消除的技术已有一定研究,但缺乏系统化的算法指导修调过程。针对一种金属筒形谐振陀螺,推导了一套系统直观、便于指导修调过程的频率修调算法,并通过仿真验证了该算法的实用性。最后,搭建了一套基于电磁激励、声波检测的频率修调系统,按照修调算法进行了修调实验,成功将谐振子频率裂解修调至0.04Hz。 展开更多
关键词 谐振陀螺 频率裂解 频率修调 模态匹配
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Resonator fiber optic gyros with light time-division input and multiplexing output in clockwise and counterclockwise directions 被引量:3
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作者 Zongfu Hu Zhiguo Jiang +1 位作者 Jinfang Wang Su Mei 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第3期11-16,共6页
A resonator fiber optic gyro with the light time-division input and multiplexing output(TDM-RFOG)in the clockwise(CW)and counterclockwise(CCW)directions is proposed.The light time-division input in the CW and CCW dire... A resonator fiber optic gyro with the light time-division input and multiplexing output(TDM-RFOG)in the clockwise(CW)and counterclockwise(CCW)directions is proposed.The light time-division input in the CW and CCW directions can effectively suppress the backscattering induced noise.The TDM-RFOG is implemented with the 2×2 Mach–Zehnder interferometer(MZI)optical switch.The response time of the fiber ring resonator is analyzed,and it is demonstrated by experiments that light time-division input in the CW and CCW directions can reduce the backscattering induced noise.The suppression effectiveness of backscattering induced noise in the TDM-RFOG is determined by the extinction ratio of the optical switch,so a closed loop is designed to adjust the phase shift difference between the two arms of the MZI optical switch to control the extinction ratio.The method using two arms of the MZI optical switch with twin 90°polarization-axis rotated splices is proposed to make the extinction ratio along both slow and fast axes greater than-70 d B. 展开更多
关键词 resonator fiber OPTIC gyroscope Mach–Zehnder interferometer BACKSCATTERING induced noise
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谐振式光学陀螺检测电路的噪声分析 被引量:2
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作者 姜楠 马迎建 洪灵菲 《电子测量技术》 2008年第12期4-6,10,共4页
