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微结构表面超精密加工中切削条件的影响分析 被引量:1
1
作者 卢猛 赵清亮 《航空制造技术》 2009年第3期80-84,共5页
介绍了微结构功能表面加工中的问题,以同轴调制锯齿波微结构的金刚石超精密加工为例阐述了其加工原理,结合试验对刀具刀尖圆弧半径、被加工材料和切削液等切削条件与金刚石超精密切削加工后的微结构功能表面之间的关系进行了分析与讨论... 介绍了微结构功能表面加工中的问题,以同轴调制锯齿波微结构的金刚石超精密加工为例阐述了其加工原理,结合试验对刀具刀尖圆弧半径、被加工材料和切削液等切削条件与金刚石超精密切削加工后的微结构功能表面之间的关系进行了分析与讨论,并对主轴转速和刀具进给速度等切削用量与金刚石超精密切削出的微结构功能表面之间的关系进行了分析与讨论。 展开更多
关键词 锯齿波微结构 同轴调制微结构 超精密加工 金刚石尖刀
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Status of research on non-conventional technology assisted single-point diamond turning
2
作者 Zhuang Chen Guangjun Chen +2 位作者 Zhiwei Yu Jiashuai Huang Hong Wei 《Nanotechnology and Precision Engineering》 EI CAS CSCD 2023年第3期79-92,共14页
With the increasing use of difficult-to-machine materials in aerospace applications,machining requirements are becoming ever more rigorous.However,traditional single-point diamond turning(SPDT)can cause surface damage... With the increasing use of difficult-to-machine materials in aerospace applications,machining requirements are becoming ever more rigorous.However,traditional single-point diamond turning(SPDT)can cause surface damage and tool wear.Thus,it is difficult for SPDT to meet the processing requirements,and it has significant limitations.Research indicates that supplementing SPDT with unconventional techniques can,importantly,solve problems due to the high cutting forces and poor surface quality for difficult-to-machine materials.This paper first introduces SPDT and reviews research into unconventional techniques for use with SPDT.The machining mechanism is discussed,and the main advantages and disadvantages of various methods are investigated.Second,hybrid SPDT is briefly described,which encompasses ultrasonic-vibration magnetic-field SPDT,ultrasonic-vibration laser SPDT,and ultrasonic-vibration cold-plasma SPDT.Compared with the traditional SPDT method,hybrid SPDT produces a better optical surface quality.The current status of research into unconventional techniques to supplement SPDT is then summarized.Finally,future development trends and the application prospects of unconventional assisted SPDT are discussed. 展开更多
