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光学光刻中的离轴照明技术 被引量：22
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作者 郭立萍 黄惠杰 王向朝 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期23-25,共3页
本文讨论了光学光刻中的离轴照明技术。主要从改善光刻分辨率、增大焦深、提高空间像对比度等方面对离轴照明与传统照明作了比较 ,并用Prolith仿真软件进行了模拟分析。研究表明 ,离轴照明是一种很有效的光刻分辨率增强技术。
关键词 光学光刻 离轴照明 分辨率 焦深 profith仿真
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