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题名MOCVD设备射频感应加热原理与故障分析
被引量：1
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作者
刘成群
程壹涛
刘宇宁
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机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2021年第5期16-21,共6页
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文摘
介绍了MOCVD设备射频感应加热系统的工作原理及技术特点。结合射频感应加热系统的组成,详细叙述各主要模块的典型故障及维修技术,重点分析射频功率源电路故障及维修。针对射频系统阻抗失配现象,提出了阻抗匹配调整的实用方法。根据多年的设备维护经验,归纳MOCVD设备射频感应加热系统的常见故障,给出了快速检查处理措施。
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关键词
金属有机物化学气相淀积
射频感应加热
阻抗匹配
振荡器
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Keywords
Metal-Organic Chemical Vapor Deposition(MOCVD)
rf induction heating
Impedance matching
Oscillators
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分类号
TN304.055
[电子电信—物理电子学]
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题名大投料量磷化镓多晶的工业生产
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作者
王泽树
鹿亮
许村
孙明海
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机构
淄博金晶材料厂
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出处
《山东电子》
1998年第1期37-38,共2页
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文摘
本文简要介绍了英国MR公司生产的PGR3000型磷化镓多晶合成炉的工作原理,简述了我们利用该设备研制生产大投料量磷化镓多晶的工艺,报道了产品目前所达到的技术水平,并指出了进行工业生产应解决的关键问题。
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关键词
磷化镓多晶
三温区加热炉
时频感应加热
制备
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Keywords
GaP Polycrystal
Three-zone furnace
rf induction heating
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分类号
TN304.23
[电子电信—物理电子学]
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