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MEMS高温温度传感器的研制与测量精度研究 被引量：11
1
作者 邵靖 段力 +9 位作者 王强 郑芳芳 谢开成 王云生 陶闻钟 高均超 胡铭楷 张丛春 汪红 丁桂甫 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1352-1358,共7页
航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面,利用微技术制造的传... 航空发动机智能化及其他机械系统的智能化需要原位集成制造的传感器,为此研制了发动机涡轮叶片原位集成高温传感器。该高温传感器采用MEMS微制造工艺将厚度在微米量级的微小传感器原位集成在航空发动机涡轮叶片表面,利用微技术制造的传感器和标准的热电偶进行了一系列的高温测量试验和一系列细致的高温温度表征测量研究。该微制造工艺攻克了两项技术难关:曲表面的光刻技术和高温绝缘层的制作技术。涡轮叶片表面原位集成的微传感器不仅可以原位测量高达800℃的环境温度,并且具有很高的机械强度,可以承受高达40 g的振动和100 g的冲力。研究还表明,在高温测量环境下,高温测量精度和高温环境下的温度场(高温温度的空间分布与升温时间迟豫)密切相关。由于高温环境温度场的差异,可以产生高达10%的测量本征误差。 展开更多
关键词 传感器 高温测量 MEMS 微制造工艺 软光刻技术 铂金热电阻
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基于MSP430F149单片机的实验用温控对象模拟器的设计 被引量：2
2
作者 邹莉 《黄石理工学院学报》 2011年第4期5-9,共5页
从控制算法、硬件、软件等方面介绍实验用温控对象模拟器,选用MSP430F149单片机作为主控芯片,并配有温度检测电路、信号调理电路、转换电路、加热电路以及键盘和液晶显示等,可实现数据采集、加热器控制等功能,通过模拟输入输出通道或数... 从控制算法、硬件、软件等方面介绍实验用温控对象模拟器,选用MSP430F149单片机作为主控芯片,并配有温度检测电路、信号调理电路、转换电路、加热电路以及键盘和液晶显示等,可实现数据采集、加热器控制等功能,通过模拟输入输出通道或数字通信通道与上位机进行交互,形成一个温度控制系统。 展开更多
关键词 MSP430F149单片机 温度控制 控制算法 铂热电阻
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基于组态王软件的温度数据采集系统的设计与研究 被引量：1
3
作者 王成刚 晏芙蓉 曲令帅 《化工装备技术》 CAS 2017年第5期28-30,共3页
提出了基于组态王软件和Pt100铂热电阻的温度采集系统的设计方法。首先,通过非线性的铂热电阻Pt100采集被测物体周围环境的温度信号;其次,将采集的电阻信号通过泓格I-7015模块输入,同时利用I-7520将信号传输进计算机进行数据分析处理;最... 提出了基于组态王软件和Pt100铂热电阻的温度采集系统的设计方法。首先,通过非线性的铂热电阻Pt100采集被测物体周围环境的温度信号;其次,将采集的电阻信号通过泓格I-7015模块输入,同时利用I-7520将信号传输进计算机进行数据分析处理;最后,在组态王软件上分别对冷凝冷却实验的实时监控界面、实时温度曲线、温度数据报表和报警等进行程序编写。 展开更多
关键词 铂热电阻 实时监测 组态王软件 冷凝冷却 温度 数据采集系统
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高精度温度测试仪的设计 被引量：2
4
作者 王娟 谢檬 《电子设计工程》 2018年第16期81-84,89,共5页
针对温度测控精度的问题,本文提出了一种高精度、低功耗温度测试仪的设计方案。该系统采用PT100铂热电阻模块对温度信息进行采集放大处理,通过A/D转换后将信号传递给主控制器,主控制器根据按键要求把分析结果输出给液晶屏显示。该高精... 针对温度测控精度的问题,本文提出了一种高精度、低功耗温度测试仪的设计方案。该系统采用PT100铂热电阻模块对温度信息进行采集放大处理,通过A/D转换后将信号传递给主控制器,主控制器根据按键要求把分析结果输出给液晶屏显示。该高精度温度测试仪经多次调试和测试后,其功能和指标均达到了设计的要求,误差不大于0.5%。 展开更多
关键词 高精度 PT100铂热电阻 温度测试仪 低功耗
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