期刊文献+
共找到34篇文章
< 1 2 >
每页显示 20 50 100
离子氮碳共渗+离子后氧化双重复合处理的研究 被引量:11
1
作者 赵程 孙定国 +1 位作者 赵慧丽 侯俊英 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2004年第9期32-34,共3页
用自制的保温式多功能离子热处理炉对 4 5钢进行了离子氮碳共渗 +离子后氧化双重复合处理 (Ion(NC +O)复合处理 )。测试结果显示 ,Ion(NC +O)复合渗层是由黑色致密的Fe3O4 膜 ,厚的ε Fe2 3N白亮化合物层和α(N) +γ′扩散层等三部分... 用自制的保温式多功能离子热处理炉对 4 5钢进行了离子氮碳共渗 +离子后氧化双重复合处理 (Ion(NC +O)复合处理 )。测试结果显示 ,Ion(NC +O)复合渗层是由黑色致密的Fe3O4 膜 ,厚的ε Fe2 3N白亮化合物层和α(N) +γ′扩散层等三部分组成。经Ion(NC +O)双重复合处理后的 4 5钢表面硬度和耐蚀性能都有显著提高 。 展开更多
关键词 离子氮碳共渗 离子氧化 双重复合处理
下载PDF
等离子喷涂陶瓷涂层后氧化处理的研究 被引量:6
2
作者 田娜 井晓天 +1 位作者 卢正欣 葛利玲 《金属热处理》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期32-33,43,共3页
对比研究了后氧化处理、封孔和退火、真空退火对大气等离子喷涂 (Al/Ni+Cr2 O3 )陶瓷涂层硬度、结合强度等性能的影响。结果表明 ,合理的后氧化能够明显改善涂层性能 ,且氧的扩散是发挥作用的重要因素之一。
关键词 等离子喷涂陶瓷涂层 后氧化 性能 组织
下载PDF
离子氮碳共渗后的氧化处理对40Cr钢耐蚀性能的影响 被引量:6
3
作者 赵程 刘基凯 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2009年第1期75-77,共3页
为了进一步提高离子氮碳共渗后40Cr钢的耐蚀性能,对离子氮碳共渗后的试样进行了后氧化处理。氧化处理分别采用不同氧化气氛的炉内氧化处理和盐浴氧化、高温发黑、水蒸汽氧化等。试样的耐蚀性能分别采用极化曲线和盐雾腐蚀试验法测定。... 为了进一步提高离子氮碳共渗后40Cr钢的耐蚀性能,对离子氮碳共渗后的试样进行了后氧化处理。氧化处理分别采用不同氧化气氛的炉内氧化处理和盐浴氧化、高温发黑、水蒸汽氧化等。试样的耐蚀性能分别采用极化曲线和盐雾腐蚀试验法测定。试验结果表明,用w(H2)∶w(O2)=4∶1的混合气体进行炉内氧化处理的试样耐蚀性能最好。 展开更多
关键词 离子氮碳共渗 后氧化处理 40CR钢 耐蚀性
原文传递
Study of nanocrystalline VO_2 thin films prepared by magnetron sputtering and post-oxidation 被引量:3
4
作者 罗振飞 吴志明 +2 位作者 许向东 王涛 蒋亚东 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第10期364-369,共6页
Nanocrystalline VO2 thin films were deposited onto glass slides by direct current magnetron sputtering and postoxidation. These films undergo semiconductor-metal transition at 70 ℃, accompanied by a resistance drop o... Nanocrystalline VO2 thin films were deposited onto glass slides by direct current magnetron sputtering and postoxidation. These films undergo semiconductor-metal transition at 70 ℃, accompanied by a resistance drop of two magnitude orders. The crystal structures and surface morphologies of the VO2 films were characterized by x-ray diffraction (XRD) and atomic force microscope (AFM), respectively. Results reveal that the average grain size