噪声是限制陀螺精度的重要原因,因此为提高陀螺精度,首先要分析噪声的水平和来源。本文介绍了一种应用于谐振式光学陀螺数字检测电路的噪声逐级检测方法,并分析了检测电路中各部分的噪声源。通过对现有某陀螺检测电路进行实验数据的分析... 噪声是限制陀螺精度的重要原因,因此为提高陀螺精度,首先要分析噪声的水平和来源。本文介绍了一种应用于谐振式光学陀螺数字检测电路的噪声逐级检测方法,并分析了检测电路中各部分的噪声源。通过对现有某陀螺检测电路进行实验数据的分析,找到了对该谐振陀螺噪声贡献最大的部分。又从信噪比角度给出确定该陀螺输入光功率的方法,计算出了它的灵敏度。实验表明此方法可以分析出陀螺检测电路中各部分的噪声源,与理论分析一致。为抑制检测电路噪声,提高陀螺精度提供依据。 展开更多
关键词 谐振陀螺 检测电路 噪声 灵敏度
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玻尔共振实验相空间拓展研究装置设计
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作者 陈褚鸿续 张亚萍 +1 位作者 王书磊 梁燕旋 《物理与工程》 2021年第3期124-128,共5页
本文针对玻尔共振实验设计了一套基于电子陀螺仪和三轴加速度计,配合Arduino的振动角度和角速度采集装置。本装置可以对玻尔共振仪摆轮的运动状态进行测量,并在此基础上绘制相图。实验分析了多个稳定受迫振动周期下使用该装置测量的振... 本文针对玻尔共振实验设计了一套基于电子陀螺仪和三轴加速度计,配合Arduino的振动角度和角速度采集装置。本装置可以对玻尔共振仪摆轮的运动状态进行测量,并在此基础上绘制相图。实验分析了多个稳定受迫振动周期下使用该装置测量的振动角度,角速度数据。实验结果表明测量角度的相对误差在0.8%以内,测量角速度的相对误差在0.5%以内。本装置采集数据间隔较短,误差小,绘制的相图精度较高且连贯性好,可以满足实验拓展需求。这项功能改进提升了实验数据采集的信息化程度,增加了原有实验项目的实验内容,可为玻尔共振实验的拓展研究和教学创新设计提供一定的借鉴和技术支持。 展开更多
关键词 玻尔共振仪 相图 陀螺仪 加速度计 装置设计
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MOEMS陀螺谐振腔的闭环调整方案研究
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作者 刘惠兰 潘在友 +1 位作者 刘欢 王勇 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期172-175,共4页
谐振腔是MOEMS陀螺的关键器件,由于谐振腔具有相对失调特性,所以传统的调腔是以人工方式进行的。研究并提出了一种新型的可应用于微光机电(MOEMS)陀螺谐振腔的闭环调整方案,完成了基于机器视觉和PZT控制的闭环调整系统及调腔实验,得到... 谐振腔是MOEMS陀螺的关键器件,由于谐振腔具有相对失调特性,所以传统的调腔是以人工方式进行的。研究并提出了一种新型的可应用于微光机电(MOEMS)陀螺谐振腔的闭环调整方案,完成了基于机器视觉和PZT控制的闭环调整系统及调腔实验,得到了预期的效果,并进行了相关的分析。 展开更多
关键词 谐振腔 闭环调整 陀螺 微光机电系统
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金属杯型振动陀螺技术研究
11
作者 贾智学 任佳婧 《空间电子技术》 2018年第6期83-88,共6页
金属杯型振动陀螺是一种低成本、高可靠、长寿命的新型固体陀螺仪,具有一系列独特优点,适宜于战术武器领域。文章对金属杯型振动陀螺的国内外发展现状和技术指标进行对比,介绍了国外主要应用方向,并简要叙述了其工作原理和主要结构,分... 金属杯型振动陀螺是一种低成本、高可靠、长寿命的新型固体陀螺仪,具有一系列独特优点,适宜于战术武器领域。文章对金属杯型振动陀螺的国内外发展现状和技术指标进行对比,介绍了国外主要应用方向,并简要叙述了其工作原理和主要结构,分析了关键技术环节,对研制的样机进行测评,提出后续发展的方向。 展开更多
关键词 金属杯 谐振子 振动陀螺仪 关键技术
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基于厚度剪切振动的压电圆盘微陀螺的制作和分析
12
作者 关冉 张卫平 +3 位作者 许仲兴 张弓 成宇翔 陈文元 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第9期115-117,121,共4页
