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QCM微粒传感器中的高压静电吸附结构设计与性能评估
1
作者
游亿哲
王壮壮
高煊
《电子技术（上海）》
2024年第6期36-37,共2页
阐述微型PM颗粒物检测器的设计,提出基于石英晶体压电效应的检测方法。该方法采用QCM微粒检测技术,设计并研发微型颗粒物检测器电路控制芯片,建立多颗粒传感解耦模型,搭建QCM电路仿真实验系统,实现利用QCM传感器对空气PM值的检测。
关键词
高压静电吸附结构
qcm
微粒传感技术
脉冲计数法
原文传递
题名
QCM微粒传感器中的高压静电吸附结构设计与性能评估
1
作者
游亿哲
王壮壮
高煊
机构
重庆交通大学
出处
《电子技术（上海）》
2024年第6期36-37,共2页
文摘
阐述微型PM颗粒物检测器的设计,提出基于石英晶体压电效应的检测方法。该方法采用QCM微粒检测技术,设计并研发微型颗粒物检测器电路控制芯片,建立多颗粒传感解耦模型,搭建QCM电路仿真实验系统,实现利用QCM传感器对空气PM值的检测。
关键词
高压静电吸附结构
qcm
微粒传感技术
脉冲计数法
Keywords
high-voltage
electrostatic
adsorption
structure
qcm
particle
sensing
technology
pulse
counting
method
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
QCM微粒传感器中的高压静电吸附结构设计与性能评估
游亿哲
王壮壮
高煊
《电子技术（上海）》
2024
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