of VO2 nanograins measured by XRD is smaller than those measured by AFM. In addition, Raman characterization indicates that stoichiometric VO2 and oxygen-rich VO2 phases coexist in the films, which is supported by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) results. Finally, the optical properties of the VO2 films in UV-visible range were also evaluated. The optical band gap corresponding to 2p-3d inter-band transition was deduced according to the transmission and reflection spectra. And the deduced value, Eopt2p-3d : 1.81 eV, is in good agreement with that previously obtained by theoretical calculation. 展开更多
关键词 nanocrystal vanadium dioxide magnetron sputtering post-oxidation
下载PDF
Surface oxidation of carbon dots enables highly selective and sensitive chemiluminescence detection of hydroxyl radical
5
作者 Chan Wang Yuan Fang +3 位作者 Dongrun Zhou Chenxi Wu Han Zhu Qijun Song 《Nano Research》 SCIE EI CSCD 2024年第11期9275-9283,共9页
The rapid quantification of hydroxyl radical (·OH) in real samples is a great challenge due to its highly reactive nature and the potential interferences from other coexisting reactive oxygen species (ROS). Herei... The rapid quantification of hydroxyl radical (·OH) in real samples is a great challenge due to its highly reactive nature and the potential interferences from other coexisting reactive oxygen species (ROS). Herein, a chemiluminescence (CL) probe (ox-CDs) was rationally developed for the detection of ·OH through controlled oxidation treatment of original CDs (o-CDs) with H_(2)O_(2). Post-oxidation of CDs can reduce the surface defects or functional groups on the CDs, exposing reactive sites capable of effectively reacting with ·OH. The chemical energy generated from redox reaction between ·OH and the ox-CDs can be efficiently utilized to generate strong and selective CL responses to ·OH without interferences from other ROS. Thus, a highly selective and sensitive CL method with a linear range from 0.01 to 150 μM and a detection limit of 3 nM was developed, which was successfully applied for monitoring the ·OH production from cigarette and mosquito coil smoke. 展开更多
