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压电驱动精密直线步进电机研究 被引量:26
1
作者 刘建芳 杨志刚 +1 位作者 程光明 华顺明 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2004年第4期102-107,共6页
提出一种新型的定子主动箝位方式压电精密直线步进电机,解决了压电驱动电机箝位不牢固、步进频率较低、行程小、速度低等问题。研制的精密电机能够实现高频率(100Hz),高速度(30mm/min),大行程(>20mm),高精度,大驱动力(100N)等特点,... 提出一种新型的定子主动箝位方式压电精密直线步进电机,解决了压电驱动电机箝位不牢固、步进频率较低、行程小、速度低等问题。研制的精密电机能够实现高频率(100Hz),高速度(30mm/min),大行程(>20mm),高精度,大驱动力(100N)等特点,大幅度提高了压电型步进电机的驱动性能。研制的该步进电机在精密运动、微操作、光学工程、精密定位等精密工程中具有一定的应用价值。 展开更多
关键词 直线步进电机 压电驱动 压电材料 定子箝位方式 压电叠堆
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电控宽带连续调谐外腔半导体激光器 被引量:4
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作者 潘仲琦 杨今强 +3 位作者 董启明 张汉一 郭奕理 周炳琨 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期485-489,共5页
介绍了一种电控调谐的外腔半导体激光器,并对其连续调谐特性进行了理论和实验分析。压电陶瓷(PZT)(双晶片)的电扫描角度可达1°,采用适当的外腔结构,靠PZT可同时改变外腔腔长和光栅衍射角,实现输出波长的调谐。该器... 介绍了一种电控调谐的外腔半导体激光器,并对其连续调谐特性进行了理论和实验分析。压电陶瓷(PZT)(双晶片)的电扫描角度可达1°,采用适当的外腔结构,靠PZT可同时改变外腔腔长和光栅衍射角,实现输出波长的调谐。该器件调谐范围最大可达15nm。 展开更多
关键词 外腔 半导体激光器 连续调谐 压电陶瓷
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PZT驱动快速控制反射镜的设计与试验 被引量:5
3
作者 张丽敏 王帅 +1 位作者 杨飞 乔兵 《机电工程》 CAS 2013年第7期783-787,共5页
针对望远镜光束对准精确度损失以及光束稳定性难以保持等问题.将快速控制反射镜技术应用到望远镜光路系统中,开展了影响压电陶瓷(PZT)驱动快速控制反射镜性能指标的分析;建立了结构谐振频率、分辨力、通光口径和惯性力等与系统性能之间... 针对望远镜光束对准精确度损失以及光束稳定性难以保持等问题.将快速控制反射镜技术应用到望远镜光路系统中,开展了影响压电陶瓷(PZT)驱动快速控制反射镜性能指标的分析;建立了结构谐振频率、分辨力、通光口径和惯性力等与系统性能之间的关系,根据Rayleigh能量法建立了其基频理论模型,在此基础上建立了有限元模型并对理论模型进行了评价,进行了结构一阶谐振、量程、一致性以及校正能力试验。研究结果表明:与实测结果相比,理论和仿真分析结果误差均小于3%,证明了理论模型简化的合理性与正确性,可以作为后续设计参考;结构双向一致性较好;校正量程大于±4';校正能力优于0.06″,对于较差视宁(相干长度50 mm,等晕角2″)亦可以满足精度高、响应快的应用要求。 展开更多
关键词 望远镜 压电陶瓷 快速控制反射镜 Rayleigh能量法
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纳米定位机构及其控制系统的研究 被引量:14
4
作者 王建林 《机械设计与研究》 CSCD 2001年第2期34-35,共2页
在纳米科学与技术领域 ,纳米定位技术是纳米测量和原子操作工程研究及走向产业化的前提条件和工作基础。本文设计了一种新颖的以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器的纳米定位机构 ,给出了其动力学模型 ,结合纳米传感器微位移检测装... 在纳米科学与技术领域 ,纳米定位技术是纳米测量和原子操作工程研究及走向产业化的前提条件和工作基础。本文设计了一种新颖的以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器的纳米定位机构 ,给出了其动力学模型 ,结合纳米传感器微位移检测装置和微机控制系统设计并研制了数字闭环控制的纳米定位系统。实验表明 :该纳米定位系统行程 10 μm ,定位精度优于± 0 .0 3μm ,定位分辨力 3nm ,最大定位时间 40ms。 展开更多
关键词 纳米定位机构 柔性铰链 压电陶瓷 控制系统
