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共振腔增强型光电探测器 被引量:2
1
作者 傅竹西 《物理》 CAS 1999年第5期282-285,共4页
共振腔增强型光电探测器是近十年发展起来的新型探测器.它是在探测器内制备微共振腔并在中间插入激活层构成的.在这种结构中,由于共振腔对非共振波长的抑制及对共振光场的放大作用,使探测器的量子效率在共振波长处被增强,带宽-量... 共振腔增强型光电探测器是近十年发展起来的新型探测器.它是在探测器内制备微共振腔并在中间插入激活层构成的.在这种结构中,由于共振腔对非共振波长的抑制及对共振光场的放大作用,使探测器的量子效率在共振波长处被增强,带宽-量子效率之积比传统的光电二极管提高了近3倍.由于它同时具备对波长的选择作用和高频响应特性。 展开更多
关键词 共振腔增强型 光电探测器 半导体 原理 性能
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量子阱共振腔增强型光电探测器的高功率特性 被引量:1
2
作者 朱彬 韩勤 杨晓红 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1074-1079,共6页
通过测量1.55μm量子阱共振腔增强型光电探测器的光电流随反向电压和光功率的变化关系,以及模拟能带结构、电场分布等特性,研究了量子阱共振腔增强型光电探测器的高功率特性.分析了光电流的产生机制,测量了1.064μm量子阱共振腔增强型... 通过测量1.55μm量子阱共振腔增强型光电探测器的光电流随反向电压和光功率的变化关系,以及模拟能带结构、电场分布等特性,研究了量子阱共振腔增强型光电探测器的高功率特性.分析了光电流的产生机制,测量了1.064μm量子阱共振腔增强型光电探测器的光电响应,模拟了具有不同势垒高度的量子阱共振腔增强型光电探测器的光电响应.从实验和模拟两方面证明了量子阱的势垒高度是影响量子阱共振腔增强型光电探测器高功率特性的最主要因素. 展开更多
关键词 共振腔增强型光电探测器 高功率 复合 势垒高度
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谐振腔增强型光探测器的高速响应性能研究 被引量:4
3
作者 黄永清 黄辉 任晓敏 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第11期1385-1390,共6页
高速长波长光探测器是高速光纤通信系统和网络的关键器件,它要求光探测器具有宽的频率响应带宽和高量子效率。常用的PIN光探测器由于量子效率和高速性能均受到吸收层厚度的牵制,使得二者相互制约,成为一对矛盾。谐振腔增强型(RCE)光探... 高速长波长光探测器是高速光纤通信系统和网络的关键器件,它要求光探测器具有宽的频率响应带宽和高量子效率。常用的PIN光探测器由于量子效率和高速性能均受到吸收层厚度的牵制,使得二者相互制约,成为一对矛盾。谐振腔增强型(RCE)光探测器为这一矛盾的解决提供了有效的方案。基于谐振腔增强型光探测器的实际设计和制作模型,分析了器件吸收层中的光场分布,并将其运用于载流子的连续方程,从理论上详细地分析了器件的高速响应特性,给出了计算结果。针对研制的高速长波长谐振腔增强型光探测器,进行了理论分析和实际器件测试的结果比较,得到了比较一致的结果。 展开更多
关键词 光通信 光探测器 长波长 频率响应 谐振腔增强型光探测器
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新型光电探测器的研究 被引量:1
4
作者 王兴妍 黄辉 +2 位作者 王琦 黄永清 任晓敏 《通信学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第12期120-124,共5页
针对RCE光电探测器存在的问题提出两种解决方案。将InP/空气隙的分布布拉格反射镜(DBR)结构引入RCE光探测器,只用1.5对InP/空气隙计算反射率约为95%,解决了长波长反射镜制备问题。所制备的器件,在波长1.585μm处获得了约54.5%的峰值... 针对RCE光电探测器存在的问题提出两种解决方案。将InP/空气隙的分布布拉格反射镜(DBR)结构引入RCE光探测器,只用1.5对InP/空气隙计算反射率约为95%,解决了长波长反射镜制备问题。所制备的器件,在波长1.585μm处获得了约54.5%的峰值量子效率,以及8GHz的3dB响应带宽。另一种引入斜镜结构解除了量子效率与超窄光谱响应线宽的相互制约。 展开更多
关键词 RCE光电探测器 长波长 空气隙 斜镜 量子效率
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新型长波长InP基谐振腔增强型光探测器 被引量:4
5
作者 王琦 黄辉 +2 位作者 王兴妍 黄永清 任晓敏 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1487-1490,共4页