基于面内振动模态工作的圆盘陀螺在利用压电方式驱动和检测时,需要在圆盘振动体侧壁上加工压电换能器,很难由MEMS工艺实现。为实现压电圆盘陀螺的小型化,设计制作了一种直接由压电材料作为振动体,基于厚度剪切振动模态工作的新型压电圆... 基于面内振动模态工作的圆盘陀螺在利用压电方式驱动和检测时,需要在圆盘振动体侧壁上加工压电换能器,很难由MEMS工艺实现。为实现压电圆盘陀螺的小型化,设计制作了一种直接由压电材料作为振动体,基于厚度剪切振动模态工作的新型压电圆盘微陀螺。厚度剪切振动模态使得陀螺可以通过在压电基片上下表面制作金属电极的MEMS工艺进行加工。通过对加工出的陀螺器件进行阻抗分析发现加工出的陀螺具有良好的对称性,基于阻抗分析得到的品质因数通过有限元分析可知,陀螺可实现高灵敏度、低非线性度、大量程、低角速度耦合误差等性能。 展开更多
关键词 压电 圆盘谐振体 微机械陀螺 厚度剪切振动 MEMS工艺
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半球谐振陀螺研究现状与发展趋势 被引量:28
13
作者 潘瑶 曲天良 +1 位作者 杨开勇 罗晖 《导航定位与授时》 2017年第2期9-13,共5页
半球谐振陀螺是基于哥氏效应测量角速度的新型固态陀螺,具有结构简单、精度高、功耗低、寿命长、可靠性好、抗空间辐射等优点,是捷联惯性导航系统的理想陀螺仪,在宇航领域具有独特的应用优势。半球谐振陀螺的理论精度不受量子尺寸效应限... 半球谐振陀螺是基于哥氏效应测量角速度的新型固态陀螺,具有结构简单、精度高、功耗低、寿命长、可靠性好、抗空间辐射等优点,是捷联惯性导航系统的理想陀螺仪,在宇航领域具有独特的应用优势。半球谐振陀螺的理论精度不受量子尺寸效应限制,是高精度、微型化陀螺的重要发展方向之一。首先介绍了半球谐振陀螺的基本工作原理,其次介绍了半球谐振陀螺的发展历程,综述了半球谐振陀螺的国内外研究现状,最后对半球谐振陀螺的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 半球谐振陀螺 哥氏效应 惯性导航
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基于超快激光技术的半球谐振陀螺点式修调方法 被引量:20
14
作者 赵小明 于得川 +2 位作者 姜澜 赵丙权 胡洁 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2019年第6期782-786,共5页
针对石英半球谐振陀螺中谐振子的频率裂解修调难题,提出基于超快激光技术的点式去重修调方法。首先,分析了频率裂解与四次谐波不平衡质量的对应关系,根据傅里叶级数展开原理以及谐波函数叠加原理,推导了点式去重的修调算法。然后,通过... 针对石英半球谐振陀螺中谐振子的频率裂解修调难题,提出基于超快激光技术的点式去重修调方法。首先,分析了频率裂解与四次谐波不平衡质量的对应关系,根据傅里叶级数展开原理以及谐波函数叠加原理,推导了点式去重的修调算法。然后,通过仿真验证了修调效果,并总结出均布对称修调的最优方案。最后采用飞秒激光时空整形加工新方法,进行了石英半球谐振子的修调实验。实验结果表明,所提出的方法可以使频率裂解修调至8 mHz左右,实现了0.5 mHz的修调分辨率。 展开更多
关键词 半球谐振陀螺 谐波缺陷 频率裂解 超快激光
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几种新型陀螺简介 被引量:5
15
作者 何传五 《航天控制》 CSCD 北大核心 2001年第2期73-80,共8页
随着航空航天技术的发展 ,对惯性测量装置提出了更多的要求。利用不同原理研制成的陀螺在各种领域均有不同应用。本文仅就微机械陀螺、半球谐振陀螺、挠性陀螺、光纤陀螺的原理。
关键词 光纤陀螺 航空航天技术 惯性测量装置 微机械陀螺 挠性陀螺 谐振 原理
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谐振式微光学陀螺最佳灵敏度调节的研究 被引量:17
16
作者 冯翔 马迎建 +1 位作者 于怀勇 杜新政 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期1064-1067,共4页
