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位置敏感器件(PSD)的杂光干扰研究 被引量:38
1
作者 王广志 丁海曙 丁辉 《清华大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期61-64,共4页
光电位置敏感器件(PSD)是一种可直接对其光敏面上的光斑位置进行检测的光电器件,基于PSD可构成多种非接触的高精度动态位移监测仪器。在PSD器件使用中的一个关键问题是如何克服各种杂光干扰,以提高检测的精度和可靠性。根... 光电位置敏感器件(PSD)是一种可直接对其光敏面上的光斑位置进行检测的光电器件,基于PSD可构成多种非接触的高精度动态位移监测仪器。在PSD器件使用中的一个关键问题是如何克服各种杂光干扰,以提高检测的精度和可靠性。根据PSD的原理及其特征方程,分析了杂光在PSD上的两类作用模式,并根据PSD特征方程推导了存在杂光干扰时PSD输出信号与杂光的关系,及杂光导致的位置误差方程。根据上述推导,文章给出了3种克服杂光干扰的实用方法。 展开更多
关键词 光电器件 位置检测 杂光干扰 位置敏感器件
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遗传算法和神经网络结合的PSD非线性校正 被引量:44
2
作者 刘春 马颖 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2015年第8期1157-1163,共7页
针对光电位置传感器(PSD)检测系统在大坝变形观测中所呈现的非线性问题,建立改进的遗传算法和LM-BP神经网络结合的模型,对PSD的非线性进行补偿?该方法先用遗传算法对LM-BP网络的权阈值进行优化后再用LM-BP网络逼近任意非线性函数的特点... 针对光电位置传感器(PSD)检测系统在大坝变形观测中所呈现的非线性问题,建立改进的遗传算法和LM-BP神经网络结合的模型,对PSD的非线性进行补偿?该方法先用遗传算法对LM-BP网络的权阈值进行优化后再用LM-BP网络逼近任意非线性函数的特点对实际位置数据与理想值进行拟合后并进行测试,经过多次任意产生的种群优化后选择较为优秀个体作为神经网络的和阈值,并对任意位置进行校正,仿真结果表明,该方法克服了LM-BP网络对初始权阈值的依赖和泛化能力弱的特点,多次实验平均误差都小于1%,其泛化能力优于标准的遗传算法和神经网络结合的模型。 展开更多
关键词 光电位置传感器 非线性 遗传算法 神经网络
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位置敏感探测器(PSD)的研究进展 被引量:19
3
作者 陈冬严 林斌 陈钰清 《光学仪器》 2004年第4期68-71,共4页
回顾了位置敏感传感器(PSD)的发展历史,介绍了各种光敏面结构的PSD。并结合研究成果,阐述了单晶硅、氢化非晶硅、有机材料、大面积挠性薄膜、CMOS型,一维及二维阵列PSD等采用各种组成材料和工艺制作的PSD的发展现状,并对今后的发展和研... 回顾了位置敏感传感器(PSD)的发展历史,介绍了各种光敏面结构的PSD。并结合研究成果,阐述了单晶硅、氢化非晶硅、有机材料、大面积挠性薄膜、CMOS型,一维及二维阵列PSD等采用各种组成材料和工艺制作的PSD的发展现状,并对今后的发展和研究方向进行了展望。 展开更多
关键词 位置敏感探测器(psd) 氢化非晶硅 阵列 综述
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PSD在激光位移检测系统中的应用研究 被引量:25
4
作者 段洁 孙向阳 +2 位作者 蔡敬海 周娜 肖作江 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第z1期549-552,共4页
PSD(Position Sensitive Detector)是一种新型位置敏感探测器件,具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应范围大等优点。首先介绍了PSD器件的工作机理,阐述了基于光三角原理的激光位移检测系统的工作原理,给出PSD应用于激光位移检测系... PSD(Position Sensitive Detector)是一种新型位置敏感探测器件,具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应范围大等优点。首先介绍了PSD器件的工作机理,阐述了基于光三角原理的激光位移检测系统的工作原理,给出PSD应用于激光位移检测系统的总体结构框图,并且针对PSD的电流信号与被测位移量之间的非线性关系,提出了有效的非线性修正电路。最后通过对影响系统测量精度的因素进行详细分析,从中看出PSD可应用于高精度的激光位移检测系统中,并且具有高速度、高精度、非接触和在线检测等优点。 展开更多
