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用于GaN CMOS集成技术的p型GaN欧姆接触研究
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作者 潘传奇 王登贵 +5 位作者 周建军 胡壮壮 严张哲 郁鑫鑫 李忠辉 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS 2024年第3期196-200,251,共6页
通过金属叠层结构、蒸发-合金工艺条件的优化调整,实现了低接触电阻率、高稳定的p型GaN欧姆接触技术,并研究分析了电极金属在合金过程中的扩散行为。测试结果显示,改进后的p型GaN欧姆接触电阻为11.9Ω·mm,比导通电阻率为3.9×1... 通过金属叠层结构、蒸发-合金工艺条件的优化调整,实现了低接触电阻率、高稳定的p型GaN欧姆接触技术,并研究分析了电极金属在合金过程中的扩散行为。测试结果显示,改进后的p型GaN欧姆接触电阻为11.9Ω·mm,比导通电阻率为3.9×10^(-5)Ω·cm^(2),同时在250℃以内的高温环境中欧姆特性不会发生退化。在此基础上,采用低损伤凹槽栅刻蚀、叠层栅介质沉积等工艺研制出增强型p沟道GaN晶体管器件,器件的阈值电压为-1.2 V(V_(GS)=VDS,IDS=10μA/mm),漏极电流密度为-5.6 mA/mm,导通电阻为665Ω·mm(V_(GS)=-8 V,V_(DS)=-2 V)。优异的p型GaN欧姆接触技术为高性能GaN p沟道器件的研制以及GaN CMOS集成技术的小型化、智能化、高速化发展奠定了重要基础。 展开更多
关键词 gan CMOS pgan p沟道器件 欧姆接触 低接触电阻
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高掺杂低位错p型GaN材料生长研究
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作者 高楠 房玉龙 +4 位作者 王波 韩颖 张志荣 尹甲运 刘超 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第8期702-707,共6页
对采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在SiC衬底上生长的p型GaN材料进行了研究。p型GaN材料通常采用Mg掺杂来实现,但Mg有效掺杂量的增加会导致材料的空穴浓度提高,表面粗糙度变大、位错密度增加。采用Delta掺杂方式,在Cp_(2)Mg通入量一... 对采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在SiC衬底上生长的p型GaN材料进行了研究。p型GaN材料通常采用Mg掺杂来实现,但Mg有效掺杂量的增加会导致材料的空穴浓度提高,表面粗糙度变大、位错密度增加。采用Delta掺杂方式,在Cp_(2)Mg通入量一定的情况下,通过对温度、压力以及Delta掺杂过程中TMGa通入时间的调控实现了对p型GaN材料掺杂浓度与表面粗糙度和位错密度之间的平衡优化。结果显示,生长温度1150℃、生长压力400 mbar(1 mbar=100 Pa)、TMGa通入时间40 s的样品均方根表面粗糙度为0.643 nm,(002)晶面半高宽(FWHM)为176.8 arcsec,空穴迁移率为11.8 cm^(2)/(V·s),空穴浓度为1.02×10^(18)cm^(-3),实现了电学性能与晶体质量的平衡。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积(MOCVD) Delta掺杂 pgan 空穴浓度 半高宽(FWHM)
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Temperature-Dependent Raman Scattering of Phonon Modes and Defect Modes in GaN and p-Type GaN Films
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作者 王瑞敏 陈光德 +1 位作者 Lin J Y Jang H X 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期635-640,共6页
Raman spectra of undoped GaN and Mg-doped GaN films grown by metal-organic chemical-vapor deposition on sapphire are investigated between 78 and 573K.A peak at 247cm -1 is observed in both Raman spectra of GaN and Mg-... Raman spectra of undoped GaN and Mg-doped GaN films grown by metal-organic chemical-vapor deposition on sapphire are investigated between 78 and 573K.A peak at 247cm -1 is observed in both Raman spectra of GaN and Mg-doped GaN.It is suggested that the defect-induced scattering is origin of the mode.The electronic Raman scattering mechanism and Mg-related local vibrational mode are excluded.Furthermore,the differences of E_2 and A_1(LO) modes in two samples are also discussed.The stress relaxation is observed in Mg-doped GaN. 展开更多
关键词 gan p-type gan Raman scattering defect modes
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低源流量Delta掺杂p型GaN外延薄膜的研究 被引量:2
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作者 王凯 邢艳辉 +4 位作者 韩军 赵康康 郭立建 于保宁 李影智 《半导体光电》 CAS 北大核心 2016年第2期229-231,237,共4页
