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(Pb_(0.5)Sr_(0.5))TiO_3薄膜的表面化学态研究
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作者 李群 熊惠芳 唐新桂 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期1973-1975,共3页
用溶胶-凝胶法制备(Pb0.5Sr0.5)TiO3(简称PST)前驱体溶液,以三水醋酸铅、醋酸锶、钛酸丁酯为原料,乙二醇甲醚、去离子水、乙酰丙酮做溶剂,通过旋涂工艺在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉积PST薄膜。薄膜经320~380℃热分解,再经650℃退火30m... 用溶胶-凝胶法制备(Pb0.5Sr0.5)TiO3(简称PST)前驱体溶液,以三水醋酸铅、醋酸锶、钛酸丁酯为原料,乙二醇甲醚、去离子水、乙酰丙酮做溶剂,通过旋涂工艺在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉积PST薄膜。薄膜经320~380℃热分解,再经650℃退火30min,得到晶化好的薄膜样品,X射线衍射结果表明PST薄膜为钙钛矿立方相结构,其晶格常数为a=0.3919nm。用原子力显微镜观测其表面形貌,薄膜平均晶粒尺寸为300nm。用XPS测量了650℃退火PST薄膜样品的表面化学态,结果表明表面富铅,接近表面区域的原子比率Pb∶Sr∶Ti∶O是0.52∶0.50∶1.0∶3.02,接近(Pb0.5Sr0.5)TiO3的理想配比。 展开更多
关键词 pb1-xsrxtio3薄膜 溶胶-凝胶法 石英基片 结构 光学特性 吸收边
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