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新结构药品输送压电泵的泵送特性 被引量:11
5
作者 阚君武 杨志刚 +1 位作者 唐可洪 程光明 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 2004年第2期297-301,共5页
提出了一种新式的双压电薄膜驱动串联压电泵 ,并对其输出性能进行了试验研究。压电泵采用多层粘结的圆片结构 ,包括 PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯 )泵体、两个独立驱动的压电薄膜驱动器和三个弹性薄膜阀片。两个压电薄膜驱动器交叉工作 (即驱... 提出了一种新式的双压电薄膜驱动串联压电泵 ,并对其输出性能进行了试验研究。压电泵采用多层粘结的圆片结构 ,包括 PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯 )泵体、两个独立驱动的压电薄膜驱动器和三个弹性薄膜阀片。两个压电薄膜驱动器交叉工作 (即驱动相位相差 180°) ,相当于两个独立的单腔体泵串联工作 ,使该泵具有较高的输出压力和流量。泵的输出性能取决于压电薄膜几何参数。利用厚度 0 .18m m、直径 5 0 mm的压电薄膜制作的试验样机能以两种不同的方式工作 :直接输液 (药液流经泵腔 )和间接输液 (药液不经过泵腔 ,利用空气压力使密封容器内流体输出 )。两种工作方式的频率响应特性差别很大 ,间接输液的高频性能好 ,而直接输液的低频性能好。在驱动电压 80 v、频率为 2 0 Hz时 ,实际测得间接 /直接输液的最大流量分别为 2 2 0、35 ml/ m in,最大出口压力分别为 14、2 1KPa。 展开更多
关键词 药品输送 压电泵 压电薄膜驱动 工作方式
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微型药品输送压电泵的性能分析与试验研究 被引量:9
6
作者 阚君武 宣明 +3 位作者 杨志刚 吴一辉 吴博达 程光明 《生物医学工程学杂志》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期809-813,共5页
微系统(泵)给药易于控制药品释放速度,进而提高药物疗效。研制了一种微型薄膜阀压电驱动微型泵,适用于内置式或便携式药品输送系统。分析压电振子及阀片动态特性的影响因素,给出了薄膜阀片谐振频率的计算方法。分析结果表明,阀和压电振... 微系统(泵)给药易于控制药品释放速度,进而提高药物疗效。研制了一种微型薄膜阀压电驱动微型泵,适用于内置式或便携式药品输送系统。分析压电振子及阀片动态特性的影响因素,给出了薄膜阀片谐振频率的计算方法。分析结果表明,阀和压电振子的耦合作用决定了压电泵的输出特性,对于确定的压电振子,通过阀片设计可提高压电泵的最佳工作频率和输出能力。制作了阀片尺寸不同的两个微型压电泵,进行了对比试验。小阀片微型压电泵输出的能力及最佳工作频率较高,且有两个最佳工作频率段(800Hz和3000Hz),输出流量和压力分别为3.5ml/min和27KPa;大阀片压电泵的输出能力和最佳工作频率相对较低,只有一个最佳工作频率点(200Hz左右),输出流量和压力分别为3.0ml/min和9.5KPa。这说明通过阀片的设计可提高药用微型压电泵的最佳工作频率及输出能力、减小输出脉动,以往认为有阀压电泵只能在低频状态工作的观点是错误的。 展开更多
关键词 药品输送压电泵 技术性能 性能试验 工作频率 薄膜阀
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基于惯性-摩擦驱动的球基微驱动器逆转现象分析 被引量:9
7
作者 孙立宁 陈海初 +1 位作者 李满天 齐毓霖 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期480-483,共4页
在压电陶瓷等效电学模型的基础上,结合外加驱动信号波形分析了基于惯性-摩擦驱动的球基微驱动器在工作过程中金属球产生逆转现象的原因,建立了金属球的转速及位移模型,采用快速放电回路和加速压电陶瓷放电的方法减小金属球的逆转位移及... 在压电陶瓷等效电学模型的基础上,结合外加驱动信号波形分析了基于惯性-摩擦驱动的球基微驱动器在工作过程中金属球产生逆转现象的原因,建立了金属球的转速及位移模型,采用快速放电回路和加速压电陶瓷放电的方法减小金属球的逆转位移及振动;利用压电陶瓷管作为微驱动元件,设计了基于惯性-摩擦驱动的球基微驱动器,并采用不同频率的三角波信号对所设计微驱动器进行试验测试.结果表明:驱动信号频率越高,微驱动器的振动现象越明显;当驱动信号频率接近、等于或大于微驱动元件(压电陶瓷管)的固有放电周期时,金属球出现无规律运动,导致微驱动器失效;根据1 H z低频信号时的试验结果与计算所得结果基本吻合,证明了所建立的逆转理论模型的合理性. 展开更多
关键词 微驱动器 压电陶瓷管 惯性-摩擦驱动 逆转
