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题名数字化玻璃表面检测系统的研究
被引量：8
- 1
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作者
莫卫东
冯金高
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机构
空军工程大学
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期618-623,共6页
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基金
国家 8 63计划资助!项目 ("激光陀螺研制")
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文摘
本研究把传统光学方法与现代数字化图象技术相结合 ,运用先进的数字化图象处理手段和 Zernike多项式拟合干涉波面方法进行干涉图象的计算 ,并在理论上有较大的突破 ,从而可快速准确测量出光学平面玻璃表面的平整度以及对其它技术指标的定量评定 .本研究所架构的光学平面玻璃表面检测系统的精度达到了λ/ 1 0 0 ,灵敏度为λ/ 1 0 0 0 .
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关键词
干涉仪
数字图像处理
Zernike多项式拟合
平面玻璃表面
激光陀螺
数字化玻璃表面检测系统
平整度
环型激光器
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Keywords
Interferometer
processing quantizing image
Zernike polynomials
Plane glass surface
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
TN911.73
[机械工程—仪器科学与技术]
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题名数字化技术在玻璃表面检测系统中的应用
被引量：4
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作者
莫卫东
高伯龙
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机构
空军工程大学工程学院
国防科技大学应用物理系
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出处
《空军工程大学学报（自然科学版）》
CSCD
2000年第5期1-4,共4页
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基金
国家"863"激光陀螺研制项目
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文摘
通过把传统光学方法与现代数字化图像技术相结合 ,运用先进的数字化图像处理手段和Zernike多项式拟合干涉波面方法进行干涉图像的计算 ,并应用自己在理论研究上的突破 ,从而可快速准确测量出光学平面玻璃表面的平整度以及对其它技术指标的定量评定。利用本研究所架构的光学平面玻璃表面检测系统的精度达到了 λ/1 0 0 ,灵敏度为 λ/1 0 0
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关键词
干涉仪
数字图像处理
Zernike多项式拟合
平面玻璃表面
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Keywords
interferometer
processing quantizing image
Zernike polynomials,plane glass surface
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
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