介绍了一种新型长波长InP基谐振腔增强型(RCE)光探测器。通过V(FeCl3):V(H2O)溶液对InGaAs牺牲层的选择性湿法腐蚀,制备出具有InP/空气隙的高反射率分布布拉格反射镜(DBR),并将该选择性湿法腐蚀技术成功地应用到长波长InP基谐振腔增强... 介绍了一种新型长波长InP基谐振腔增强型(RCE)光探测器。通过V(FeCl3):V(H2O)溶液对InGaAs牺牲层的选择性湿法腐蚀,制备出具有InP/空气隙的高反射率分布布拉格反射镜(DBR),并将该选择性湿法腐蚀技术成功地应用到长波长InP基谐振腔增强型光探测器的制备中去,从而彻底解决了InP/InGaAsP高反射率分布布拉格反射镜难以外延生长的问题。所制备出的谐振腔增强型光探测器,其台面面积为50μm×50μm,底部反射镜为1.5对的InP/空气隙分布布拉格反射镜,顶部反射镜靠InGaAsP与空气的界面反射来实现。测试结果表明,该谐振腔增强型光探测器在波长1.510μm处获得了约59%的峰值量子效率,在3V反偏压下暗电流为2nA,3dB响应带宽达到8GHz。 展开更多
关键词 光电子学 谐振腔增强型光探测器 空气隙 选择性湿法腐蚀
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用于光波分复用系统的高性能解复用接收器件
6
作者 黄永清 黄辉 +3 位作者 王兴妍 王琦 崇英哲 任晓敏 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第F01期409-414,共6页
对用于光波分复用(OWDM)系统的高性能解复用接收器件———高性能光探测器的研究作了介绍和分析。这类器件需要同时具备高速、高量子效率、超窄光谱响应线宽的性能。为适应OWDM网络的灵活性、智能化和系统集成化的需要,器件还需具备宽... 对用于光波分复用(OWDM)系统的高性能解复用接收器件———高性能光探测器的研究作了介绍和分析。这类器件需要同时具备高速、高量子效率、超窄光谱响应线宽的性能。为适应OWDM网络的灵活性、智能化和系统集成化的需要,器件还需具备宽带可调谐的性能。这类器件主要有普通谐振腔增强型(RCE)光探测器、四镜三腔型RCE光探测器、一镜斜置三镜腔光探测器、外腔可调谐RCE光探测器、液晶可调谐RCE光探测器、微机械可调谐RCE光探测器及采用InP 空气隙反射镜的长波长RCE光探测器等器件。本文重点介绍了其中部分器件的研究。 展开更多
关键词 光纤通信 光波分复用 光探测器 谐振腔 谐振腔增强型光探测器 解复用
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硅基1.55μm可调谐共振腔窄带光电探测器的研究 被引量:3
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作者 毛容伟 成步文 +5 位作者 李传波 左玉华 滕学公 罗丽萍 余金中 王启明 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1783-1787,共5页
制作了一种低成本硅基1.55μm可调谐共振腔增强型探测器.首次获得硅基长波长可调谐共振腔探测器的窄带响应,共振峰量子效率达44%,峰值半高宽为12.5nm,调谐范围14.5nm,并且获得1.8GHz的高频响应.本制作工艺不复杂,成本低,有望用于工业生产.
关键词 共振腔增强型探测器 介质键合 INGAAS 可调谐 高频响应
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高速长波长谐振腔增强型光探测器的瞬态性能研究
8
作者 黄永清 王琦 +1 位作者 黄辉 任晓敏 《半导体光电》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期148-152,共5页
基于谐振腔增强型(RCE)光探测器的实际设计和制作模型,提出了综合器件的隔离层及器件的串联电阻、结电容等参数的高速长波长RCE光探测器的瞬态响应特性的表达式,包括器件的冲击响应、阶跃响应和脉冲响应。从理论上详细地研究了高速长波... 基于谐振腔增强型(RCE)光探测器的实际设计和制作模型,提出了综合器件的隔离层及器件的串联电阻、结电容等参数的高速长波长RCE光探测器的瞬态响应特性的表达式,包括器件的冲击响应、阶跃响应和脉冲响应。从理论上详细地研究了高速长波长RCE光探测器的瞬态响应特性,最后给出了不同器件结构参数的计算结果。 展开更多
关键词 谐振腔增强型光探测器 冲击响应 阶跃响应 脉冲响应
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一种新型谐振腔增强型光电探测器的性能分析
9
作者 赵维 《电子设计工程》 2010年第5期78-80,共3页
通过理论探讨和实验仿真,分析了一种新型谐振腔增强型光电探测器RCEP(Resonant Cavity Enhanced Photodetector)的结构及性能,该RCEP的基本结构是将吸收层插入到谐振腔当中,并指出这种新型器件较传统器件可获得较高的量子效率和响应速度... 通过理论探讨和实验仿真,分析了一种新型谐振腔增强型光电探测器RCEP(Resonant Cavity Enhanced Photodetector)的结构及性能,该RCEP的基本结构是将吸收层插入到谐振腔当中,并指出这种新型器件较传统器件可获得较高的量子效率和响应速度,而其具有的波长选择特性,使这种新型器件可在光波分复用WDM(Wavelength Division Multiplexing)系统中获得广泛应用。 展开更多
关键词 谐振腔增强型(RCE) 光电探测器 量子效率 驻波效应
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