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Inner damage identification and residual strength assessment of a 3D printed tunnel with marble-like cementitious materials using piezoelectric transducers
8
作者 Guowei Ma Chen Huang Junfei Zhang 《Journal of Rock Mechanics and Geotechnical Engineering》 SCIE CSCD 2023年第4期838-851,共14页
Quantitative damage identification of surrounding rock is important to assess the current condition and residual strength of underground tunnels.In this work,an underground tunnel model with marble-like cementitious m... Quantitative damage identification of surrounding rock is important to assess the current condition and residual strength of underground tunnels.In this work,an underground tunnel model with marble-like cementitious materials was first fabricated using the three-dimensional(3D)printing technique and then loaded to simulate its failure mode in the laboratory.Lead zirconate titanate piezoelectric(PZT)transducers were embedded in the surrounding rock around the tunnel in the process of 3D printing.A 3D monitoring network was formed to locate damage areas and evaluate damage extent during loading.Results show that as the load increased,main cracks firstly appeared above the tunnel roof and below the floor,and then they coalesced into the tunnel boundary.Finally,the tunnel model was broken into several parts.The resonant frequency and the peak of the conductance signature firstly shifted rightwards with loading due to the sealing of microcracks,and then shifted backwards after new cracks appeared.An overall increase in the root-mean-square deviation(RMSD)calculated from conductance signatures of all the PZT transducers was observed as the load(damage)increased.Damage-dependent equivalent stiffness parameters(ESPs)were calculated from the real and imaginary signatures of each PZT at different damage states.Satisfactory agreement between equivalent and experimental ESP values was achieved.Also,the relationship between the change of the ESP and the residual strength was obtained.The method paves the way for damage identification and residual strength estimation of other 3D printed structures in civil engineering. 展开更多
