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The Need to Create and Apply High-Precision Operational Remote Environmental Monitoring in the Face of Modern Challenges
1
作者 Volodymyr Vashchenko Iryna Korduba +3 位作者 Nancy Mahmoud al Saeed Hafez Iryna Vashchenko Serhii Tsybytovskyi Nataliia Lubenska 《Open Journal of Ecology》 2024年第11期868-878,共11页
The paper formulates new principles that should form the basis for the development and creation of new environmental monitoring based on heavy UAVs and high-altitude so-called pseudo-satellites capable of operating fo... The paper formulates new principles that should form the basis for the development and creation of new environmental monitoring based on heavy UAVs and high-altitude so-called pseudo-satellites capable of operating for a long time at altitudes of 25 - 30 km. In order to develop such principles, this paper analyzes the radioecological situation in the territories of Donetsk and Luhansk regions of Ukraine for rapid and high-quality environmental cleanup and rehabilitation of areas with detected critical levels of environmentally hazardous pollutants. In order to quickly obtain fundamentally new environmental information, it is necessary to conduct multi-parameter, high-precision integrated monitoring of the Earth’s geospheres based on the latest methods and equipment for ground and remote environmental measurements, and new methods and technological means of clean, environmentally safe processing and final disposal. As the most appropriate technology, we propose mobile installations for plasma-chemical pyrolysis of medical waste directly at the place of its generation. 展开更多
关键词 Operational Environmental Remote Monitoring Medical and Hazardous Waste plasma-chemical Pyrolysis
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On the Plasma-Chemical Synthesis of Nanopowders 被引量:3
2
作者 G.Vissoliov lv.Grancharov Tsv.Tsvetanov 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第6期2039-2050,共12页
This paper presents an overview of nanopowders preparation using low-temperature plasma (LTP). LTP with its unique processing capabilities provides an attractive and chemically unspecific route for powder synthesis. N... This paper presents an overview of nanopowders preparation using low-temperature plasma (LTP). LTP with its unique processing capabilities provides an attractive and chemically unspecific route for powder synthesis. Nanopowders such as oxides, nitrides, carbides, catalysts and other nanopowders have been successfully synthesized in LTP reactors based on high intensity arcs, plasma jets and radio-frequency (r. f.) inductively coupled discharges. 展开更多
关键词 PREPARATION plasma-chemical NANOPOWDERS
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Physical-Chemical Characterization of Nanodispersed Powders Produced by a Plasma-Chemical Technique 被引量:1
3
