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磁控溅射法制备的PZT非晶薄膜光学性质研究 被引量：1
1
作者 胡志高 赖珍荃 +3 位作者 黄志明 王根水 石富文 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期181-184,188,共5页
采用磁控溅射方法在石英玻璃上制备了PbZrxTi1-xO3 (PZT) (x =0 .5 2 )非晶薄膜 ,并测量了 2 0 0～ 110 0nm的紫外 可见 近红外透射光谱 .基于薄膜的结构和多层结构的透射关系 ,发展了仅有 6个拟合参数的光学常数计算模型 .利用该模... 采用磁控溅射方法在石英玻璃上制备了PbZrxTi1-xO3 (PZT) (x =0 .5 2 )非晶薄膜 ,并测量了 2 0 0～ 110 0nm的紫外 可见 近红外透射光谱 .基于薄膜的结构和多层结构的透射关系 ,发展了仅有 6个拟合参数的光学常数计算模型 .利用该模型 ,可以同时获得薄膜在宽波段范围内的光学常数和厚度 ,得到折射率的最大值为 2 .6 8,消光系数的最大值为 0 .5 6 2 ,拟合薄膜厚度为 318.1nm .根据Tauc′s法则 ,得到PZT非晶薄膜的直接禁带宽度为 3.75eV .最后 。 展开更多
关键词 磁控溅射法 pzt非晶薄膜 禁带宽度 折射率 透射率 消光系数
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PbZr_(0.40)Ti_(0.60)O_3非晶薄膜透射光谱性质研究
2
作者 胡志高 王根水 +4 位作者 黄志明 孟祥建 赵强 石富文 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期203-207,共5页
采用溶胶凝胶方法在石英玻璃上制备了均匀透明的PbZr0 .40 Ti0 .60 O3 (PZT)非晶薄膜 ,测量了 2 0 0～ 110 0nm的紫外可见近红外透射光谱 .根据经典的包络计算方法 ,同时获得薄膜在透明振荡区的折射率 ,消光系数以及厚度 .薄膜的折射率... 采用溶胶凝胶方法在石英玻璃上制备了均匀透明的PbZr0 .40 Ti0 .60 O3 (PZT)非晶薄膜 ,测量了 2 0 0～ 110 0nm的紫外可见近红外透射光谱 .根据经典的包络计算方法 ,同时获得薄膜在透明振荡区的折射率 ,消光系数以及厚度 .薄膜的折射率色散关系可以通过单电子sellmeier振荡模型成功地进行解释 .最后 ,根据Tauc’s法则 ,得到PbZr0 .40 Ti0 .60O3 非晶薄膜的禁带宽度为 3.78eV . 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 pzt非晶薄膜 光学常数 禁带宽度 折射率 色散关系 铁电薄膜
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