关键词 piezoelectric(pzt)transducers Three-dimensional(3D)printed tunnel Electro-mechanical impedance(EMI) method Equivalent stiffness parameter(ESP) Residual strength
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双连杆柔性机械臂的主动控制 被引量:3
9
作者 杜欣 蔡国平 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1248-1253,共6页
对柔性双连杆机械臂位置的主动控制进行研究,给出系统的动力学方程,采用非线性解耦反馈控制方法分别得出系统大范围运动方程和柔性臂的动力学方程,并采用机械臂逆动力学方法和LQR方法分别设计大范围运动控制律和压电作动器控制律.仿真... 对柔性双连杆机械臂位置的主动控制进行研究,给出系统的动力学方程,采用非线性解耦反馈控制方法分别得出系统大范围运动方程和柔性臂的动力学方程,并采用机械臂逆动力学方法和LQR方法分别设计大范围运动控制律和压电作动器控制律.仿真结果表明,该控制方法能够有效地控制机械臂到达的指定位置,并且抑制柔性臂的弹性振动. 展开更多
关键词 双连杆柔性机械臂 压电作动器 主动控制
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压电悬臂梁式微型电场传感器的设计与制备 被引量:3
10
作者 冯可 佟建华 +2 位作者 王宇 方东明 夏善红 《科学技术与工程》 北大核心 2015年第8期90-94,共5页
提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同... 提出并研制一种新型压电悬臂梁式微型电场传感器,该传感器是基于压电(PZT)薄膜驱动的悬臂梁式微型电场传感器;同时介绍了传感器的工作原理、结构设计、制作工艺以及初步测试结果。该微型电场传感器由多根压电悬臂梁构成,每根悬臂梁能同时具有屏蔽电场和感应电荷功能。对传感器感应电荷的能力进行了计算;并根据计算结果和工艺要求设计了传感器的参数。该微型电场传感器采用微加工技术制作,每根悬臂梁为多层复合结构(Al/Si3N4/Pt/PZT/Pt/Ti/Si O2/Si),其中PZT薄膜采用溶胶-凝胶法制备。测试结果证明,传感器具有良好的响应特性。 展开更多
关键词 电场传感器 压电驱动 pzt
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Design of a long range nano-scale resolution mechanism
11
作者 Shuo Hung CHANG Jen Bon LEE 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第4期250-254,共5页
This paper presents the development of a coarse-fine dual precision positioning stage to achieve long travel range and high accuracy.The fine stage is arranged in series with a coarse stage.The key in the fine stage d... This paper presents the development of a coarse-fine dual precision positioning stage to achieve long travel range and high accuracy.The fine stage is arranged in series with a coarse stage.The key in the fine stage design is the choice of a toggle mechanism for a tight mechanical loop with high stiffness and compactness.We designed the toggle mechanism for reduction of the displacement to suppress signal noises.The performance of the coarse and fine stages was verified with an optical encoder and capacitive sensor,respectively.The measurement results show that the dual mechanism has a travel range of 1 mm and resolution of 30 nm. 展开更多
关键词 Coarse-fine dual stage Nano-scale resolution piezoelectric (pzt) actuator