关键词 光学三角原理 psd 非接触测量
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二维位置敏感探测器及信号处理器 被引量:14
5
作者 施隆照 黄梅珍 +1 位作者 杨小玲 郑明学 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第8期20-22,共3页
介绍一种基于单片机的数字式二维PSD信号处理器的设计、性能和测试结果。与模拟式二维PSD信号处理器相比 ,该处理器具有通用、直观、准确度高、易于实现接口和控制等特点。此外 ,该处理器还根据四边形结构PSD的非线性特征增加了非线性... 介绍一种基于单片机的数字式二维PSD信号处理器的设计、性能和测试结果。与模拟式二维PSD信号处理器相比 ,该处理器具有通用、直观、准确度高、易于实现接口和控制等特点。此外 ,该处理器还根据四边形结构PSD的非线性特征增加了非线性修正功能 ,使四边形结构PSD也具有相当高的线性度和位置测量准确度。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 psd 信号处理 单片机 二维 模拟式
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基于PSD的微位移传感器 被引量:14
6
作者 梁凤超 续志军 +1 位作者 胡君 邹振书 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2007年第3期59-61,共3页
微弱电流的放大与处理是基于位置敏感探测器(PSD)的微位移传感器的关键技术。分析了电流—电压转换原理,指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压。应用屏蔽、Guard、避免自激等技术设计了前放电路,实现了微弱电流信号的提取。传感器... 微弱电流的放大与处理是基于位置敏感探测器(PSD)的微位移传感器的关键技术。分析了电流—电压转换原理,指出转换误差主要来源于偏置电流及失调电压。应用屏蔽、Guard、避免自激等技术设计了前放电路,实现了微弱电流信号的提取。传感器工作距离为10 mm,测量范围为±0.5 mm,采用精度为±0.5μm的装置驱动钢板进行微位移测量,实验数据表明:传感器分辨力为±0.5μm,检测精度为±2%。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 激光三角法 运算放大器 微弱信号
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一种投影式激光方向测量方法 被引量:17
7
作者 刘智超 张记龙 +3 位作者 阎鹤 王志斌 李晓 田二明 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1518-1522,共5页
为了在激光告警中实现全方位角度探测,且达到一定的探测精度,提出了一种投影式激光方向测量方法。通过计算激光照射在参量给定的遮光板上形成的投影量,求解在探测器上由不同探测象限产生的不同的探测电流的比值,再根据投影面积的比值与... 为了在激光告警中实现全方位角度探测,且达到一定的探测精度,提出了一种投影式激光方向测量方法。通过计算激光照射在参量给定的遮光板上形成的投影量,求解在探测器上由不同探测象限产生的不同的探测电流的比值,再根据投影面积的比值与角度一一对应的关系可事先编码的原理,由对应程序判断激光入射方向。在软件Matlab仿真中计算得到产生最小分辨率的四个极限角度分别为(0°,90°)、(33°,21°)(、33°,69°)、(45°,90°),并由实验得到最小分辨电压为0.05 V。通过仿真计算与实验数据证明该设计可达到最小识别角度1°的探测要求。 展开更多
关键词 激光告警 激光方向测量 位置敏感探测器(psd) 角度识别
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基于PSD的高精度激光位移传感器设计与分析 被引量:12
8
作者 蔡明知 宋洪侠 +1 位作者 曹铁泽 王晓东 《机电产品开发与创新》 2007年第5期150-152,共3页
介绍了PSD器件的工作原理,对基于三角法测量原理的传感器主要结构参数进行了分析,给出了设计的传感器外形。并设计一种含有多种放大倍数的PSD检测电路,可实现测量中对环境变化的自适应能力。最后分析了影响传感器测量精度的各种因素,并... 介绍了PSD器件的工作原理,对基于三角法测量原理的传感器主要结构参数进行了分析,给出了设计的传感器外形。并设计一种含有多种放大倍数的PSD检测电路,可实现测量中对环境变化的自适应能力。最后分析了影响传感器测量精度的各种因素,并讨论了消除的方法。 展开更多