关键词 carbon dots post-oxidation chemiluminescence probe detection of·OH cigarette and mosquito coil smoke
原文传递
20CrMnTi齿轮钢表面渗氮后的氧化处理工艺 被引量:4
6
作者 郑亚旭 王福明 +2 位作者 王延露 张凯 李长荣 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期190-195,共6页
研究了渗氮后的氧化温度对20CrMnTi齿轮钢表面氧化层和磷化层的影响,并利用OM、SEM、EDS、XRD等对渗层附近的显微组织、氧化层和磷化层的形貌、氧化层厚度和物相组成进行了观察分析。结果表明,20CrMnTi钢渗氮后经300℃氧化后,形成的氧... 研究了渗氮后的氧化温度对20CrMnTi齿轮钢表面氧化层和磷化层的影响,并利用OM、SEM、EDS、XRD等对渗层附近的显微组织、氧化层和磷化层的形貌、氧化层厚度和物相组成进行了观察分析。结果表明,20CrMnTi钢渗氮后经300℃氧化后,形成的氧化层很薄且不连续;而经350℃氧化后形成的氧化层较厚且含Fe3O4较多,磷化后表面粗糙度较大。 展开更多
关键词 20CrMnTi齿轮钢 渗氮 后氧化 磷化 表面处理
原文传递
42CrMo钢离子渗氮+后氧化复合处理研究 被引量:3
7
作者 武计强 李景才 +1 位作者 魏伟 胡静 《热处理技术与装备》 2014年第5期12-15,共4页
在脉冲等离子渗氮炉中42CrMo钢进行离子渗氮和后氧化复合处理,离子氧化介质为普通空气。采用金相显微镜、X射线衍射仪、电化学性能分析测试仪对复合渗层的显微组织、物相及耐腐蚀性进行了测试和分析。研究结果表明,复合渗层硬度较单一... 在脉冲等离子渗氮炉中42CrMo钢进行离子渗氮和后氧化复合处理,离子氧化介质为普通空气。采用金相显微镜、X射线衍射仪、电化学性能分析测试仪对复合渗层的显微组织、物相及耐腐蚀性进行了测试和分析。研究结果表明,复合渗层硬度较单一离子渗氮得到的有不同程度的提高,最大硬度达到760 HV0.05;42CrMo钢离子渗氮后进行氧化处理可在氮化层上形成一层1~2μm厚的氧化层,该氧化层由Fe2O3和Fe3O4组成;后氧化显著提高42CrMo钢的耐蚀性,其中400℃×60 min后氧化获得最佳耐蚀性。 展开更多
关键词 42CRMO钢 离子后氧化 显微硬度 耐蚀性
下载PDF
离子软氮化与离子氧化复合处理 被引量:2
8
作者 赵程 孙定国 +1 位作者 赵慧丽 侯俊英 《青岛科技大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第6期503-506,共4页
用自行研制的保温式多功能离子热处理炉对 45中碳结构钢进行了离子软氮化与离子氧化复合处理 (Ion(NC +O)复合处理 )。Ion(NC +O)复合渗层是由黑色致密的Fe3O4膜、ε白亮化合物层和γ′扩散层等三部分组成。实验结果显示 ,经Ion(NC +O)... 用自行研制的保温式多功能离子热处理炉对 45中碳结构钢进行了离子软氮化与离子氧化复合处理 (Ion(NC +O)复合处理 )。Ion(NC +O)复合渗层是由黑色致密的Fe3O4膜、ε白亮化合物层和γ′扩散层等三部分组成。实验结果显示 ,经Ion(NC +O)双重复合处理后 ,45钢的表面硬度和耐蚀性能都有大幅度的提高。与化学法的QPQ技术相比 ,Ion(NC +O)复合处理技术是一种环境友好的处理技术。 展开更多
关键词 离子软氮化 离子氧化 复合处理
下载PDF
Effect of post oxidation annealing in nitric oxide on interface properties of 4H-SiC/SiO_2 after high temperature oxidation 被引量:1
9
作者 李妍月 邓小川 +4 位作者 刘云峰 赵艳黎 李诚瞻 陈茜茜 张波 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2015年第9期58-61,共4页
