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超音速等离子喷涂PZT涂层及其表征 被引量：8
1
作者 顾林松 李国禄 +2 位作者 王海斗 邢志国 徐滨士 《粉末冶金材料科学与工程》 EI 北大核心 2013年第4期560-565,共6页
采用超音速等离子喷涂法在45#钢片表面制备PZT(锆钛酸铅)陶瓷涂层,用扫描电镜(SEM)、共聚焦激光扫描显微镜(LEXT)、X射线衍射(XRD)、光电子能谱分析(XPS)和显微硬度仪对涂层的微观结构、成分和常规力学性能进行分析。结果表明:超音速等... 采用超音速等离子喷涂法在45#钢片表面制备PZT(锆钛酸铅)陶瓷涂层,用扫描电镜(SEM)、共聚焦激光扫描显微镜(LEXT)、X射线衍射(XRD)、光电子能谱分析(XPS)和显微硬度仪对涂层的微观结构、成分和常规力学性能进行分析。结果表明:超音速等离子喷涂的PZT陶瓷涂层具有典型的层状结构,结构致密,涂层表面平整,气孔率低(1.6%),喷涂过程中PZT只有少量分解,涂层平均显微硬度为568.9 HV,涂层与基体结合良好,具备了制备智能压电陶瓷涂层以及在实际工况下应用的必要条件。 展开更多
关键词 超音速等离子 pzt（锆钛酸铅） 涂层 性能
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压电微能量采集器PZT厚膜制备及其图形化研究 被引量：1
2
作者 唐刚 刘景全 +2 位作者 杨春生 柳和生 李以贵 《真空》 CAS 北大核心 2011年第2期19-21,共3页
采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术,通过湿法... 采用环氧树脂作为中间层的真空键合技术实现体材PZT与硅片键合,再利用机械化学抛光方法将PZT减薄到适当的厚度制备了PZT铁电厚膜,构成了SiO2/Si/SiO2/Epoxy/Ag/PZT/Cr/Cu形式的压电能量采集器悬臂梁结构。基于半导体光刻技术,通过湿法化学刻蚀和切片两种方法实现了PZT厚膜图形化问题,为基于体材PZT厚膜的高性能压电能量采集器的研制打下了良好的基础。 展开更多
关键词 压电能量采集器 真空键合 pzt(锆钛酸铅)厚膜 湿法化学刻蚀 振动
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悬臂梁结构的压电式微型振动发电装置电能输出特性的解析推导
3
作者 陈璞 《集成电路通讯》 2011年第2期49-52,共4页
利用压电效应的原理，提出了一种悬臂梁结构的微型振动发电装置的设计形式。又根据材料的弹性理论和振动理论，对悬臂梁结构的压电式微型振动发电装置的电能输出特性（包括：电荷量、电压和输出电能）进行解析计算与推导，得出器件受到... 利用压电效应的原理，提出了一种悬臂梁结构的微型振动发电装置的设计形式。又根据材料的弹性理论和振动理论，对悬臂梁结构的压电式微型振动发电装置的电能输出特性（包括：电荷量、电压和输出电能）进行解析计算与推导，得出器件受到外界激励（力）作用时，相应电能输出特性表征量的解析表达式。 展开更多
关键词 压电效应 电偶极距pzt(锆钛酸铅) 复合压电悬臂梁 欧拉-伯努利方法
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