磁控溅射矩形靶磁场的优化设计 被引量：10

1

作者 石中兵 童洪辉 赵喜学 《真空与低温》 2004年第2期112-116,共5页

磁控溅射靶材的利用率在降低生产成本中起着重要作用。正交的靶电磁场能显著地延长电子的运动路程,增加同工作气体分子的碰撞几率,提高等离子体密度,使磁控溅射速率数量级的提高,因此靶面正交电磁场的分布将决定靶的烧蚀情况。提出了2... 磁控溅射靶材的利用率在降低生产成本中起着重要作用。正交的靶电磁场能显著地延长电子的运动路程,增加同工作气体分子的碰撞几率,提高等离子体密度,使磁控溅射速率数量级的提高,因此靶面正交电磁场的分布将决定靶的烧蚀情况。提出了2种改善矩形平面靶磁场分布的方法,经过分析,这2种设计将拓宽靶面的刻蚀范围,提高靶材的利用率。 展开更多

关键词 磁控溅射 几率 正交 矩形 电磁场 磁场分布 电子 刻蚀 等离子体密度 靶材

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大视场时间延迟积分电荷耦合器件相机静态传递函数自动测试系统 被引量：8

2

作者 李国宁 刘妍妍 +1 位作者 金龙旭 任建岳 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期3171-3176,共6页

为了解决大视场时间延迟积分(TDI)电荷耦合器件(CCD)相机静态传递函数(TF)测试过程中视场覆盖率不高、测试精度和效率较低等问题,设计了一种全视场静态TF自动测试系统。首先,将整个相机视场以TDI CCD为单元进行划分,移动转台调整TDI CC... 为了解决大视场时间延迟积分(TDI)电荷耦合器件(CCD)相机静态传递函数(TF)测试过程中视场覆盖率不高、测试精度和效率较低等问题,设计了一种全视场静态TF自动测试系统。首先,将整个相机视场以TDI CCD为单元进行划分,移动转台调整TDI CCD对应视场与平行光管的位置关系,计算机接收相机采集的靶标图像,分析靶标图像特征并绘制TF变化曲线,根据TF变化曲线确定每片TDI CCD对应视场的最佳TF测试点,建立位置信息库。然后,计算机根据位置信息自动控制转台,分别移动到每片TDI CCD对应视场的最佳TF测试点,从每片TDI CCD第一个像元开始,以固定步长逐渐向最后一个像元移动,一边移动一边测试TF。最后,绘制大视场TDI CCD相机整个视场的静态TF曲线。实验结果表明:静态TF测试系统覆盖了相机整个视场,测试的静态TF平均值为0.2965,和以前测试方法比较,整个视场的静态TF平均值提高了0.02,同时提高了静态TF测试的精度和效率。 展开更多

关键词 成像系统 静态传递函数 传递函数变化曲线 时间延迟积分电荷耦合器件 矩形靶标

原文传递

直流磁控溅射中矩形平面靶刻蚀形貌的数值计算及优化 被引量：3

3

作者 黄英 李建军 +1 位作者 张以忱 李傲 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期1206-1214,共9页

对普通矩形平面靶的磁场分布、电子运动轨迹和电子分布进行了理论计算。通过磁场的解析表达式,解出电子在磁场中的运动方程,求得并从理论上解释了电子的运动轨迹。由电子的运动轨迹,并运用Monte Carlo方法,求得电子在磁场中的分布,得到... 对普通矩形平面靶的磁场分布、电子运动轨迹和电子分布进行了理论计算。通过磁场的解析表达式,解出电子在磁场中的运动方程,求得并从理论上解释了电子的运动轨迹。由电子的运动轨迹,并运用Monte Carlo方法,求得电子在磁场中的分布,得到电子分布的均值和标准差。本文通过在基片和靶材间加正向电场,改变了电子的运动轨迹和空间分布,优化了矩形平面靶的刻蚀形貌,提高了靶材利用率。 展开更多

关键词 磁控溅射 矩形靶 MONTE Carlo 刻蚀形貌 利用率

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不同磁控溅射模式的膜厚均匀性仿真计算研究 被引量：1

4

作者 张赛 易文杰 +2 位作者 袁卫华 彭立波 孙雪平 《电子工业专用设备》 2017年第6期10-16,共7页

根据溅射余弦分布理论建立了平行溅射和斜溅射模型,计算了矩形磁控靶溅射和圆形磁控靶溅射的膜厚均匀性;讨论了各种溅射模式的膜厚均匀性趋势和优劣,为磁控溅射系统的设计布局提供了支撑。