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低频响应MEMS压电式微型振动发电机
12
作者 安坤 陈东红 +3 位作者 刘立 何剑 丑修建 张文栋 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2015年第11期713-717,728,共6页
利用溶胶-凝胶工艺实现均匀致密压电(PZT)膜与Pt/Ti/SiO2/Si/SiO2晶片良好异质集成制造,结合湿法腐蚀、干法刻蚀、磁控溅射、光刻和剥离等MEMS加工工艺制造了一种"单中心质量块-8悬臂梁"结构的压电式微型振动发电机,实现了振... 利用溶胶-凝胶工艺实现均匀致密压电(PZT)膜与Pt/Ti/SiO2/Si/SiO2晶片良好异质集成制造,结合湿法腐蚀、干法刻蚀、磁控溅射、光刻和剥离等MEMS加工工艺制造了一种"单中心质量块-8悬臂梁"结构的压电式微型振动发电机,实现了振动能向电能的转换。测试结果表明:在谐振频率16 Hz、加速度激励3 g、16个压电敏感单元相串联条件下,器件开路输出交流电压峰峰值最大,为166.40 mV;当加载1.20 MΩ负载时,输出功率最大,为0.73 nW,单位体积的输出功率为37.27 nW/cm3,压电敏感单元有效单位面积下的输出功率为0.26 nW/cm2。 展开更多
关键词 低频响应 微型振动发电机 pzt 输出功率 溶胶-凝胶
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导光板模具精密撞点机刀架装置的研制 被引量:1
13
作者 付贵 李克天 +1 位作者 李啟定 李海民 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2017年第1期100-104,共5页
刀架装置是导光板模具精密撞点机的关键部件,设计了一款利用压电陶瓷提供动力、柔性铰链作为支撑的刀架装置。用理论计算和有限元分析方法对柔性铰链进行了分析优化。对加工后刀架装置进行了测试,最大运动行程为40μm,在0~35μm的行程... 刀架装置是导光板模具精密撞点机的关键部件,设计了一款利用压电陶瓷提供动力、柔性铰链作为支撑的刀架装置。用理论计算和有限元分析方法对柔性铰链进行了分析优化。对加工后刀架装置进行了测试,最大运动行程为40μm,在0~35μm的行程范围内运动频响超过80Hz。撞点实验中加工出直径为40μm的点阵,加工精度为±0.2μm。 展开更多
关键词 导光板 压电陶瓷 柔性铰链 有限元分析
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复杂封闭空间有源消声压电陶瓷片位置的优化 被引量:1
14
作者 王晓峰 饶柱石 耿厚才 《电声技术》 北大核心 2002年第1期7-10,共4页
分析了复杂封闭空间有源消声过程中压电陶瓷作动器的位置优化问题,通过建立复杂封闭空间的系统模型,以单对压电陶瓷片在板中心局部杂声场为例,提出了局部目标的控制函数。经过位置优化,在不同扰动频率下都可得到良好的消声效果。
关键词 复杂封闭空间 压电陶瓷 位置优化 有源消声
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添加剂对锆钛酸铅二元系压电陶瓷性能的影响
15
作者 诸爱珍 《陶瓷科学与艺术》 CAS 2004年第4期16-19,共4页
对添加剂按电价进行了分类,讨论了各类添加剂对锆钛酸铅二元系压电陶瓷性能的影响,分析了各类添加剂能对锆钛酸铅二元系压电陶瓷进行改性的原因。研究表明各种添加剂的加入量都有一个适宜的范围。
关键词 添加剂 锆钛酸铅二元系 压电陶瓷 性能 改性 加入量
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基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究 被引量:18
16
作者 孙立宁 荣伟彬 +3 位作者 曲东升 高振国 楼朝飞 蔡鹤皋 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第6期514-518,共5页
根据仿生学原理 ,采用分立式布局 ,研制出大行程高分辨率旋转微驱动器。该微驱动器采用电磁铁箝位、压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式 ,实现了光学镜面的二维微调整操作。实验表明 ,该微驱动器具有分辨率高、行程大、步距可变等特点 ,... 根据仿生学原理 ,采用分立式布局 ,研制出大行程高分辨率旋转微驱动器。该微驱动器采用电磁铁箝位、压电陶瓷驱动的爬行式步进机构形式 ,实现了光学镜面的二维微调整操作。实验表明 ,该微驱动器具有分辨率高、行程大、步距可变等特点 ,也适用于其它微操作中大行程高分辨率的旋转驱动。 展开更多
关键词 微操作 微驱动 仿生型旋转微驱动器 电磁铁箝位 压电陶瓷 机器人
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压电陶瓷驱动的超精密快刀伺服系统的设计与研制 被引量:20
