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P沟道恒流二极管的电流扩展方法
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作者 鲁冬梅 刘桥 +1 位作者 杨发顺 陈睿 《贵州大学学报（自然科学版）》 2015年第2期47-49,共3页
介绍了P沟道恒流二极管和NPN双极型晶体管的工艺制作,采用PN结隔离技术实现隔离,巧妙地将集电极、发射极和恒流二极管沟道区同时制作,得到兼容后的结构,并对兼容结构进行了特性仿真。介绍了工艺流程,讨论了沟道长度、沟道厚度、沟道杂... 介绍了P沟道恒流二极管和NPN双极型晶体管的工艺制作,采用PN结隔离技术实现隔离,巧妙地将集电极、发射极和恒流二极管沟道区同时制作,得到兼容后的结构,并对兼容结构进行了特性仿真。介绍了工艺流程,讨论了沟道长度、沟道厚度、沟道杂质浓度、基区宽度等结构参数对器件特性的影响。并用该兼容工艺将P沟道恒流二极管的恒定电流值放大了73倍。 展开更多
关键词 p沟道恒流二极管 电流扩展 沟道长度 沟道厚度 沟道杂质浓度 基区宽度
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