关键词 Single-point diamond turning Machined surface quality tool wear Unconventional auxiliary technique
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自由曲面光学元件的慢刀伺服车削加工技术 被引量:9
3
作者 关朝亮 戴一帆 尹自强 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2010年第2期98-103,共6页
自由曲面光学元件具有许多优异的光学性能,越来越多地应用到现代光学系统设计中。而自由曲面光学元件制造的复杂性和不确定性是制约其应用的瓶颈之一。慢刀伺服单点金刚石车削是一种可以加工很高精度自由曲面光学表面或非回转对称光学... 自由曲面光学元件具有许多优异的光学性能,越来越多地应用到现代光学系统设计中。而自由曲面光学元件制造的复杂性和不确定性是制约其应用的瓶颈之一。慢刀伺服单点金刚石车削是一种可以加工很高精度自由曲面光学表面或非回转对称光学曲面的新技术。机床伺服执行能力是自由曲面能否加工的基本条件。金刚石刀具几何参数的选择、刀具路径规划及刀具半径补偿是确保加工精度的关键。在理论上,对伺服执行能力进行了分析;发展了基于曲面特性分析的刀具参数确定方法;研究了稳定X轴的刀具圆弧半径补偿及刀具路径生成技术。使用慢刀伺服技术加工了多种典型的自由曲面光学元件,取得了较好的结果。 展开更多
关键词 自由曲面 单点金刚石车削 慢刀伺服 刀具路径
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基于机器视觉的刀具轮廓在线检测方法的研究 被引量:7
4
作者 程颖 李晓凡 朱宁 《光学技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期167-172,共6页
超精密单点金刚石车削过程中需要对刀具参数进行检测。基于机器视觉原理,采用新型的机械结构设计了新型刀具在线检测系统。通过垂直放置的两组由同轴远心镜头和CMOS相机组成的光学系统来获取车刀刀尖正面及侧面的图像,再经图像处理系统... 超精密单点金刚石车削过程中需要对刀具参数进行检测。基于机器视觉原理,采用新型的机械结构设计了新型刀具在线检测系统。通过垂直放置的两组由同轴远心镜头和CMOS相机组成的光学系统来获取车刀刀尖正面及侧面的图像,再经图像处理系统来获取刀具的轮廓及位置信息,完成对刀具轮廓及位置的在线检测,实验验证可实现测量的重复性定位精度达1μm。在线检测的方式借助了超精密车床自身的高精度和运动机构,可以保证相机焦点和机床主轴之间的相对位置关系,弥补了目前刀具检测系统稳定性差和重复性精度低的不足,提高了加工的整体效率。 展开更多
关键词 光学测量 单点金刚石车刀 机器视觉 刀具轮廓 在线检测
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掺硼大单晶金刚石制备及其刀具切削温度在线检测研究
5
作者 陈孝洲 邓福铭 +4 位作者 刘士荃 刘子逸 邢晓天 邓雯丽 余浚哲 《硬质合金》 CAS 2024年第2期148-153,共6页
为了实时测量单晶金刚石刀具加工区域的温度和实时监测金刚石刀具超精密加工工件表面的质量,利用掺硼金刚石的半导体性质,建立掺硼金刚石电阻与温度的对应关系,得出其测量灵敏度为6.2Ω/℃;利用所研制的掺硼单点金刚石刀具在金刚石车床... 为了实时测量单晶金刚石刀具加工区域的温度和实时监测金刚石刀具超精密加工工件表面的质量,利用掺硼金刚石的半导体性质,建立掺硼金刚石电阻与温度的对应关系,得出其测量灵敏度为6.2Ω/℃;利用所研制的掺硼单点金刚石刀具在金刚石车床上分别对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和碳纤维增强塑料(CFRP)试件进行了单点金刚石刀具(SPDT)的切削温度测量,实验验证了所研制的掺硼金刚石刀具切削温度测量系统能够灵敏地测量精密切削过程中的切削温度;金刚石刀具切削CFRP试件时,切削温度和加工表面形貌出现周期性的变化,这一发现对于指导单点金刚石刀具超精密表面加工状态的在线监测也很有价值。 展开更多
关键词 掺硼大单晶金刚石 高温高压 单点金刚石刀具 超精密加工
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超精密车削中精度层次渐进的两步对刀法
6
作者 陈顺发 王佳宁 +4 位作者 刘畅 薛志鹏 李明志 肖皓维 张雷 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期231-239,共9页