利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了GaN∶Mg薄膜。首先,对Delta掺杂p型GaN的掺杂源流量进行优化研究,研究发现在较低46cm^3/min的CP_2Mg源流量下,晶体质量和导电性能都有所改善,获得了较高空穴浓度,为8.73×... 利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上制备了GaN∶Mg薄膜。首先,对Delta掺杂p型GaN的掺杂源流量进行优化研究,研究发现在较低46cm^3/min的CP_2Mg源流量下,晶体质量和导电性能都有所改善,获得了较高空穴浓度,为8.73×10^(17) cm^(-3),(002)和(102)面FWHM分别为245和316arcsec。随后,采用XRD、Hall测试、PL以及AFM研究了在生长过程中加入生长停顿对Delta掺杂p型GaN材料特性的影响,发现加入生长停顿后,样品电学特性、光学特性和晶体质量并未得到改善,反而下降。 展开更多
关键词 薄膜 pgan Delta掺杂 低源流量 金属有机物化学气相沉积
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p型GaN的渐变δ掺杂研究 被引量:2
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作者 邹泽亚 刘挺 +4 位作者 王振 赵红 赵文伯 罗木昌 杨谟华 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期825-828,共4页
采用MOCVD技术及渐变-δMg掺杂方法生长了p型GaN薄膜,对样品进行了两步退火处理以对Mg进行激活。通过Hall测试发现,经过950℃下的第一次退火后,样品空穴浓度为1.64×1016cm-3,电阻率为77.9Ω.cm。经过750℃下的第二次退火后,样品的... 采用MOCVD技术及渐变-δMg掺杂方法生长了p型GaN薄膜,对样品进行了两步退火处理以对Mg进行激活。通过Hall测试发现,经过950℃下的第一次退火后,样品空穴浓度为1.64×1016cm-3,电阻率为77.9Ω.cm。经过750℃下的第二次退火后,样品的空穴浓度增大了10倍,电阻率减小为原来的1/20。分析认为,渐变δ掺杂减小了Mg的自补偿效应,两步退火提高了Mg的激活效率,从而显著提高了样品的空穴浓度和降低了电阻率。实验还发现,经过750℃下15 min的第二次退火后得到的样品的空穴浓度最大,达5.13×1017cm-3。 展开更多
关键词 渐变δ掺杂 Mg掺杂 pgan 两步退火 MOCVD
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Ni层厚度对p-GaN/Ni/Au欧姆接触特性的影响 被引量:2
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作者 周勋 罗木昌 +1 位作者 赵文伯 黄烈云 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2014年第5期850-854,共5页
对p-GaN/Ni/Au欧姆接触特性与Ni金属层厚度之间的相关性进行了对比实验研究,利用XRD衍射结果与表面金相显微分析手段对Ni/Au双层金属电极在合金退火过程中的行为特性进行了细致探讨。分析结果表明:在Ni/Au电极结构中,由双层互扩散机制与... 对p-GaN/Ni/Au欧姆接触特性与Ni金属层厚度之间的相关性进行了对比实验研究,利用XRD衍射结果与表面金相显微分析手段对Ni/Au双层金属电极在合金退火过程中的行为特性进行了细致探讨。分析结果表明:在Ni/Au电极结构中,由双层互扩散机制与NiO氧化反应机理决定,Ni层与Au层之间的厚度比率对p型GaN欧姆接触特性的优劣有重要影响,在Ni、Au层厚度相当时可获得最佳的p型欧姆接触。 展开更多
关键词 pgan 欧姆接触 Ni/Au电极 Ni层厚度
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Pd/p-GaN欧姆接触退化机理 被引量:1
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作者 张帆 王荣新 +3 位作者 黄思溢 田爱琴 刘建平 杨辉 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第7期1065-1073,共9页
近几年,Ⅲ-Ⅴ族半导体GaN由于其宽直接带隙,在高温、高功率器件方面得到了广泛研究。但是,目前GaN器件的性能依然受到了p型欧姆接触性能不良的限制,在长期使用过程或高温环境中激光器等器件性能退化严重。因此,获得性能优异的p-GaN接触... 近几年,Ⅲ-Ⅴ族半导体GaN由于其宽直接带隙,在高温、高功率器件方面得到了广泛研究。但是,目前GaN器件的性能依然受到了p型欧姆接触性能不良的限制,在长期使用过程或高温环境中激光器等器件性能退化严重。因此,获得性能优异的p-GaN接触仍然是一个巨大的挑战。虽然Pd基的金属体系已然在p-GaN获得了欧姆接触,但是Pd与GaN接触之后的微观结构及其高温特性尚不为人知。本文针对常用于p型GaN接触的第一层金属Pd材料,讨论了Pd/p-GaN接触界面的特性和退化机制。通过四探针测试仪、X射线光电子能谱(XPS)和原子力显微镜(AFM)实验测试和分析对比,发现Pd/p-GaN界面受到氧气和温度影响的退化过程。高温退火在界面处促成Ga-Pd合金相生成利于形成良好的接触,但是在有氧参与的情况下,金属的氧化反应超越其他因素成为主导,致使界面和性能发生明显的退化。温度越高退化越严重,甚至表面形貌状态完全改变,由平滑的原子台阶形貌转化呈现出树枝状晶粒状态。因此,保持Pd与p-GaN界面清洁、控制界面的氧成分不仅是形成合金态获得良好接触的关键,而且也关系着器件的长期稳定和可靠,是防止器件性能衰减和退化要害所在。 展开更多
关键词 pgan 欧姆接触 XpS 界面
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Optical and Electrical Properties of GaN:Mg Grown by MOCVD
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作者 王莉莉 张书明 +1 位作者 杨辉 梁骏吾 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期29-32,共4页
Mg-doped GaN layers prepared by metalorganic chemical vapor deposition were annealed at temperatures between 550 and 950℃. Room temperature (RT) Hall and photoluminescence (PL) spectroscopy measurements were perf... Mg-doped GaN layers prepared by metalorganic chemical vapor deposition were annealed at temperatures between 550 and 950℃. Room temperature (RT) Hall and photoluminescence (PL) spectroscopy measurements were performed on the as-grown and annealed samples. After annealing at 850℃, a high hole concentration of 8 × 10^17 cm^-3 and a resistivity of 0. 