作者 M.GEORGIEVA G.VISSOKOV Iv.GRANCHAROV 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第3期273-279,共7页
This article presents a review on the physical-chemical properties and characteristics of plasma-chemically produced nanodispersed powders (NDP), such as metals, oxides, nitrides, carbides, and catalysts. The plasma... This article presents a review on the physical-chemical properties and characteristics of plasma-chemically produced nanodispersed powders (NDP), such as metals, oxides, nitrides, carbides, and catalysts. The plasma-chemical preparatior~ of the powders was carried out in thermal plasma (TP) created by means of high-current electric arcs, plasma jets, high-frequency (HF) discharges, etc. We also discuss certain properties and characteristics of the NDPs, which are determined largely by the conditions of preparation. 展开更多
关键词 plasma-chemical treatment nitrides thermodynamic analysis
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High-Temperature Thermodynamic Investigation of Nano-Dispersed Nitrides Obtained in Thermal Plasma
4
作者 M. GEORGIEVA G. VISSOKOV Iv. GRANCHAROV L. BRAKALOV 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第2期174-176,共3页
The nitrides of transient metals have a high hardness, thermal stability, remarkable wear resistance in aggressive chemical mediums, melted metals and alloys, high corrosion resistance, and low coefficient of electric... The nitrides of transient metals have a high hardness, thermal stability, remarkable wear resistance in aggressive chemical mediums, melted metals and alloys, high corrosion resistance, and low coefficient of electric resistance. Under the conditions of low-temperature argon plasma (LTP), thermodynamic investigations were conducted in the process of obtaining of A1N, TiN and Si3N4 in a temperature range of 1000 K to 6000 K. To investigate the thermodynamic possibility of obtaining nitrides, a computer model was used which provided the equilibrium composition of gaseous and solid phases at different temperatures. The conditions for chemical equilibrium of the system were based on the minimization of Gibbs' energy. 展开更多
关键词 plasma-chemical treatment nitrides thermodynamic analysis
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The Design and Manufacturing of Diffraction Optical Elements to form a Dot-Composed Etalon Image within the Optical Systems
5
作者 Sergey Borisovich Odinokov Hike Rafaelovich Sagatelyan 《Optics and Photonics Journal》 2013年第1期102-111,共10页
The possibilities of manufacturing of diffraction optical elements (DOE), using the “Caroline 15 PE” plasma-etching machine were considered. It is established that at thickness of chromic mask of 100 nm the plasma-c... The possibilities of manufacturing of diffraction optical elements (DOE), using the “Caroline 15 PE” plasma-etching machine were considered. It is established that at thickness of chromic mask of 100 nm the plasma-chemical etching (PCE) method reaches depth of surface micro-profile to 1.4 μm on optical glass. It allows increasing the diffraction efficiency of DOE to 0.3 - 0.35 on the second order of diffraction. 展开更多