关键词 矩形靶 圆形靶 平行溅射 斜溅射

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图像拼接技术在茶树病虫害防治研究中的应用 被引量：1

5

作者 罗辉兰 朱兰艳 《安徽农业科学》 CAS 2016年第3期288-290,308,共4页

为较好地实现茶树全景图像的拼接,针对图像拼接过程中存在同名点检测时间长、非同名点基数大的问题,提出一种顾及排列顺序的图像拼接算法。该算法以基准图像为起始,采用相关性原理,以矩形块为计算单位,提取图像间相关区域;后序图像区域... 为较好地实现茶树全景图像的拼接,针对图像拼接过程中存在同名点检测时间长、非同名点基数大的问题,提出一种顾及排列顺序的图像拼接算法。该算法以基准图像为起始,采用相关性原理,以矩形块为计算单位,提取图像间相关区域;后序图像区域提取基于前序图像区域位置计算;最后在目标区域中完成同名点检测,并实现特征匹配、图像配准与融合。试验结果表明,顾及排列顺序的图像拼接算法基于目标区域提取同名点能有效地减少非同名点数量,缩短同名点查找以及特征匹配时间,能够有效提高图像配准速度并实现茶树全景图像的无缝拼接。 展开更多

关键词 图像拼接 图像排列顺序 相关性 矩形块 目标区域

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基于卷对卷矩形靶的溅射膜厚均匀性控制

6

作者 黄云翔 温万昱 +3 位作者 孙佳伟 槐创锋 曾海峰 钟褔回 《华南理工大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期81-86,共6页

提出一种基于卷对卷矩形靶的溅射理论模型,借助Matlab模拟仿真软件,对卷绕柔性衬底(宽度为100 mm,弯曲半径为100 mm,弯曲角为80°)的膜厚均匀性进行分析.首先,在主辊静态条件下,改变靶材几何尺寸和靶基距,研究此时膜厚均匀性误差的... 提出一种基于卷对卷矩形靶的溅射理论模型,借助Matlab模拟仿真软件,对卷绕柔性衬底(宽度为100 mm,弯曲半径为100 mm,弯曲角为80°)的膜厚均匀性进行分析.首先,在主辊静态条件下,改变靶材几何尺寸和靶基距,研究此时膜厚均匀性误差的分布情况,发现:膜厚均匀性误差随着靶材几何尺寸的变大而整体减小;随着靶基距的增大,均匀性误差的中部先增大后减小,而两边一直减小.其次,在主辊动态条件下,固定靶材几何尺寸,仅改变靶基距,研究此时膜厚均匀性误差的分布规律,发现:随着靶基距的增大,膜厚均匀性误差先增大后减小.仿真实验结果还表明,动态膜厚均匀性误差位于静态膜厚均匀性误差分布曲线Max-Min的中部极值点与该分布曲线上参考点均值之间.通过对文中模型的仿真,可以较快地预测基于卷对卷矩形靶的动态膜厚均匀性误差范围,大大减少膜厚均匀性的实验调试次数. 展开更多

关键词 矩形靶 卷对卷 真空磁控溅射 膜厚均匀性 仿真

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基于图像分析法快速解决矩形截面梁承载力不足的问题

7

作者 万雨双 王海彦 杨新伟 《石家庄铁路职业技术学院学报》 2015年第3期65-70,共6页

梁承载力满足设计要求是保证工程结构安全的重要指标之一。引入图像分析法快速解决矩形截面梁承载力不足的问题。该方法直接从梁截面承载力与其影响因素关系图像走势入手,迅速找到满足承载力要求关键节点,大大节省不断逼近目标值验算的... 梁承载力满足设计要求是保证工程结构安全的重要指标之一。引入图像分析法快速解决矩形截面梁承载力不足的问题。该方法直接从梁截面承载力与其影响因素关系图像走势入手,迅速找到满足承载力要求关键节点,大大节省不断逼近目标值验算的时间。 展开更多

关键词 图像分析 承载力 矩形截面 目标值

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基于矩形覆盖的异步航迹抗差关联算法

8

作者 郑麟 衣晓 +1 位作者 张怀巍 高玉章 《现代电子技术》 北大核心 2018年第17期6-10,共5页

在分布式多目标跟踪系统中,由于各传感器开机时间不同以及采样频率的差异等原因,导致各节点接收到的局部航迹往往是异步不等速率的;同时,系统误差的存在也影响了融合系统的性能。针对这一问题,提出一种基于矩形覆盖的异步航迹抗差关联算... 在分布式多目标跟踪系统中,由于各传感器开机时间不同以及采样频率的差异等原因,导致各节点接收到的局部航迹往往是异步不等速率的;同时,系统误差的存在也影响了融合系统的性能。针对这一问题,提出一种基于矩形覆盖的异步航迹抗差关联算法,该算法通过矩形覆盖法生成带差灰区间,然后通过划分区实混合序列与矩形覆盖的方法处理航迹,最后通过灰关联方法进行关联判定。仿真实验表明,本算法能有效解决异步带差航迹的关联问题。 展开更多

关键词 异步不等速率航迹 系统误差 灰关联 矩形覆盖 目标跟踪 信息融合

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合成孔径激光成像雷达(V):成像分辨率和天线孔径函数 被引量：27