关键词 高精度位移传感器 位置敏感器件(psd) 激光三角法 放大电路
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基于PSD的非均匀激光光斑中心定位研究 被引量:14
9
作者 张鹏程 刘瑾 +3 位作者 杨海马 余洛 任文佳 梁坤 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2020年第8期941-947,共7页
激光光斑中心定位是光学检测中的关键技术,大量应用在光学通信ATP系统、光路自准直控制系统、光学非接触位移角度测量系统中。针对传统电荷耦合器件(CCD)检测方法无法精准定位非均匀、非理想圆激光光斑的问题,提出一种基于位置敏感探测... 激光光斑中心定位是光学检测中的关键技术,大量应用在光学通信ATP系统、光路自准直控制系统、光学非接触位移角度测量系统中。针对传统电荷耦合器件(CCD)检测方法无法精准定位非均匀、非理想圆激光光斑的问题,提出一种基于位置敏感探测器(PSD)的旋转激光光斑中心检测的新方法。该方法依据PSD能够连续检测光敏面上光斑重心位置的工作原理,设计了一种定轴心旋转且角度可控的激光实验装置,通过对该装置投射到光敏面上的光斑重心的轨迹探测,经Kasa算法处理后得到光斑的中心位置,相较于CCD无需进行图像处理。实验中搭建了PSD光斑中心检测系统,并对旋转的激光光斑模式进行了分析。结果表明,激光光斑中心定位模型的线性度为-1.036、位置分辨率为0.1μm,精确定位了光斑中心的移动轨迹。该方法为非均匀光斑的实时高精度定位提供了一种新思路。 展开更多
关键词 位置敏感探测器(psd) 非均匀光斑中心 Kasa方法 光斑模式
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基于PSD的激光跟踪坐标测量系统 被引量:14
10
作者 张亚娟 裘祖荣 +1 位作者 李杏华 陈新华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第7期116-119,共4页
建立了基于位置敏感探测器(PSD)的激光跟踪坐标测量系统,分析了单路球坐标激光跟踪测量系统的结构与跟踪系统对PSD信号处理电路的要求,搭建了快速、准确的PSD信号处理电路;找出了PSD上的位置反馈信息与被跟踪目标位移的对应关系。针对... 建立了基于位置敏感探测器(PSD)的激光跟踪坐标测量系统,分析了单路球坐标激光跟踪测量系统的结构与跟踪系统对PSD信号处理电路的要求,搭建了快速、准确的PSD信号处理电路;找出了PSD上的位置反馈信息与被跟踪目标位移的对应关系。针对光路调节方法和光路误差对测量误差的影响,分析了光路对跟踪控制的影响。实验证明:所建立的跟踪控制系统可实现对目标的快速、准确跟踪。对建立单路激光跟踪坐标测量系统并实现快速跟踪功能具有很大的参考价值。 展开更多
关键词 激光跟踪 控制模型 位置敏感探测器 信号处理 光路调节
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PSD空间三维非线性修正技术的研究 被引量:11
11
作者 郭丽峰 张国雄 +2 位作者 郭敬滨 李醒飞 刘文耀 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期566-570,共5页
提出了一种长距离激光准直测量中的位置敏感探测器(PSD)空间三维非线性修正技术,研制了在三维空间内测量二维PSD非线性的自动标定系统。在长达78m的准直测量范围内,对二维PSD的非线性特性进行了标定实验,实验结果表明,PSD与激光源距离... 提出了一种长距离激光准直测量中的位置敏感探测器(PSD)空间三维非线性修正技术,研制了在三维空间内测量二维PSD非线性的自动标定系统。在长达78m的准直测量范围内,对二维PSD的非线性特性进行了标定实验,实验结果表明,PSD与激光源距离不同时,其非线性特性具有很明显不同。利用多层前馈神经网络建立了入射光实际位置与二维PSD输出坐标以及准直距离间的空间三维映射关系,进而对PSD的空间三维非线性进行修正。非线性修正后的PSD读数误差,在整个测量范围内表现为不大于±0.012mm的随机误差。 展开更多
关键词 位置敏感探测器(psd) 非线性 标定 激光准直测量 神经网络
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一种消除PSD背景光干扰的新方法 被引量:6
12