17
作者 戴一帆 杨海宽 +2 位作者 王贵林 杨帆 吴宇列 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第22期2717-2721,共5页
以压电陶瓷和柔性铰链作为驱动平台,系统地研究了面向快速车削加工的刀具伺服装置的设计、运动建模与研制方法。测试结果表明,研制的快刀伺服装置定位误差为7.7nm,重复定位误差为4.4nm,线性度优于0.145%,运动距离为39.0μm时响应频率达... 以压电陶瓷和柔性铰链作为驱动平台,系统地研究了面向快速车削加工的刀具伺服装置的设计、运动建模与研制方法。测试结果表明,研制的快刀伺服装置定位误差为7.7nm,重复定位误差为4.4nm,线性度优于0.145%,运动距离为39.0μm时响应频率达到了218Hz,能够满足复杂面形零件或结构的超精密快速车削加工要求,为以后该快刀系统在实际加工中更广范围的应用研究打下了基础。 展开更多
关键词 快刀伺服 复杂面形 压电陶瓷 柔性铰链
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新型光纤CO气体传感器的研究 被引量:14
18
作者 张景超 刘瑾 +1 位作者 王玉田 杨海马 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期428-431,共4页
基于CO气体近红外吸收的机理,研究了一种光谱吸收型光纤CO气体传感器。通过光纤光栅和压电陶瓷(PZT)对宽带光源LED进行波长调制,获得窄带反射出射光,检测其二次谐波,实现CO气体的较高灵敏度测量。利用二次谐波与光纤光栅透射光强的比值... 基于CO气体近红外吸收的机理,研究了一种光谱吸收型光纤CO气体传感器。通过光纤光栅和压电陶瓷(PZT)对宽带光源LED进行波长调制,获得窄带反射出射光,检测其二次谐波,实现CO气体的较高灵敏度测量。利用二次谐波与光纤光栅透射光强的比值来消除光路干扰。建立了谐波检测的数学模型,给出了CO气体的测量结果。实验表明,该仪器的检测灵敏度可达到0.2×10-6。 展开更多
关键词 光纤CO气体传感器 一氧化碳 光谱吸收型 压电陶瓷 调制 谐波检测
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基于动态模糊系统模型的压电陶瓷驱动器控制 被引量:18
19
作者 李朋志 葛川 +3 位作者 苏志德 闫丰 隋永新 杨怀江 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期394-399,共6页
针对压电陶瓷驱动器(PZT)的迟滞非线性对周期性超精密跟踪精度的影响,对基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊规则的动态模糊系统(DFS)前馈+PI控制方法进行了研究。介绍了DFS模型前提部分和结论部分的辨识方法;结合直接逆模型控制和迭代学习控... 针对压电陶瓷驱动器(PZT)的迟滞非线性对周期性超精密跟踪精度的影响,对基于Takagi-Sugeno(T-S)型模糊规则的动态模糊系统(DFS)前馈+PI控制方法进行了研究。介绍了DFS模型前提部分和结论部分的辨识方法;结合直接逆模型控制和迭代学习控制的思想,提出了周期性轨迹跟踪的DFS前馈+PI控制方法。最后,针对20Hz的三角波和正弦波期望轨迹进行了跟踪控制实验。实验结果表明:提出的控制方法对三角波和正弦波期望轨迹的最大跟踪误差分别为0.25%和0.27%,相对于PI控制,跟踪精度分别提高了52倍和64倍,而最大跟踪绝对误差分别降低到5.1nm和5.5nm。结果显示这种控制方法易于实现,周期性轨迹跟踪精度高。 展开更多
关键词 压电陶瓷驱动器(pzt) 迟滞 动态模糊系统 前馈 轨迹跟踪
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垂直摆倾斜仪灵敏度标定方法研究 被引量:11
20
作者 施志龙 吴书朝 《测绘科学》 CSCD 北大核心 2007年第4期63-64,共2页
采用精度高达4.8×10-8rad的自准直仪作为倾斜标定基准,我们首次提出并实现了利用压电陶瓷(PZT)和自准直仪联合标定高精度垂直摆倾斜仪的方法。这是一种直接标定方法,并综合利用了PZT和自准直仪的优点:PZT直接让倾斜仪产生一个倾斜... 采用精度高达4.8×10-8rad的自准直仪作为倾斜标定基准,我们首次提出并实现了利用压电陶瓷(PZT)和自准直仪联合标定高精度垂直摆倾斜仪的方法。这是一种直接标定方法,并综合利用了PZT和自准直仪的优点:PZT直接让倾斜仪产生一个倾斜变化,同时用自准直仪直接测量这一倾斜变化又克服了PZT压电系数不准确的缺点。与间接标定方法相比,由于减少了中间参数的转换,因而其标定结果更加可信。 展开更多
关键词 倾斜仪 灵敏度 标定 压电陶瓷(pzt) 自准直仪
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