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基于Matlab的RF系统阻抗匹配设计 被引量：9
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作者 陈伟 刘和光 《微计算机信息》 北大核心 2006年第04Z期166-167,129,共3页
该文首先介绍了在射频(RF)电路设计中史密斯圆图的发展和其重要作用,接着介绍了史密斯圆图的基本构成原理。重点介绍了Matlab对RF系统阻抗变换过程中的圆图仿真,并通过实例,得到了阻抗变换的圆图。为了使负载吸收全部入射波功率,电路系... 该文首先介绍了在射频(RF)电路设计中史密斯圆图的发展和其重要作用,接着介绍了史密斯圆图的基本构成原理。重点介绍了Matlab对RF系统阻抗变换过程中的圆图仿真,并通过实例,得到了阻抗变换的圆图。为了使负载吸收全部入射波功率,电路系统之间必须实现无反射匹配,通过具体设计实例,对系统间匹配电路进行了圆图设计。并得出结论,Matlab可以有效的应用在RF系统设计中,其对微波电路的圆图仿真实现,可以为广大RF电路设计者提供很大的帮助。 展开更多
关键词 射频系统 MATLAB 阻抗匹配 圆图仿真
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PECVD制程中磷烷轻掺杂N+A-SI成膜稳定性的研究
2
作者 聂坤坤 段大伟 +4 位作者 李明阳 赵晓翔 王玉亮 李道杰 李从江 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期201-207,共7页
为解决G8.5世代线PECVD制程中磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中频繁出现反射功率超过3000 W导致的沉积中断,研究了磷烷流量、RF Generator的匹配特性及RFoffset的电极间距对磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中最大反射功率的影响,实验结果表明,在电极间距为2... 为解决G8.5世代线PECVD制程中磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中频繁出现反射功率超过3000 W导致的沉积中断,研究了磷烷流量、RF Generator的匹配特性及RFoffset的电极间距对磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中最大反射功率的影响,实验结果表明,在电极间距为20.875~21.875 mm之间进行RFoffset可显著降低磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中的最大反射功率至3000 W以内,保证磷烷轻掺杂N+A-SI成膜过程的稳定,且该方法可有效地解决此问题,而提高磷烷流量及使用匹配特性较好的RF Generator解决该问题均存在一定的局限性。 展开更多
关键词 磷烷轻掺杂N+A-SI 反射功率 射频系统匹配 rfoffset
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哈广10 kW DAM中波发射机射频系统工作原理
3
作者 陈朝晖 《电声技术》 2023年第2期146-149,共4页
主要介绍哈广10 kW数字调幅(Digital Amplitude Modulation,DAM)中波发射机整个射频系统的组成,并对射频系统组成的各个部分的作用进行简要说明,同时介绍双频共塔实际线路的分析,对初次接触该发射机的同行从整体上形象认识该发射机的射... 主要介绍哈广10 kW数字调幅(Digital Amplitude Modulation,DAM)中波发射机整个射频系统的组成,并对射频系统组成的各个部分的作用进行简要说明,同时介绍双频共塔实际线路的分析,对初次接触该发射机的同行从整体上形象认识该发射机的射频系统工作原理有一定的帮助。 展开更多
关键词 射频(rf)系统 功率放大器 输出网络 阻抗匹配 双频共塔
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