作者 李琳 穆向阳 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2006年第9期15-16,19,共3页
光电位置敏感探测器(PSD)已应用到非接触式高精度动态位移测量中。但在实际应用中经常受到背景光的干扰,直接影响到测量系统的精度和可靠性。根据PSD的工作原理,分析了杂光下的输出信号与杂光的非线性关系。提出采用比例积分微分(PID)... 光电位置敏感探测器(PSD)已应用到非接触式高精度动态位移测量中。但在实际应用中经常受到背景光的干扰,直接影响到测量系统的精度和可靠性。根据PSD的工作原理,分析了杂光下的输出信号与杂光的非线性关系。提出采用比例积分微分(PID)控制激光二极管的驱动电源来消除PSD背景光补偿方法,并设计了硬件补偿电路,实验结果和实际应用均表明:该方法能有效地消除背景光的干扰,可大大增加PSD的实用性。 展开更多
关键词 比例-积分-微分 位置敏感探测器 背景光
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PSD器件自动化标定与非线性修正技术研究 被引量:10
13
作者 李忠科 秦永元 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第4期370-372,416,共4页
介绍了一种应用数控平台对二维位敏探测器 (positionsensitivedetector ,PSD)器件进行在线测量并用人工神经网对其非线性进行修正的方法。对光斑在二维PSD光敏面上的横向位移 ,以光斑的二维坐标集合为人工神经网的期望输出 ,以PSD输出... 介绍了一种应用数控平台对二维位敏探测器 (positionsensitivedetector ,PSD)器件进行在线测量并用人工神经网对其非线性进行修正的方法。对光斑在二维PSD光敏面上的横向位移 ,以光斑的二维坐标集合为人工神经网的期望输出 ,以PSD输出的二维坐标集合为人工神经网的训练样本 ,对人工神经网络进行训练。利用人工神经网络所具有的非线性映射能力 ,在训练结束后即可建立PSD输入与输出的近似线性关系。结果表明 。 展开更多
关键词 二维位敏探测器 人工神经网络 非线性修正 激光
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位置敏感探测器(PSD)的进展 被引量:7
14
作者 曹向群 鲍超 顾瑾 《光学仪器》 1998年第1期36-41,共6页
阐述了PSD的主要特性及其进展,文中的商业产品参数,来自于1997年的日本滨松光子学公司的一维和二维PSD的技术数据。PSD研制品中介绍了非晶硅薄膜PSD、多条形PSD、大面积二维PSD及MOS型一维PSD等的性能和参数。
关键词 位敏探测器 硅探测器 技术数据 psd 光电器件
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基于PSD的长跨度孔系同轴度误差测量系统 被引量:10
15
作者 余厚云 赵转萍 陆永华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第2期70-73,共4页
以激光作为准直基准,研制了基于位置敏感探测器(PSD)的长跨度孔系同轴度误差测量系统。多功能测头在孔系内通过自定心机构确定各被测截面,测头前端的PSD检测激光光斑位置以确定各孔截面中心坐标,并进而评定出孔系同轴度误差。推导出激... 以激光作为准直基准,研制了基于位置敏感探测器(PSD)的长跨度孔系同轴度误差测量系统。多功能测头在孔系内通过自定心机构确定各被测截面,测头前端的PSD检测激光光斑位置以确定各孔截面中心坐标,并进而评定出孔系同轴度误差。推导出激光自准直数学模型,根据该模型由四自由度工作台调整激光器位置,实现了激光自准直。使用本测量系统完成了激光自准直实验和孔系同轴度误差测量实验。实验结果表明:经准直后激光束与工件两端孔中心连线之间的偏差在±0.032 mm以内,与三坐标测量机相比,本系统同轴度误差测量的相对误差为8%,具备了较高的准直精度和同轴度误差测量精度。 展开更多
关键词 长跨度孔系 同轴度误差 位置敏感探测器 激光自准直 激光光斑位置检测
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PSD光学敏感器系统测量目标位置和距离 被引量:8
16
作者 蔡喜平 赵远 +2 位作者 孙东松 乔立杰 戴永江 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期211-214,共4页
在PSD光学敏感器系统用于空间飞行器交会对接中,进行了测量目标相对位置、距离和角度的理论与实验研究,测距精度为0.02m,方位角与俯仰角的测量精度分别为0.176°和0.