为了进一步提高单点金刚石超精密车削的加工精度,满足现代光学元件对高精度制造的要求,对单点金刚石超精密车削过程中高精度的对刀方法进行研究。基于车削加工原理分析创成光学元件时对刀误差对加工表面面形精度的影响。结合传统对刀方... 为了进一步提高单点金刚石超精密车削的加工精度,满足现代光学元件对高精度制造的要求,对单点金刚石超精密车削过程中高精度的对刀方法进行研究。基于车削加工原理分析创成光学元件时对刀误差对加工表面面形精度的影响。结合传统对刀方法以及误差影响理论分析,提出一种精度层次渐进的两步对刀法,以减小或彻底消除对刀误差,进一步提高加工精度。实验结果表明:相较于传统对刀法,采用所提出的精度层次渐进的两步对刀法对刀所加工出的球面反射镜表面面形均方根(RMS)值和峰谷(PV)值分别降低了52.03%和58.86%,证明高精度的对刀方法是实现光学元件超精密车削加工的重要前提。为提高光学表面车削精度所提出的精度层次渐进的两步对刀法是有效的。 展开更多
关键词 光学设计 单点金刚石车削技术 对刀误差 光学表面 两步对刀法
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硬脆及黑色金属材料的单点金刚石车削加工技术综述
7
作者 都建标 张强 宗文俊 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期156-175,共20页
单点金刚石车削技术是产生纳米特征表面的光学元件重要制造工艺之一。此加工技术在空间科学、生物医学工程、军事、国防和光学等领域有着广泛的应用。然而,金刚石刀具在切削硬脆和黑色金属材料时受到限制,如刀具磨损加剧、刀具寿命缩短... 单点金刚石车削技术是产生纳米特征表面的光学元件重要制造工艺之一。此加工技术在空间科学、生物医学工程、军事、国防和光学等领域有着广泛的应用。然而,金刚石刀具在切削硬脆和黑色金属材料时受到限制,如刀具磨损加剧、刀具寿命缩短以及工件表面加工质量降低等。为了减少刀具磨损和提高工件表面加工质量,相关学者提出了不同的解决方案,将从单点金刚石车削辅助工艺、工件改性、刀具性能改善和超硬材料及刀具方面梳理面向提高硬脆和黑色金属材料加工质量的单点金刚石车削加工技术相关研究,分析当前各种加工技术的优势与局限,提出未来将多种能场辅助的单点金刚石车削技术和基于聚焦离子束改性的金刚石刀具技术作为研究的重点。 展开更多
关键词 单点金刚石车削 硬脆材料 黑色金属 刀具磨损 加工质量
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自由曲面慢刀伺服车削及刀具参数确定方法 被引量:3
8
作者 关朝亮 陈燕生 彭文强 《国防科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期102-106,共5页
自由曲面光学元件具有优越的光学性能,在现代光学系统中得到越来越广泛的应用。慢刀伺服是单点金刚石车削自由曲面的新技术。由于自由曲面面形的复杂性以及慢刀伺服车削技术的特殊性,刀具与工件的相对位置关系也更加复杂,必须对刀具与... 自由曲面光学元件具有优越的光学性能,在现代光学系统中得到越来越广泛的应用。慢刀伺服是单点金刚石车削自由曲面的新技术。由于自由曲面面形的复杂性以及慢刀伺服车削技术的特殊性,刀具与工件的相对位置关系也更加复杂,必须对刀具与工件表面的相对几何关系深入研究,从而确定合适的刀具参数。从原理上对慢刀伺服车削技术的特殊性进行了分析。分别基于过轴心截面曲线特性和基于NURBS曲面整体特性研究了刀具参数确定方法。以正弦阵列表面工件为例,验证了这两种分析方法。 展开更多
关键词 单点金刚石车削 慢刀伺服 自由曲面 刀具参数
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影响单点金刚石超精密车削加工精度因素的研究 被引量:3
9
作者 权艳红 《装备制造技术》 2013年第2期84-86,共3页
在夜视仪的光学系统中,大量的光学元件都依靠单点金刚石车削加工,因此研究影响单点金刚石超精密车削加工精度的因素具有极其重要的意义。对单点金刚石切削加工技术的原理作了较全面的分析,其中重点介绍了三维仿真技术。为进一步提高加... 在夜视仪的光学系统中,大量的光学元件都依靠单点金刚石车削加工,因此研究影响单点金刚石超精密车削加工精度的因素具有极其重要的意义。对单点金刚石切削加工技术的原理作了较全面的分析,其中重点介绍了三维仿真技术。为进一步提高加工水平及精度,从五个方面分析了影响加工精度的因素,并提出了解决问题的相关方法。 展开更多
关键词 单点金刚石车削 仿真 机床 环境 材料 刀具
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A Fast Tool Servo System for Fabrication of Micro-structured Surfaces on A Diamond Turning Machine
10
作者 王晓慧 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2009年第S1期111-114,共4页