The interface properties of 4H-SiC metal oxide semiconductor (MOS) capacitors with post-oxidation annealing (POA) in nitric oxide (NO) ambient after high temperature (1300 ℃) oxidation have been investigated ... The interface properties of 4H-SiC metal oxide semiconductor (MOS) capacitors with post-oxidation annealing (POA) in nitric oxide (NO) ambient after high temperature (1300 ℃) oxidation have been investigated using capacitance-voltage (C V) measurements. The experimental results show that the interface states density (Dit) can be obviously decreased by the POA in NO ambient (NO-POA) and further reduced with increasing POA temperature and time. In the meantime significant reduction of the interface states density and oxidation time can be achieved at the higher thermal oxidation temperature, which results in the better oxide MOS characteristics and lower production costs. The dependence of Dit on POA temperature and time has been also discussed in detail. 展开更多
关键词 C-V characteristics 4H-SiC MOS post-oxidation annealing SiC/SiO2
原文传递
丁香酚基双酚及聚硫醚碳酸酯的制备及性质研究 被引量:2
10
作者 黄彩娟 黄梦倩 +2 位作者 陈沁 罗筑 谢海波 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2022年第9期1095-1103,共9页
以丁香酚和不同碳链长度的二硫醇为原料,通过紫外光引发的硫醇-烯点击反应,合成了丁香酚基含硫醚结构的双酚单体;之后与三光气反应制备了丁香酚基聚硫醚碳酸酯,并通过硫醚的氧化实现后氧化改性获得聚砜碳酸酯.采用核磁氢谱、核磁碳谱、... 以丁香酚和不同碳链长度的二硫醇为原料,通过紫外光引发的硫醇-烯点击反应,合成了丁香酚基含硫醚结构的双酚单体;之后与三光气反应制备了丁香酚基聚硫醚碳酸酯,并通过硫醚的氧化实现后氧化改性获得聚砜碳酸酯.采用核磁氢谱、核磁碳谱、红外研究丁香酚基双酚单体及其聚碳酸酯的结构,采用凝胶渗透色谱测定其分子量及分布,通过热重分析仪及示差扫描量热仪对丁香酚基聚碳酸酯的热性能进行研究,结果表明丁香酚基聚碳酸酯分子量在3.27×10^(4)~6.05×10^(4)g/mol之间,热失重5%的温度大于340℃,玻璃化转变温度在12.2~24.4℃之间,表现出良好的热稳定性,后氧化改性后热稳定性和玻璃化转变温度有所下降. 展开更多
关键词 丁香酚 聚碳酸酯 硫醇-烯点击反应 后氧化改性
原文传递
Angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy study of GeO_x growth by plasma post-oxidation
11
作者 赵治乾 张静 +3 位作者 王晓磊 魏淑华 赵超 王文武 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第10期453-458,共6页
The growth process of GeOx films formed by plasma post-oxidation (PPO) at room temperature (RT) is investigated using angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy (AR-XPS). The experimental results show that ... The growth process of GeOx films formed by plasma post-oxidation (PPO) at room temperature (RT) is investigated using angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy (AR-XPS). The experimental results show that the distributions of the Ge4+ states, a mixture of the Ge^2+ and Ge^3+ states, and the Ge^1+ states are localized from the GeOx surface to the GeOx/Ge interface. Moreover, the Ge^1+ states are predominant when the two outermost layers of Ge atoms are oxidized. These findings are helpful for establishing in-depth knowledge of the growth mechanism of the GeOx layer and valuable for the optimization of Ge-based gate stacks for future complementary metal-oxide-semiconductor (MOS) field-effect transistor (CMOSFET) devices. 展开更多
关键词 Ge plasma post-oxidation MOS XPS
下载PDF
大型轧机拉杆离子氮碳共渗+后氧化复合工艺
12
作者 房颖 李博 李双喜 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2023年第5期241-245,共5页
针对东南亚沿海地区使用的大型轧钢机拉杆(材料为42CrMo钢)易发生腐蚀磨损的问题,采用单热源脉冲离子渗氮炉对拉杆进行氮碳共渗+后氧化复合处理。通过对模拟试样的预氧化工艺、氮碳共渗工艺及后氧化工艺的研究,得到了满足产品要求的复... 针对东南亚沿海地区使用的大型轧钢机拉杆(材料为42CrMo钢)易发生腐蚀磨损的问题,采用单热源脉冲离子渗氮炉对拉杆进行氮碳共渗+后氧化复合处理。通过对模拟试样的预氧化工艺、氮碳共渗工艺及后氧化工艺的研究,得到了满足产品要求的复合处理工艺:350℃×2 h预氧化;550℃×24 h氮碳共渗(炉压为260 Pa,NH_(3)∶CO_(2)=20∶1)和520℃×2 h氮氧共渗(炉压为300 Pa,NH_(3)∶O_(2)=6∶1),共渗完毕,关闭电源,同时以0.5 L/min向炉内通入空气,直至炉温降到300℃,打开炉盖,待试样冷至150℃左右,迅速在试样表面均匀涂上防锈油。在此复合工艺下,渗层深度达到0.39~0.41 mm,化合物层达到10~12μm,与同工艺无预氧化试样渗层及化合物层厚度相比均增加;经盐雾试验检测,试样在70 h后出现腐蚀斑,和只经氮碳共渗处理无后氧化处理相比,耐蚀性提高。 展开更多
关键词 大型轧机 拉杆 42CRMO钢 离子氮碳共渗 后氧化 耐蚀性
原文传递
40Cr钢等离子软氮化的后氧化处理研究
13
作者 赵程 宫明 刘基凯 《真空》 CAS 北大核心 2008年第6期74-77,共4页
为了进一步提高等离子软氮化后40Cr钢的耐蚀性能,对等离子软氮化的试样进行了后氧化处理。氧化处理是在保温式等离子热处理炉内不同比例的H2和O2气氛中进行,通过X射线衍射仪和恒电位仪对复合渗层的组织结构及其耐蚀性能进行了分析比较... 为了进一步提高等离子软氮化后40Cr钢的耐蚀性能,对等离子软氮化的试样进行了后氧化处理。氧化处理是在保温式等离子热处理炉内不同比例的H2和O2气氛中进行,通过X射线衍射仪和恒电位仪对复合渗层的组织结构及其耐蚀性能进行了分析比较。结果表明,在H2∶O2=1∶1的混合气体中进行氧化处理的试样可以获得单一相的Fe3O4氧化膜,试样的耐蚀性能最好。 展开更多
关键词 等离子软氮化 后氧化处理 复合渗层 结构分析 耐蚀性能
下载PDF
气体氮碳共渗及后氧化复合处理研究
14
作者 唐光辉 肖江华 潘行杰 《河南科技》 2021年第19期111-114,共4页
本研究采用气体氮碳共渗及后氧化复合表面处理技术对45#钢和40Cr钢表面进行改性,并对处理后工件的硬度、金相组织、尺寸变形量、表面粗糙度、耐蚀性进行研究。结果表明:经复合处理后45#钢和40Cr钢表面硬度明显提高,分别为HV_(0.1)580和H... 本研究采用气体氮碳共渗及后氧化复合表面处理技术对45#钢和40Cr钢表面进行改性,并对处理后工件的硬度、金相组织、尺寸变形量、表面粗糙度、耐蚀性进行研究。结果表明:经复合处理后45#钢和40Cr钢表面硬度明显提高,分别为HV_(0.1)580和HV_(0.1)637;两种材料渗层金相组织均由白亮层及氧化层组成,45#钢和40Cr钢白亮层厚度分别为22.4μm和19.6μm,氧化层厚度均为1.7μm;复合处理后两种材料直线度没有较大变化,外径均略有增大,45#钢外径增大0.0063 mm,40Cr钢增大0.0027 mm;粗糙度基本保持不变;盐雾试验结果显示,复合处理的45#钢和40Cr钢经400 h中性盐雾试验无锈点,具有良好的耐蚀性。 展开更多