9

作者 刘立人 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第5期1408-1415,共8页

基于合成孔径激光成像雷达(SAIL)二维数据收集方程和成像算法,研究了圆形孔径和矩形孔径光学望远镜天线的方位向成像分辨率,导出了点扩展函数的解析表达式,分析了理想成像点尺寸及其光学足迹中心偏离、相位二次项匹配滤波失匹、空间采... 基于合成孔径激光成像雷达(SAIL)二维数据收集方程和成像算法,研究了圆形孔径和矩形孔径光学望远镜天线的方位向成像分辨率,导出了点扩展函数的解析表达式,分析了理想成像点尺寸及其光学足迹中心偏离、相位二次项匹配滤波失匹、空间采样宽度、采样周期等的影响;也研究了距离向成像分辨率并分析了非线性啁啾补偿等的影响。对于各种影响因素都给出了数学判据,特别是发现了矩形孔径的光学望远镜可以产生适合于SAIL扫描方式的矩形光学足趾并消除方位向分辨率不均匀降低,可以设计最佳的矩形孔径的尺度分别控制光学足趾在方位向及其垂直方向上的尺度,得到大扫捕宽度和高方位向分辨率;也发现了目标外差延时必须尽量小以克服非线性啁啾和初始光频不稳定性相位误差。 展开更多

关键词 合成孔径激光成像雷达 圆形孔径 矩形孔径 点目标激光雷达数据收集方程 方位向分辨率 距离向分辨率 点扩展函数 外差接收方向性函数 光束发散度函数

原文传递

脉冲偏压对矩形平面大弧源离子镀TiN膜层性能的影响 被引量：5

10

作者 林永清 巩春志 +4 位作者 魏永强 田修波 杨士勤 关秉羽 于传跃 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期399-404,共6页

采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响.结果表明,随着脉冲偏压的增大,薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,这是大颗粒受到离子拖曳力... 采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响.结果表明,随着脉冲偏压的增大,薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,这是大颗粒受到离子拖曳力和电场力双重作用的结果.存在一个最佳的脉冲偏压,使得制备出的TiN膜层具有较高的I_(111)/I_(200)比例和较高的耐磨性.脉冲偏压为-300 V时制备的TiN膜层具有最好的综合性能. 展开更多

关键词 无机非金属材料 离子镀 矩形靶 脉冲偏压 氮化钛 耐磨性

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智能移动三坐标辅助定位的自适应控制方法 被引量：2

11

作者 韩锋 田威 +1 位作者 刘明爽 蒋昊 《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期98-105,共8页

飞机部件的外形测量与误差评估是提升飞机装配质量的关键。针对测量工作要求高精度、高效率和无需专用工装的情况,同时针对被测对象外形尺寸大、各部位测量规范不同等难点,提出一种基于激光跟踪仪的智能移动三坐标辅助定位自适应控制技... 飞机部件的外形测量与误差评估是提升飞机装配质量的关键。针对测量工作要求高精度、高效率和无需专用工装的情况,同时针对被测对象外形尺寸大、各部位测量规范不同等难点,提出一种基于激光跟踪仪的智能移动三坐标辅助定位自适应控制技术。该技术以激光跟踪仪作为测量工具,以直角三坐标伺服机构作为靶标的辅助定位装置,通过对直角三坐标伺服机构及导航小车进行任务规划与优化;同时激光跟踪仪实时反馈靶标目标位置,从而以最优路径的方式实现对测量机构多站位自主移动的全闭环自适应控制,提高了靶标的定位精度及测量效率。本文在线对测量数据进行了快速处理,得出了误差分布图,并精确地反映了测量点位的误差。实验结果表明:该方法可实现大尺寸部件的高精度快速测量,满足飞机大部件的测量要求。 展开更多

关键词 激光跟踪仪 直角三坐标伺服机构 导航小车 靶标 实时反馈

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动态磁场矩形平面磁控靶开发

12

作者 刘文丽 刘旭 尹翔 《真空》 CAS 2023年第5期47-50,共4页

针对矩形磁控溅射靶使用过程中靶材利用率较低的问题,北京北方华创真空技术有限公司设计生产了磁铁组件可水平垂直移动的动态磁场矩形平面磁控靶。设备通过电机带动磁铁组件沿靶材宽度方向扫描,使刻蚀跑道在靶面宽度方向拓展,增大靶面... 针对矩形磁控溅射靶使用过程中靶材利用率较低的问题,北京北方华创真空技术有限公司设计生产了磁铁组件可水平垂直移动的动态磁场矩形平面磁控靶。设备通过电机带动磁铁组件沿靶材宽度方向扫描,使刻蚀跑道在靶面宽度方向拓展,增大靶面可被刻蚀的区域面积,亦通过电机调节磁铁组件垂直方向高度,减小靶材表面磁场强度相对变化,以提高靶材利用率。测试实验表明该动态磁场矩形平面磁控靶的靶材利用率提高至55%~60%,大大降低了生产成本,目前设备已获得行业用户的认可。 展开更多

关键词 磁控溅射 矩形平面靶 靶材利用率 扫描磁场

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