-
题名抗振型移相干涉仪中PZT移相器的改进
被引量：4
- 1
-
-
作者
吴栋
朱日宏
陈磊
何勇
王青
高志山
-
机构
南京理工大学电光学院
-
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第6期567-571,共5页
-
基金
国防军工计量"十五"重点项目资助(No.60803134)
-
文摘
结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量。作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动补偿器。经移相干涉仪的在线测量,PZT移相器达到了1000Hz(振动幅度为λ/2)以上的时间响应速度并获得了6μm左右的位移量,满足了干涉抗振系统的需要。
-
关键词
移相干涉术
主动抗振
pzt移相器
时间响应
位移
抗振型移相干涉仪
-
Keywords
phase-shifting interferometry
active vibration resistance
pzt phase shifter
time response
displacement
-
分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
-
-
题名移相器微位移旋转误差的分析及测试
被引量：1
- 2
-
-
作者
武旭华
陈磊
颜加军
-
机构
南京理工大学电光学院
-
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期919-923,共5页
-
基金
国防军工计量"十五"重点项目资助(60803134)
-
文摘
以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果·用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时,不需要使用任何移相器件,可以进行动态位相的检测,整个移相过程用计算机进行控制,避免了引入额外的移相误差·
-
关键词
移相干涉术
虚光栅叠栅条纹法
pzt移相器
-
Keywords
Phase shifting interferometry （PSI）
Virtual grating moire fringe method
pzt phase shifter
-
分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
-
-
题名基于LMS算法的移相干涉仪环境振动控制器
- 3
-
-
作者
吴栋
陈磊
朱日宏
-
机构
镇江船艇学院自动化教研室
南京理工大学电子工程与光学技术学院
-
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期127-131,共5页
-
基金
国防军工计量"十五"计划重点资助项目(J1820010002)
-
文摘
环境振动严重影响移相干涉测量的过程。在运用光学外差法测得移相干涉仪环境振动信号的前提下,设计了采用高速DSP芯片的振动控制器,它对电压形式的振动信号进行采样,用自适应LMS算法分析振动信号,同时输出反馈控制信号。反馈控制信号驱动PZT光学移相器对振动引起的光程差(或波前相位)变化进行实时补偿。通过这种闭环控制,系统能够对幅频积小于100waves*Hz的环境振动进行有效补偿,实验中获得了稳定的移相干涉条纹,保证了光学测试的正确性。
-
关键词
光学测试
移相干涉仪
环境振动
振动控制器
自适应LMS算法
pzt移相器
-
Keywords
Optical testing
Phase-shifting interferometer
Environmental vibration
Vibration controller
Adaptive LMS algorithm
pzt phase shifter
-
分类号
TN247
[电子电信—物理电子学]
-