关键词 Optical Glass plasma-chemical Etching SELECTIVITY DIFFRACTION GRATINGS MICRO-OPTICS
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Plasma-chemical Synthesis and Regeneration of Catalysts for CH_4 Steam Conversion
6
作者 Gheorghi P. Vissokov 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2002年第6期1551-1558,共8页
We carried out experimental studies concerning the plasma-chemicalsynthesis(PCS) of a catalyst for CH_4 steam conversion and designed and built the equipment for PCSand/ or regeneration of spent catalyst for CH_4 stea... We carried out experimental studies concerning the plasma-chemicalsynthesis(PCS) of a catalyst for CH_4 steam conversion and designed and built the equipment for PCSand/ or regeneration of spent catalyst for CH_4 steam conversion. Under the conditions of anelectric-arc low-temperature plasma (LTP), we studied the Ni-O-Al system and performed acomprehensive physicochemical analysis of the ultradispersed product obtained. It's the first timeworldwide when the conditions of plasma-chemical synthesis and/ or regeneration of CH_4 steamconversion catalysts under the conditions of electric-arc LTP are investigated depending on theplasma-chemical process (PCP) parameters and the plasma-chemical reactor (PCP) type (with CW-'coldwalls' T_W = 500 K or WW-'warm walls' T_W = 1500 K), samples with a specific surface of 120 m^2/gare obtained. Plasma-chemically synthesized and/ or regenerated samples have a homogenous chemicalcomposition similar to that the Girdller (USA) conventional industrial catalyst. It is empiricallyestablished that the optimal temperature range in PCR for synthesis of samples with maximumdispersity is (2000~3000) K. Results from investigation on dynamics and kinetics ofplasma-chemically synthesized and / or regenerated catalysts for CH4 steam conversion show thatunder LTP conditions premises for the formation of catalyst compositions are established. They arereduced 3 to 4 times faster than their industrial analogues. High specific surface of the samples,homogenous composition, high rate of active chemical surface formed by reduction, faulty crystallattice of catalytically active phases and mostly high catalytic activity make them a potentialcompetitor with their industrial analogues for their probable production in catalyst shops. 展开更多
关键词 plasma-chemical synthesis regeneration of catalysts CH_4 steamconversion
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PECVD淀积氮化硅薄膜性质研究 被引量:43
7
作者 王晓泉 汪雷 +3 位作者 席珍强 徐进 崔灿 杨德仁 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期341-344,共4页