A fast tool servo (FTS) system is developed for the fabrication of non-rotationally symmetric micro-structured surfaces using single-point diamond turning machines.The constructed FTS employs a piezoelectric tube actu... A fast tool servo (FTS) system is developed for the fabrication of non-rotationally symmetric micro-structured surfaces using single-point diamond turning machines.The constructed FTS employs a piezoelectric tube actuator (PZT) to actuate the diamond tool and a capacitive probe as the feedback sensor.To compensate the inherent nonlinear hysteresis behavior of the piezoelectric actuator,Proportional Integral (PI) feedback control is implemented.Besides,a feed-forward control based on a simple feed-forward predictor has been added to achieve better tracking performance.Experimental results indicate that error motions in the performance of the system caused by hysteresis can be reduced greatly and the micro-structured surface is successfully fabricated by implementing the FTS. 展开更多
关键词 single-point diamond turning fast tool servo piezoelectric actuator feed-forward control
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单点金刚石切削技术在EOS靶制备中的应用 被引量:1
11
作者 谢军 黄燕华 +7 位作者 赵利平 李朝阳 杜凯 童维超 袁光辉 易泰民 郑凤成 邢丕峰 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期949-953,共5页
针对激光状态方程(Equation of state,EOS)实验对靶的高精度、表面高质量、材料密度达到或接近理论密度的需求以及金刚石切削技术不改变原材料密度、加工精度高、粗糙度小的特点,阐述了单点金刚石切削技术(SPDT)在EOS靶制备中的应用情况... 针对激光状态方程(Equation of state,EOS)实验对靶的高精度、表面高质量、材料密度达到或接近理论密度的需求以及金刚石切削技术不改变原材料密度、加工精度高、粗糙度小的特点,阐述了单点金刚石切削技术(SPDT)在EOS靶制备中的应用情况,包括铝、铜等金属薄膜零件制备、多种结构整体式台阶靶制备、整体式楔形靶制备以及金刚石切削技术与其他技术结合制备阻抗匹配靶等靶零件。 展开更多
关键词 单点金刚石切削 金刚石刀具 超精密加工 状态方程
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端面超精密车削中的面型误差辨识技术研究
12
作者 马善意 杨辉 +2 位作者 赵宏鑫 张彬 滕凯冰 《机床与液压》 北大核心 2022年第21期103-106,共4页
为分析超精密车削过程中典型干扰因素对面型精度的影响机制以及这些干扰因素所造成面型误差的特性,基于国产超精密机床Nanosys600对Al6061进行单点金刚石车削实验。通过切削-面型轮廓测量-面型轮廓滤波-分析的迭代过程,辨识和排查了加... 为分析超精密车削过程中典型干扰因素对面型精度的影响机制以及这些干扰因素所造成面型误差的特性,基于国产超精密机床Nanosys600对Al6061进行单点金刚石车削实验。通过切削-面型轮廓测量-面型轮廓滤波-分析的迭代过程,辨识和排查了加工过程中的误差来源。在进行环境温度调控和更换导轨工作区域后,滤波后的面型轮廓波峰波谷差值由1510 nm降低到203 nm。 展开更多
关键词 面型误差 单点金刚石车削 机床几何误差
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拉刀刀尖表面微结构单点金刚石刀具制备及降载机制 被引量:1
13
作者 吕俊杰 倪敬 +4 位作者 蒙臻 任旭 冯凯 俞虹飞 王艺蒙 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期390-395,402,共7页
