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四极质谱计在真空检漏中的应用 被引量:12
1
作者 冯焱 李得天 《真空》 CAS 北大核心 2006年第3期45-47,共3页
介绍了使用四极质谱计进行真空检漏的原理和方法,分别对超高和极高真空系统做了检漏实验研究,并取到了满意的结果。四极质谱计检漏有检漏仪检漏无法比拟的优点,适合在真空工程中推广应用。
关键词 四极质谱计 检漏 残余气体谱
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大功率速调管残余气体的质谱分析 被引量:1
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作者 邓秉林 周锦宝 薛纪钦 《真空》 CAS 北大核心 2008年第3期75-77,共3页
介绍了BEPCII直线加速器速调管的特点,速调管在微波大功率老练和正常运行时容易在速调管陶瓷窗附近产生打火出气等不稳定现象,使附近的真空度产生变化,真空度的好坏对速调管陶瓷窗的寿命非常重要。四极质谱仪应用在大功率速调管上,记录... 介绍了BEPCII直线加速器速调管的特点,速调管在微波大功率老练和正常运行时容易在速调管陶瓷窗附近产生打火出气等不稳定现象,使附近的真空度产生变化,真空度的好坏对速调管陶瓷窗的寿命非常重要。四极质谱仪应用在大功率速调管上,记录了真空系统中残余气体的谱图。及在不同条件下残余气体的谱图变化特点。对速调管高功率输出时变化的残余气体谱图进行了初步分析。 展开更多
关键词 四极质谱仪 速调管 残余气体谱
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空间行波管排气过程中残余气体的质谱分析 被引量:1
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作者 刘晋允 赵世柯 梁文龙 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第10期829-833,共5页
电真空器件内残余气体直接影响其阴极的发射能力与寿命。本文利用高灵敏度四极质谱仪监测了空间行波管在整个排气过程中的残余气体,对各阶段气体成分及含量进行了分析。结果表明:烘烤前,水为主要气体,占80%。前期擦拭用无水乙醇易污染... 电真空器件内残余气体直接影响其阴极的发射能力与寿命。本文利用高灵敏度四极质谱仪监测了空间行波管在整个排气过程中的残余气体,对各阶段气体成分及含量进行了分析。结果表明:烘烤前,水为主要气体,占80%。前期擦拭用无水乙醇易污染真空系统;升温过程中氢迅速增多,当烘烤温度达到220℃时,H_2成为系统中主要气体;整个烘排过程H_2的分压小于10-3Pa,其余气体分压均小于10^(-4)Pa;烘烤结束后,H_2分压为2. 4×10^(-8)Pa,占74%。H_2O分压为6×10-9Pa,占20%;离子泵与吸气剂泵组可有效抽除残余气体,且对H_2的抽速高于对其他气体抽速;另外,质谱仪自身会放出H_2、H_2O、CH_4、CO_2等气体,在真空系统压力达到10-9Pa范围时,质谱仪自身放气已不可忽略。 展开更多
关键词 电真空器件 空间行波管 四极质谱仪 残余气体谱
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Ⅲ族氮化物光电阴极原位程序升温脱附(英文)
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作者 成伟 石峰 +2 位作者 杨书宁 周玉鉴 任彬 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第10期211-217,共7页
建立了理论热脱附和原位程序升温脱附方法研究Ⅲ族氮化物光电阴极部件的热除气过程。基于Malev吸附-扩散除气理论搭建了光电阴极的平板模型,利用Fick第一和第二定理计算得到了除气过程中样品吸附气体浓度、瞬时除气速率以及总的气体脱... 建立了理论热脱附和原位程序升温脱附方法研究Ⅲ族氮化物光电阴极部件的热除气过程。基于Malev吸附-扩散除气理论搭建了光电阴极的平板模型,利用Fick第一和第二定理计算得到了除气过程中样品吸附气体浓度、瞬时除气速率以及总的气体脱附量随时间变化的表达式。为便于直观研究,通过截取四阶近似给出不同扩散系数量级下的以上参量随时间的变化曲线。在Ⅲ族氮化物光电阴极TPD动态法实验中,研究并分析了光电阴极部件在不同恒温除气阶段的残余气体谱图,由此得出进入真空中的脱附气体种类。采用最小二乘法拟合得到:恒温1 000 K的条件下,N2的扩散系数为5×10-5cm2/s。通过理论分析结合TPD实验,Ⅲ族氮化物光电阴极部件热清洗的有效去除污染加热温度得到了有效的评估和验证。 展开更多
关键词 Ⅲ族氮化物光电阴极部件 程序升温脱附 残余气体谱
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精油和芳香萃取物中残留苯含量的测定
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作者 闫俊秀 武晓剑 《香料香精化妆品》 CAS 2012年第1期17-20,共4页
建立了测定精油和芳香萃取物中残留苯含量的方法,分别考察了静态顶空和直接进样两种进样方式、两种不同固定相的色谱柱、氢火焰离子化检测器(FID)和质谱检测器(MSD)两种检测器。实验得出结论:对于挥发性较大的样品采取直接进样的方式进... 建立了测定精油和芳香萃取物中残留苯含量的方法,分别考察了静态顶空和直接进样两种进样方式、两种不同固定相的色谱柱、氢火焰离子化检测器(FID)和质谱检测器(MSD)两种检测器。实验得出结论:对于挥发性较大的样品采取直接进样的方式进行测定,不易挥发的样品采用顶空进样方式。实验结果表明,在1×10-6~2.5×10-5浓度范围内,采用不同的组合,残留苯含量均具有良好的线性关系。 展开更多
关键词 残留苯 精油 芳香萃取物 静态顶空 气相色谱 质谱
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