使用等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)在P型硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,使用薄膜测试仪观察了薄膜的厚度、折射率和反射光谱,利用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)观察了截面和表面形貌... 使用等离子体增强化学气相沉积(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,PECVD)在P型硅片上沉积了氮化硅(SiNx)薄膜,使用薄膜测试仪观察了薄膜的厚度、折射率和反射光谱,利用扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)观察了截面和表面形貌,使用傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)和能谱仪(EDX)分析了薄膜的化学结构和成分。最后,考察了薄膜在经过快速热处理过程后的热稳定性,并利用霍尔参数测试仪(Hall)比较了薄膜沉积前后载流子迁移率的变化。 展开更多
关键词 太阳电池 PECVD 氮化硅
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脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究 被引量:24
8
作者 马胜利 马大衍 +2 位作者 王昕 徐可为 介万奇 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期179-182,共4页
对比研究了脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜的摩擦磨损特性,用扫描电子显微镜、X射线衍射仪及销-盘摩擦磨损试验机分析薄膜形貌和结合力,考察了不同沉积条件下2种薄膜的摩擦磨损过程及其影响因素.结果表明,TiCN薄膜具有... 对比研究了脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜的摩擦磨损特性,用扫描电子显微镜、X射线衍射仪及销-盘摩擦磨损试验机分析薄膜形貌和结合力,考察了不同沉积条件下2种薄膜的摩擦磨损过程及其影响因素.结果表明,TiCN薄膜具有较高硬度、良好的膜基结合力,相对于TiN薄膜而言表现出更低的摩擦系数和更好的耐磨性能.在实际使用中应注重成分和结构优化设计,以保证薄膜具有良优良的减摩性能. 展开更多
关键词 硬质薄膜 PCVD 结合力 摩擦磨损性能 脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积 TIN薄膜 TiCN薄膜
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薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的研究 被引量:22
9
作者 薛俊明 麦耀华 +6 位作者 赵颖 张德坤 韩建超 侯国付 朱锋 张晓丹 耿新华 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期166-169,共4页
采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备非晶硅顶电池,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备微晶硅底电池,初步优化研究了薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池顶电池与底电池的本征吸收层厚度匹配与电池电流... 采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备非晶硅顶电池,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备微晶硅底电池,初步优化研究了薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池顶电池与底电池的本征吸收层厚度匹配与电池电流匹配,以及氧化锌/金属复合背反射电极对电池的作用。研制出了面积为1.0 cm2效率达9.83%的薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池。 展开更多
关键词 叠层电池 微晶硅 非晶硅
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VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究 被引量:20
10
作者 张晓丹 赵颖 +7 位作者 朱锋 魏长春 吴春亚 高艳涛 侯国付 孙建 耿新华 熊绍珍 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期445-449,共5页
采用拉曼散射光谱和PR6 5 0光谱光度计对VHF PECVD制备的微晶硅薄膜进行了结构表征和在线监测研究 .结果表明 :功率对材料的晶化率 ( χc)有一定的调节作用 ,硅烷浓度大 ,微调作用更明显 ;SiH 的强度只能在一定的范围内表征材料的沉积速... 采用拉曼散射光谱和PR6 5 0光谱光度计对VHF PECVD制备的微晶硅薄膜进行了结构表征和在线监测研究 .结果表明 :功率对材料的晶化率 ( χc)有一定的调节作用 ,硅烷浓度大 ,微调作用更明显 ;SiH 的强度只能在一定的范围内表征材料的沉积速率 ,功率大相应的速率反而下降 ;I[Hα ] I[SiH ] 强度比值反映了材料晶化程度 ,此结果和拉曼散射光谱测试结果显示出一致性 ;I[Hβ ] I[Hα ] 的强度比表明氢等离子体中的电子温度随功率的增大而逐渐降低 . 展开更多
关键词 拉曼散射光谱 微晶硅薄膜 氢等离子体 电子温度 结构表征 低温制备 晶化 VHF-PECVD 光发射谱 功率
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等离子增强型化学气相沉积条件对氮化硅薄膜性能的影响 被引量:17
11
作者 李新贝 张方辉 牟强 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2006年第7期12-16,共5页
等离子增强型化学气相沉积(PECVD)氮化硅技术是目前半导体器件在合金化后低温生长氮化硅的唯一方法。研究了由进口PECVD设备制备的氮化硅薄膜性质与沉积条件的关系,测定了生成膜的各种物理化学性能,详细探讨了各种沉积参数对薄膜性能的... 等离子增强型化学气相沉积(PECVD)氮化硅技术是目前半导体器件在合金化后低温生长氮化硅的唯一方法。研究了由进口PECVD设备制备的氮化硅薄膜性质与沉积条件的关系,测定了生成膜的各种物理化学性能,详细探讨了各种沉积参数对薄膜性能的影响,提出了沉积优质氮化硅薄膜的工艺条件。 展开更多