介绍了谐振式微光学陀螺(ROG)的基本原理与结构,对采用三角波频率调制的陀螺灵敏度进行了理论分析。以调频光谱测量原理为基础,把环形谐振腔视为具有洛伦兹型吸收谱的介质,推导出了谐振式微光学陀螺在最大灵敏度时输出的光强与谐振腔谐... 介绍了谐振式微光学陀螺(ROG)的基本原理与结构,对采用三角波频率调制的陀螺灵敏度进行了理论分析。以调频光谱测量原理为基础,把环形谐振腔视为具有洛伦兹型吸收谱的介质,推导出了谐振式微光学陀螺在最大灵敏度时输出的光强与谐振腔谐振特性曲线的对应关系,提出了一种谐振式微光学陀螺最佳灵敏度的调节方法,结合陀螺系统信号的调制与解调,简化了陀螺系统最佳灵敏度的调节过程,给出了实际陀螺系统的灵敏度的测试实验。实验结果表明,此调节方法能够将谐振式微光学陀螺系统调节到最佳灵敏度,适合在实际的谐振式陀螺系统调试中运用。 展开更多
关键词 集成光学 谐振式微光学陀螺 最佳灵敏度 调制频率
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半球谐振陀螺仪谐振子振动特性的有限元分析 被引量:11
17
作者 沈博昌 伊国兴 +2 位作者 任顺清 王常虹 方针 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2004年第6期56-60,共5页
应用 ANSYS 软件对半球谐振陀螺仪谐振子的振动特性进行了有限元分析,建立了Ψ型半球壳谐振子的有限元模型,计算出了谐振子的固有频率及振型。在理论分析的基础之上,提出了对于Ψ型半球壳谐振子的结构设计的合理建议。
关键词 谐振子 球壳 振动特性 固有频率 陀螺仪 有限元模型 振型 有限元分析 结构设计 ANSYS软件
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半球谐振陀螺研究现状、关键技术和发展趋势分析 被引量:13
18
作者 曲天良 《光学与光电技术》 2022年第2期1-16,共16页
半球谐振陀螺是一种高精度、高可靠性、小型化的角速度传感器,被誉为“具有颠覆性的技术”,“可以改变惯导行业版图”。综述了半球谐振陀螺国内外研究现状,分析了国内外主要差距;总结了半球谐振陀螺的关键技术,强调了精密加工、化抛、... 半球谐振陀螺是一种高精度、高可靠性、小型化的角速度传感器,被誉为“具有颠覆性的技术”,“可以改变惯导行业版图”。综述了半球谐振陀螺国内外研究现状,分析了国内外主要差距;总结了半球谐振陀螺的关键技术,强调了精密加工、化抛、调平、镀膜、装配、电路控制和误差补偿等关键技术;分析了半球谐振陀螺的发展趋势,包括技术发展趋势和市场发展趋势。 展开更多
关键词 惯性导航 半球谐振陀螺 全角模式 力平衡模式 谐振子
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半球谐振陀螺发展的技术特征 被引量:15
19
作者 彭慧 方针 +2 位作者 谭文跃 方海斌 严隆辉 《导航定位与授时》 2019年第4期108-114,共7页
半球谐振陀螺具有一系列独特的优势,已成功在多个国家得到应用,各国在结构、控制电路等方面均有差异,其应用领域也各有侧重。首先介绍了各国半球谐振陀螺的发展状况,分析了其在结构、控制电路、工作模式以及应用领域上的差异。阐述了国... 半球谐振陀螺具有一系列独特的优势,已成功在多个国家得到应用,各国在结构、控制电路等方面均有差异,其应用领域也各有侧重。首先介绍了各国半球谐振陀螺的发展状况,分析了其在结构、控制电路、工作模式以及应用领域上的差异。阐述了国内半球谐振陀螺力平衡模式的控制电路特点及实现,已成功应用在卫星平台。最后通过与国外半球谐振陀螺的对比,对国内半球谐振陀螺的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 半球谐振陀螺 发展状况 应用
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谐振腔光纤陀螺光纤谐振环特性研究 被引量:11
20
作者 姚琼 宋章启 +1 位作者 谢元平 胡永明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期676-680,共5页
对有限光源线宽情况下反射式光纤谐振环的响应特性进行了研究,得到了光纤谐振环各谐振特性参量的表示式.分析了特性参量与光源线宽和耦合器特性的关系,结合对方波调制谐振腔光纤陀螺极限灵敏度的分析,给出了设计高灵敏度谐振腔光纤陀螺... 对有限光源线宽情况下反射式光纤谐振环的响应特性进行了研究,得到了光纤谐振环各谐振特性参量的表示式.分析了特性参量与光源线宽和耦合器特性的关系,结合对方波调制谐振腔光纤陀螺极限灵敏度的分析,给出了设计高灵敏度谐振腔光纤陀螺光纤谐振环的要求和原则.进行了谐振腔光纤陀螺用光纤谐振环的实验研究,制作了适用于谐振腔光纤陀螺的高精细度和高谐振深度光纤谐振环. 展开更多
关键词 谐振腔光纤陀螺 光纤谐振环 谐振特性
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