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铅离子注入对玻璃表面ITO膜性能的影响 被引量:1
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作者 姜妍彦 满金仓 +3 位作者 刘洪珠 王承遇 史维东 刘振民 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期66-68,共3页
采用离子注入技术将铅离子注入到ITO薄膜玻璃中,用分光光度计、四探针测试仪、硬度计等测定了ITO膜注入前后的光学性能、电学性能、机械性能和化学德定性。结果表明注入后光学、电学性能有所下降,而机械性能和化学稳定性有明显提高。这... 采用离子注入技术将铅离子注入到ITO薄膜玻璃中,用分光光度计、四探针测试仪、硬度计等测定了ITO膜注入前后的光学性能、电学性能、机械性能和化学德定性。结果表明注入后光学、电学性能有所下降,而机械性能和化学稳定性有明显提高。这说明离子注入提高了ITO薄膜玻璃的耐磨损性和在有腐蚀性气氛下的稳定性。 展开更多
关键词 铅离子注入 ITO膜 性能 镀膜玻璃
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