关键词 等离子增强型化学气相沉积 氮化硅 薄膜性能
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脉冲电晕放电处理低浓度硫化氢气体 被引量:16
12
作者 王晓鹏 晏乃强 +1 位作者 贾金平 王亚林 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期278-282,共5页
采用线筒式脉冲电晕反应器对硫化氢气体进行去除,考察了影响硫化氢去除率的主要参数。当气体的停留时间为17s、硫化氢的初始质量浓度约为100mg/m3、峰值电压为48kV时,对硫化氢的去除率接近96%,且增加峰值电压、气体停留时间或气体中的... 采用线筒式脉冲电晕反应器对硫化氢气体进行去除,考察了影响硫化氢去除率的主要参数。当气体的停留时间为17s、硫化氢的初始质量浓度约为100mg/m3、峰值电压为48kV时,对硫化氢的去除率接近96%,且增加峰值电压、气体停留时间或气体中的氧气含量可提高硫化氢的去除率。对放电作用下硫化氢的去除动力学进行了研究,并对硫化氢的分解产物进行了初步分析。 展开更多
关键词 脉冲电晕放电 硫化氢 等离子体化学反应 臭氧
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PECVD法氮化硅薄膜的研究 被引量:9
13
作者 吴大维 范湘军 +2 位作者 郭怀喜 张志宏 李世宁 《材料科学与工程》 CSCD 1997年第1期46-49,共4页
本文采用射频等离子体增强化学气相生长法(PECVD),在单晶硅衬底上生长氮化硅薄膜,经X射线衍射测试发现,在(100)晶向硅片上生长的氮化硅薄膜为(101)晶向的外延生长膜。还用红外吸收光谱拉曼光谱和X射线光电子能谱... 本文采用射频等离子体增强化学气相生长法(PECVD),在单晶硅衬底上生长氮化硅薄膜,经X射线衍射测试发现,在(100)晶向硅片上生长的氮化硅薄膜为(101)晶向的外延生长膜。还用红外吸收光谱拉曼光谱和X射线光电子能谱测试了β-Si3N4的特性,讨论了它在微电子学中的应用。 展开更多
关键词 PECVD 外延生长 氮化硅 薄膜
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PECVD法低温沉积多晶硅薄膜的研究 被引量:9
14
作者 邱春文 石旺舟 黄羽中 《液晶与显示》 CAS CSCD 2003年第3期201-204,共4页
在玻璃衬底上采用常规的PECVD法在低温(≤400℃)条件下制得大颗粒(直径>100nm)、择优取向(220)明显的多晶硅薄膜。选用的反应气体为SiF4和H2混合气体。加入少量的SiH4后,沉积速率提高了近10倍。分析认为,在低温时促使多晶硅结构形成... 在玻璃衬底上采用常规的PECVD法在低温(≤400℃)条件下制得大颗粒(直径>100nm)、择优取向(220)明显的多晶硅薄膜。选用的反应气体为SiF4和H2混合气体。加入少量的SiH4后,沉积速率提高了近10倍。分析认为,在低温时促使多晶硅结构形成的反应基元应是SiFmHn(m+n≤3),而不可能是SiHn(n≤3)基团。 展开更多
关键词 PECVD法 多晶硅薄膜 低温沉积 太阳能电池 等离子体增强化学气相沉积法
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衬底温度对微晶硅薄膜沉积与结构特征的影响 被引量:15
15
作者 杨恢东 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期646-649,共4页
采用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)技术在不同衬底温度条件下沉积了氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜,并通过光发射谱(OES)测量技术对沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体进行了原位监测。结合对样品的沉积速率测量与结构表征,研究了衬底... 采用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)技术在不同衬底温度条件下沉积了氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜,并通过光发射谱(OES)测量技术对沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体进行了原位监测。结合对样品的沉积速率测量与结构表征,研究了衬底温度对薄膜沉积过程与结构特征的影响。实验结果表明:随着衬底温度的增加,μc-Si∶H薄膜结晶体积分数与晶粒的平均尺寸单调增大,而沉积速率则呈现出先增后减的变化。对于当前的沉积系统,优化生长的衬底温度约为210℃,相应的μc-Si∶H薄膜沉积速率为0.8nm/s,结晶体积分数与晶粒平均尺寸分别为60%和9nm。 展开更多
关键词 衬底温度 结构特征 微晶硅 甚高频等离子体化学气相沉积 薄膜沉积 μc-Si:H 沉积速率 沉积过程 平均尺寸 体积分数 温度条件 原位监测 测量技术 光发射谱 结构表征 沉积系统 优化生长 晶粒 结晶
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医用不锈钢表面沉积类金刚石薄膜的电化学腐蚀性能研究 被引量:11
16
作者 刘成龙 杨大智 +1 位作者 邓新绿 齐民 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期559-563,共5页
医用316L不锈钢植入物植入体内后,体内环境可导致其产生腐蚀和Ni离子的析出。利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,采用等离子体源离子注入(plasmasourceionimplantation,PSII)和等离子体增强化学气相沉积(plasmaenhancedchem... 医用316L不锈钢植入物植入体内后,体内环境可导致其产生腐蚀和Ni离子的析出。利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,采用等离子体源离子注入(plasmasourceionimplantation,PSII)和等离子体增强化学气相沉积(plasmaenhancedchemicalvapordeposi tion,PECVD)复合工艺在医用316L不锈钢表面沉积类金刚石薄膜,进行表面改性,以提高其在模拟体液环境中的腐蚀阻抗。扫描电子显微镜和原子力显微镜观察发现,薄膜由纳米粒子构成,膜层连续光滑。电化学腐蚀测试表明:采用PSII+PECVD复合工艺制备的类金刚石薄膜与316L不锈钢改性体系在(37±1)℃的Troyde’s模拟体液中的自腐蚀电位约为120mV,体系的击穿电位超过1.9V,与基体316L不锈钢相比,其热力学稳定性与抗腐蚀性能得到增强,改性效果优于单独的PECVD工艺。 展开更多