为研究单点金刚石刀具制备的拉刀刀尖表面微结构的降载机制,利用激光蚀刻和单点金刚石刀具在同一把拉刀的不同区域制备了圆坑形微结构,并结合搭建的拉削实验系统进行了微结构拉刀和常规拉刀的对比拉削试验。试验结果表明单点金刚石刀具... 为研究单点金刚石刀具制备的拉刀刀尖表面微结构的降载机制,利用激光蚀刻和单点金刚石刀具在同一把拉刀的不同区域制备了圆坑形微结构,并结合搭建的拉削实验系统进行了微结构拉刀和常规拉刀的对比拉削试验。试验结果表明单点金刚石刀具制备的微结构能更有效地降载,这是因为:单点金刚石刀具在制备微结构的过程中能在刀尖表面产生压应力,并且使拉刀刀尖表面更平整;此外,单点金刚石刀具制备的微结构一方面减少了刀-工-屑的真实接触面积,另一方面又削弱刀尖和工件、切屑的黏附作用,减小切屑的厚度,有效地降低拉削过程中的负载。 展开更多
关键词 单点金刚石刀具 激光蚀刻 微结构拉刀 降载机制
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超精密车床B轴上的刀具安装误差分析
14
作者 程凯 郭兵 +1 位作者 饶志敏 赵清亮 《航空精密制造技术》 2015年第5期15-19,共5页
在分析了四轴超精密车床的超精密加工中,如何准确将刀具安装到B轴上,保证刀具圆弧中心与B轴回转中心重合的基础上,设计了两种安装对刀方案。实验结果表明,最终安装方式采用CCD粗对刀和试切法精对刀结合,能使得刀具偏置误差在2μm内。实... 在分析了四轴超精密车床的超精密加工中,如何准确将刀具安装到B轴上,保证刀具圆弧中心与B轴回转中心重合的基础上,设计了两种安装对刀方案。实验结果表明,最终安装方式采用CCD粗对刀和试切法精对刀结合,能使得刀具偏置误差在2μm内。实验证明了该方案能满足超精密加工非球面透镜的对刀具安装的精度要求。 展开更多
关键词 B轴 位置误差 单点金刚石车削 刀具安装
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基于纳米颗粒润滑的单点金刚石刀具磨损抑制技术
15
作者 墨洪磊 郑家洛 +2 位作者 兰洁 陈肖 许剑锋 《导航与控制》 2021年第2期74-79,共6页
润滑是单点金刚石车削硬脆材料时的一个非常关键的因素,针对单点金刚石车床超精密加工单晶硅光学零件过程中刀具易磨损、加工精度一致性差等问题,提出了一种单点金刚石刀具磨损抑制技术,通过选用二硫化钼、石墨、铜、氧化铜等纳米颗粒... 润滑是单点金刚石车削硬脆材料时的一个非常关键的因素,针对单点金刚石车床超精密加工单晶硅光学零件过程中刀具易磨损、加工精度一致性差等问题,提出了一种单点金刚石刀具磨损抑制技术,通过选用二硫化钼、石墨、铜、氧化铜等纳米颗粒作为润滑剂,在Ф25.4mm单晶硅平片上开展实验研究。结果表明,纳米颗粒的类型和质量分数对车削过程的润滑效果有明显的影响,使用质量分数为10%的纳米石墨颗粒作为润滑剂时,加工后零件表面质量最好。在车削加工5.067km后,单晶硅光学零件表面粗糙度优于25nm,刀具磨损量约5μm,该单点金刚石刀具磨损抑制技术是有效的。 展开更多
关键词 单晶硅 单点金刚石车削 纳米颗粒润滑 刀具磨损抑制
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刀尖微结构SPDT振动压印装置及其试验研究
16
作者 吕俊杰 俞虹飞 +2 位作者 任旭 冯凯 王艺蒙 《机电工程》 CAS 北大核心 2019年第12期1282-1285,共4页
针对拉刀前刀面内凹且材质坚硬,难以实现刀尖表面微结构加工的问题,对单点金刚石刀具(SPDT)振动压印制备微结构的加工原理进行了研究,提出了一种刀尖微结构SPDT振动压印装置;利用此装置成功在试验拉刀前刀面制备了3排×30列,最大圆... 针对拉刀前刀面内凹且材质坚硬,难以实现刀尖表面微结构加工的问题,对单点金刚石刀具(SPDT)振动压印制备微结构的加工原理进行了研究,提出了一种刀尖微结构SPDT振动压印装置;利用此装置成功在试验拉刀前刀面制备了3排×30列,最大圆截面直径为30μm、深度为10μm的"圆坑型"微结构;并将此试验拉刀与常规拉刀进行了对比拉削试验,研究了刀尖微结构对拉削负载的影响。研究结果表明:在稳定拉削阶段,相较于常规拉刀,试验拉刀的拉削负载均值、最大值、最小值降幅分别达到了5.20%、5.04%和12.33%,说明在拉刀前刀面制备微结构后,可以有效降低拉削负载,提高拉削性能,改善现有加工技术。 展开更多
关键词 内凹型表面 刀尖微结构 单点金刚石刀具 振动压印
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精密镜面的加工及其快速微动伺服刀架的研制
17
作者 刘开源 廖月明 任要正 《机械》 北大核心 1998年第2期2-4,共3页
论述采用数控单刃金刚石车削(NCSPDT)技术加工非轴对称光学精密镜面的原理、系统结构及其实现,介绍了实现加工的执行机构———快速微动伺服刀架的研制。
关键词 光学镜面 金刚石切削 快速 微动 伺服刀架
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