关键词 位置敏感探测器 光电测量 对接 空间飞行器
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位置敏感探测器在转角测量中的应用 被引量:5
17
作者 程继伟 巩马理 +3 位作者 贾维溥 刘兴占 闫平 张海涛 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第10期40-42,共3页
简要介绍了位置敏感检测器 (PSD)的基本原理和特点 ,以二维PSD为核心器件 ,设计制作了单镜二维激光扫描器转角测量系统。采用光学滤波和PSD后续信号处理电路相结合的方式 ,有效地消除了杂散光和暗电流的影响。对PSD作了位移标定 ,该系... 简要介绍了位置敏感检测器 (PSD)的基本原理和特点 ,以二维PSD为核心器件 ,设计制作了单镜二维激光扫描器转角测量系统。采用光学滤波和PSD后续信号处理电路相结合的方式 ,有效地消除了杂散光和暗电流的影响。对PSD作了位移标定 ,该系统可实现 30°二维转角测量 ,分辨力为 30″。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 激光扫描器 转角测量 psd 位置传感器
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基于PSD的长管弯曲度测量系统设计 被引量:8
18
作者 王强龙 潘宏侠 +1 位作者 任海峰 郭钢祥 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第1期108-111,共4页
针对高线性度要求的长管的微小变形带来的问题,设计了位置敏感探测器(PSD)测量长管弯曲度的系统,分析了二维PSD在弯曲度测量系统的结构与工作原理,以及弯曲度的计算原理。系统采用单片机STC89C58处理PSD输出信号并显示测量结果,得出PSD... 针对高线性度要求的长管的微小变形带来的问题,设计了位置敏感探测器(PSD)测量长管弯曲度的系统,分析了二维PSD在弯曲度测量系统的结构与工作原理,以及弯曲度的计算原理。系统采用单片机STC89C58处理PSD输出信号并显示测量结果,得出PSD的光点坐标位置与输出电压的对应关系,实现单片机与上位机的通信,对测量数据的分析、处理以及整个系统的控制,同时分析了检测误差和电路误差对弯曲度测量的影响。实验测试结果表明:所建立的测量系统能够实现实时测量和远程控制,具有快速响应、运行稳定、测试数据可靠等优点。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 弯曲度 单片机 实时测量 远程控制
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基于PSD的静电悬浮位置测量与控制系统设计 被引量:8
19
作者 代斌 孙志斌 +1 位作者 王飞龙 翟光杰 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第3期97-99,102,共4页
建立了基于位置敏感探测器(PSD)的静电悬浮三维位置信息测量与控制系统,分析了PSD的结构与静电悬浮位置测量与控制原理。系统采用单片机STC12C5A60S2处理PSD输出信号,得出悬浮样品位置信息与PSD输出电压的对应关系,实现单片机与上位机... 建立了基于位置敏感探测器(PSD)的静电悬浮三维位置信息测量与控制系统,分析了PSD的结构与静电悬浮位置测量与控制原理。系统采用单片机STC12C5A60S2处理PSD输出信号,得出悬浮样品位置信息与PSD输出电压的对应关系,实现单片机与上位机的通信,对测量的位置数据进行分析、处理以及悬浮样品位置控制。利用锆材料进行悬浮实验,实验结果表明:建立的测量系统能实现样品位置信息的非接触测量与稳定悬浮,具有测量数据可靠,运行稳定等优点,为材料悬浮加热和深过冷研究奠定了基础。 展开更多
关键词 位置敏感探测器 静电悬浮 信号处理
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基于位置传感器的微细管道内表面无损检测 被引量:7
20
作者 吴恩启 柯映林 李江雄 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1080-1084,共5页
基于位置传感器(PSD)的特性,提出了一种长距离曲线型微细管道内表面形貌无损检测技术,开发了相应的管道内表面形貌检测器.激光束经过2次反射后,在管道内壁上形成细小的光斑.该光斑被二维PSD接收,产生4路电流信号.根据这些信号和检测器... 基于位置传感器(PSD)的特性,提出了一种长距离曲线型微细管道内表面形貌无损检测技术,开发了相应的管道内表面形貌检测器.激光束经过2次反射后,在管道内壁上形成细小的光斑.该光斑被二维PSD接收,产生4路电流信号.根据这些信号和检测器的结构参数,可以计算出对应光斑在局部三维坐标中的位置.反射镜在微型马达带动下旋转1周,使激光束完成1个管道截面环的扫描,从而得到该截面上所有采样点的相对坐标.最后对测量数据进行分割、拟合等处理,重构出截面环的形状,得到该截面处的管道半径以及缺陷情况.在微型管道机器人的带动下,可以对整条管道进行检测和三维重构.根据该技术开发的检测系统,可以实现内径在9.5~10.5 mm、曲率半径大于100 mm的曲线型长距离微细管道内表面的检测,对管道内壁缺陷的测量精度达到±0.1 mm. 展开更多
关键词 微细管道 内表面检测 位置传感器(psd) 三维重构
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