关键词 等离子源离子注入 等离子增强化学气相沉积 类金刚石薄膜 医用不锈钢 抗腐蚀性 模拟体液
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P-nc-Si:H薄膜材料及在微晶硅薄膜太阳电池上应用 被引量:11
17
作者 朱锋 赵颖 +5 位作者 张晓丹 魏长春 孙建 任慧智 熊绍珍 耿新华 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期381-384,共4页
对RF PECVD技术沉积p nc Si:H薄膜材料进行了研究。随着功率的增大材料的晶化率增大。B的掺杂可以提高材料的电导率,同时会抑制材料的晶化,在纳米Si薄膜材料中B的掺杂效率很高,少量的B即可获得高的电导率,而对材料晶化影响不大。用比较... 对RF PECVD技术沉积p nc Si:H薄膜材料进行了研究。随着功率的增大材料的晶化率增大。B的掺杂可以提高材料的电导率,同时会抑制材料的晶化,在纳米Si薄膜材料中B的掺杂效率很高,少量的B即可获得高的电导率,而对材料晶化影响不大。用比较高沉积功率和少量B的方法获得了高电导率、宽光学带隙和高晶化率的P型纳米Si薄膜材料(σ=0.7S/cm,Eopt>2.0eV)。将这种材料应用于微晶硅(μc Si)薄膜太阳能电池中,电池结构为:glass/SnO2/ZnO/p nc Si:H/I μC Si:H/n Si:H。首次获得效率η=4.2%的μC Si薄膜太阳能电池(Voc=0.399V,Jsc=20.56mA/cm2,FF=51.6%)。 展开更多
关键词 P-nc-Si:H薄膜材料 微晶硅薄膜 太阳能电池 电导率 掺杂效率 RF-PECVD技术 电池结构
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薄膜太阳能电池异型布拉格背反射结构设计与制作 被引量:15
18
作者 周舟 周健 +1 位作者 孙晓玮 谈惠祖 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期276-280,共5页
根据多光束干涉原理设计出用于薄膜太阳能电池的异型布拉格背反射器(IDBR)。该异型布拉格背反射结构由两对非晶硅(36.5 nm)/二氧化硅(81 nm)分布式布拉格反射器(DBR)结构与三对非晶硅(73 nm)/二氧化硅(162 nm)DBR结构组合而成。讨论了... 根据多光束干涉原理设计出用于薄膜太阳能电池的异型布拉格背反射器(IDBR)。该异型布拉格背反射结构由两对非晶硅(36.5 nm)/二氧化硅(81 nm)分布式布拉格反射器(DBR)结构与三对非晶硅(73 nm)/二氧化硅(162 nm)DBR结构组合而成。讨论了不同结构的背反射器性能,分析了IDBR中心波长与层数的选择依据。采用迭代法计算了IDBR的反射性能。用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在硅衬底上生长出具有5对α-Si:H/SiO2结构的IDBR,并测试其反射光谱曲线。实验证明该反射器在420~1400 nm的光谱范围内设计反射率达到87%,在600~1300 nm波长范围内的平均反射率高达91.6%,从而具有显著提高太阳能电池的宽谱吸收效率的潜力。 展开更多
关键词 薄膜 薄膜太阳能电池 异型布拉格背反射镜 迭代法 等离子体增强化学气相沉积
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1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用 被引量:14
19
作者 张晓丹 张发荣 +5 位作者 赵颖 陈飞 孙建 魏长春 耿新华 熊绍珍 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期209-212,共4页
采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料.材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大,通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知:获得了沉积速率超过1nm/s高速率器件质量级... 采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料.材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大,通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知:获得了沉积速率超过1nm/s高速率器件质量级微晶硅薄膜,并且也初步获得了效率达6.3%的高沉积速率微晶硅太阳电池. 展开更多
关键词 甚高频等离子体增强化学气相沉积 微晶硅薄膜太阳电池 高沉积速率 化学气相沉积技术
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气压对VHF-PECVD制备的μc-Si∶H薄膜特性影响的研究 被引量:14
20
作者 张晓丹 朱锋 +8 位作者 赵颖 侯国付 魏长春 孙建 张德坤 任慧志 薛俊明 耿新华 熊绍珍 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期414-418,共5页
本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的... 本文主要研究了用VHF PECVD方法制备的不同工作气压的微晶硅薄膜样品。结果表明 :沉积速率随反应气压的增大而逐渐增大 ;光敏性 (光电导 /暗电导 )和激活能测试结果给出了相同的变化规律 ;傅立叶红外测试、X射线衍射和室温微区喇曼谱的结果都表明了样品的晶化特性 ; 展开更多
关键词 VHF-PECVD 制备方法 气压 μc-Si:H 薄膜 微晶硅材料 太阳能电池 光致衰退效应 SWE
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