关键词 气体氮碳共渗 后氧化 复合处理 耐蚀性
下载PDF
结构钢等离子氮碳共渗与氧化复合处理概述和应用 被引量:6
15
作者 杨汉高 侯惠君 +1 位作者 刘仲武 韦春贝 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2013年第6期135-139,共5页
主要阐述了结构钢经过等离子氮碳共渗后表面生成高硬度的化合物层(主要相成分是Fe2~3N和Fe3C),提高了结构钢的抗磨损性能;等离子氮碳共渗完后紧接着进行等离子氧化处理,在氮碳化合物层的表面生成一层致密的氧化膜(主要是Fe3O4相),显著... 主要阐述了结构钢经过等离子氮碳共渗后表面生成高硬度的化合物层(主要相成分是Fe2~3N和Fe3C),提高了结构钢的抗磨损性能;等离子氮碳共渗完后紧接着进行等离子氧化处理,在氮碳化合物层的表面生成一层致密的氧化膜(主要是Fe3O4相),显著提高了其抗腐蚀性能。同时也概述了等离子氮碳共渗与氧化复合处理的原理和相比于以往氮化处理的优点,介绍了复合处理现在在工业中的应用,最后指出该复合处理目前存在的问题,并对未来的发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 等离子氮碳共渗 等离子氧化 抗腐蚀 抗磨损
下载PDF
不同栅氧退火工艺下的SiC MOS电容及其界面电学特性
16
作者 付兴中 刘俊哲 +4 位作者 薛建红 尉升升 谭永亮 王德君 张力江 《半导体技术》 CAS 北大核心 2025年第1期32-38,共7页
SiC MOS电容的电学特性和栅氧界面特性是评价和改进SiC MOS器件制造工艺的重要依据。通过依次测试SiC MOS器件的氧化物绝缘特性、界面态密度、偏压温度应力不稳定性(偏压温度应力条件下的平带电压漂移)、氧化物陷阱电荷密度和可动电荷... SiC MOS电容的电学特性和栅氧界面特性是评价和改进SiC MOS器件制造工艺的重要依据。通过依次测试SiC MOS器件的氧化物绝缘特性、界面态密度、偏压温度应力不稳定性(偏压温度应力条件下的平带电压漂移)、氧化物陷阱电荷密度和可动电荷密度的方法,对分别经过氮等离子体氧化后退火(POA)处理、氮氢混合等离子体POA处理、氮氢氧混合等离子体POA处理、氮氢氯混合等离子体POA处理的SiC MOS电容的电学特性和栅氧界面特性进行了分析。结果表明,该方法可以系统地评价SiC MOS电容电学特性和栅氧界面特性,经过氮氢氯混合等离子体POA处理的SiC MOS电容可以满足高温、大场强下长期运行的性能指标。 展开更多
关键词 SiC MOS电容 氧化后退火(POA) 平带电压漂移 氧化物陷阱电荷 可动电荷
离子后氧化对渗氮层结构与性能的调控
17
作者 倪嘉 麻恒 +3 位作者 于民华 胡静 安旭龙 魏坤霞 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期170-175,共6页
目的调控离子渗氮层的结构和性能,获得少无化合物层且满足需求厚度的有效硬化层,同时具有良好的韧性和耐蚀性的离子渗层。方法将42CrMo4钢在温度500℃下离子渗氮5 h后,再进行不同工艺条件下的后氧化处理。通过调整后氧化的实验参数,探... 目的调控离子渗氮层的结构和性能,获得少无化合物层且满足需求厚度的有效硬化层,同时具有良好的韧性和耐蚀性的离子渗层。方法将42CrMo4钢在温度500℃下离子渗氮5 h后,再进行不同工艺条件下的后氧化处理。通过调整后氧化的实验参数,探索它们对渗氮层结构和性能的影响规律。使用金相显微镜、XRD衍射仪、维氏显微硬度计及电化学工作站分析截面渗层结构、物相、硬度、韧性和耐蚀性。结果在相同的离子渗氮条件(500℃,5 h)下,随着后氧化的温度和时间的改变,离子渗氮形成的化合物层逐渐分解,化合层的厚度逐渐减小,可由9.41μm减薄至3.62μm;经离子渗氮+后氧化处理后,形成的有效硬化层的厚度和表面硬度相较于常规离子渗氮有所提高,其中有效硬化层的厚度由300μm增至378μm,截面最高硬度由765HV0.05增至825HV0.05;渗层表面形成由Fe_(3)O_(4)、Fe_(2)O_(3)组成的氧化膜,提高了其耐蚀性,自腐蚀电位由-658.72 mV提升至-429.23 mV。结论42CrMo4钢经过离子渗氮及后氧化处理后,化合物层显著减薄,有效硬化层显著增厚,且截面硬度、韧性和耐蚀性等指标均得到改善,在后氧化工艺参数为400℃、2 h时获得了最优的综合性能,包括硬度、韧性、耐蚀性。 展开更多
关键词 42CrMo4钢 离子渗氮 离子后氧化 硬度 韧性 耐蚀性
下载PDF
离子后氧化对42CrMo钢渗氮组织与耐蚀性的影响及机理分析 被引量:4
18
作者 武计强 李景才 +1 位作者 魏伟 胡静 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期575-579,共5页
采用普通空气对42CrMo钢离子渗氮样进行了离子后氧化处理。采用金相、扫描电镜、X射线衍射仪、电化学性能分析测试仪对复合渗层的显微组织、渗层厚度、物相、耐蚀性及电化学试验后试样表面进行了测试和分析。研究结果表明,对42CrMo钢离... 采用普通空气对42CrMo钢离子渗氮样进行了离子后氧化处理。采用金相、扫描电镜、X射线衍射仪、电化学性能分析测试仪对复合渗层的显微组织、渗层厚度、物相、耐蚀性及电化学试验后试样表面进行了测试和分析。研究结果表明,对42CrMo钢离子渗氮样进行空气后氧化处理可在氮化层表面形成一层1~2μm厚、由Fe3O4和Fe2O3组成的氧化层,且两种氧化物比值由后氧化工艺参数决定,400℃、60min后氧化时生成的氧化层Fe3O4含量最大,电化学实验后的试样表面没有出现点蚀现象,由此获得最佳耐蚀性。高含量Fe3O4基于该条件下生成Fe3O4的化学反应的吉布斯自由能较小。结果还发现随后氧化时间延长或温度升高,离子氮化层厚度逐渐减薄。 展开更多
关键词 42CRMO钢 离子后氧化 吉布斯自由能 耐蚀性
下载PDF
一种SiC MOSFET栅氧界面缺陷的POA优化工艺
19
作者 付兴中 刘俊哲 +4 位作者 薛建红 尹志鹏 谭永亮 王德君 张力江 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第12期1144-1152,共9页
栅氧界面缺陷严重影响SiC MOSFET性能。开发了一种NO氧化后退火(POA)优化工艺,采用氮、氢、氧、氯四种元素组合钝化工艺,实现对SiC MOSFET栅氧界面缺陷的抑制。通过X射线光电子能谱(XPS)、二次离子质谱(SIMS)和电学测试,对工艺优化前后... 栅氧界面缺陷严重影响SiC MOSFET性能。开发了一种NO氧化后退火(POA)优化工艺,采用氮、氢、氧、氯四种元素组合钝化工艺,实现对SiC MOSFET栅氧界面缺陷的抑制。通过X射线光电子能谱(XPS)、二次离子质谱(SIMS)和电学测试,对工艺优化前后的SiC MOSFET栅氧界面缺陷类型及器件电学特性进行了分析。测试结果表明,采用传统NO POA工艺的SiC MOSFET退火后在栅氧化层和栅氧界面中存在大量缺陷,尤其是C相关缺陷,影响器件栅氧的绝缘特性。POA优化工艺对SiC MOSFET栅氧界面缺陷具有明显的抑制作用,可极大地提高N元素对栅氧界面缺陷的钝化效果,并且抑制了O空位的形成,进而提升了器件的可靠性和迁移率,降低了界面态密度,对器件性能起到了较好的优化效果。 展开更多
关键词 SiC MOSFET X射线光电子能谱(XPS) 二次离子质谱(SIMS) 界面缺陷 氧化后退火(POA)
下载PDF
42CrMo钢的空气离子后氧化 被引量:3
20
作者 武计强 李虎 +1 位作者 李景才 胡静 《材料热处理学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期78-82,共5页
采用普通空气对离子渗氮的42CrMo钢进行离子后氧化处理。利用光学显微镜、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪、电化学性能分析测试仪对复合渗层的显微组织、厚度、物相、表面形貌及耐蚀性进行了测试和分析。研究结果表明,普通空气可用作42CrM... 采用普通空气对离子渗氮的42CrMo钢进行离子后氧化处理。利用光学显微镜、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪、电化学性能分析测试仪对复合渗层的显微组织、厚度、物相、表面形貌及耐蚀性进行了测试和分析。研究结果表明,普通空气可用作42CrMo钢离子后氧化处理的气源;通过离子后氧化处理,在经离子渗氮的42CrMo钢氮化层上形成一层厚度为1~2μm、由Fe2O3和Fe3O4组成的氧化层;随氧化时间延长或温度增高,氮化层化合物相分解,化合物层厚度逐渐减小,后氧化时间和温度对氧化层的Fe2O3和Fe3O4比例起决定作用。同时,离子后氧化能显著改善渗氮42CrMo钢的耐蚀性,其中工艺参数为400℃、氧化60 min获得最佳耐蚀性。 展开更多
关键词 42CRMO钢 离子后氧化 显微组织 耐蚀性
原文传递
上一页 1 2 下一页 到第
使用帮助 返回顶部