8lΩ·cm are obtained. Two dominant defect-related PL emission bands in GaN.. Mg are investigated; the blue band is centered at 2. 8eV (BL) and the ultraviolet emission band is around 3.27eV (UVL). The relative intensity of BL to UVL increases after annealing at 550℃, but decreases when the annealing temperature is raised from 650 to 850℃, and finally increases sharply when the annealing temperature is raised to 950~C. The hole concentration increases with increased Mg doping, and decreases for higher Mg doping concentrations. These results indicate that the difficulties in achieving high hole concentration of 10^18cm^-3 appear to be related not only to hydrogen passivation, but also to self-compensation. 展开更多
关键词 Hall effect pHOTOLUMINESCENCE p-gan
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Optimization and Analysis of Magnesium Doping in MOCVD Grown p-GaN
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作者 张晓敏 王彦杰 +7 位作者 杨子文 廖辉 陈伟华 李丁 李睿 杨志坚 张国义 胡晓东 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1475-1478,共4页
p-type conductivity and crystal quality of Mg-doped GaN grown by MOCVD have been improved through opti- mization of the magnesium flow rate. The hole concentration first increased and then decreased with the magnesium... p-type conductivity and crystal quality of Mg-doped GaN grown by MOCVD have been improved through opti- mization of the magnesium flow rate. The hole concentration first increased and then decreased with the magnesium flow rate while the mobility decreased monotonously. The optimum sample reached a hole concentration of 4. 1×10^17cm -3 and a resistivity of 1Ω·cm. Based on a self-compensation model involving the deep donor Mo, VN, we calculate the hole con- centration as a function of magnesium doping concentration NA ,which indicates that the self-compensation coefficient in- creases with NA;the hole concentration first increases with NA and reaches a maximum at NA≈4×10^19 ,then decreases rapidly as doping concentration increases. XRD also indicate that dislocation density decreased as magnesium flow rate decreased. 展开更多
关键词 p-gan self-compensations magnesium doping MOCVD
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两步合金法制作p-GaN高反电极
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作者 郭德博 梁萌 +3 位作者 范曼宁 刘志强 王良臣 王国宏 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期902-904,共3页
利用两步合金法获得了能与p-GaN形成良好欧姆接触的高反射电极。电极的构成采用透明电极+高反射金属方案,厚的Ag层或Al层覆盖在合金后的Ni/Au上以提高电极的反射率,以Pt和Au作为覆盖层,可有效地防止Ag的氧化和团聚,短时间的热处理有助... 利用两步合金法获得了能与p-GaN形成良好欧姆接触的高反射电极。电极的构成采用透明电极+高反射金属方案,厚的Ag层或Al层覆盖在合金后的Ni/Au上以提高电极的反射率,以Pt和Au作为覆盖层,可有效地防止Ag的氧化和团聚,短时间的热处理有助于Ag基电极反射率的提高。可靠性测试表明Ag基电极的稳定性较好,对于Al基电极,热处理后反射镜上出现暗斑,导致其反射率的下降。最终获得了波长在460nm处反射率为74%的Ag基高反射电极。 展开更多
关键词 pgan 欧姆接触 两步合金法 高反射电极
原文传递
高温AlN模板上p型GaN的生长研究
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作者 刘挺 邹泽亚 +6 位作者 王振 赵红 赵文伯 罗木昌 周勋 杨晓波 廖秀英 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期128-132,共5页
利用低压金属有机物化学气相沉积技术,采用均匀掺杂和渐变Mg-δ掺杂方法,分别在氮化镓(GaN)和高温氮化铝(HT-AlN)模板上,生长了p型GaN外延材料.生长后,双晶X射线衍射和霍尔测试结果表明:HT-AlN模板上采用渐变Mg-δ掺杂方法生长的p型GaN... 利用低压金属有机物化学气相沉积技术,采用均匀掺杂和渐变Mg-δ掺杂方法,分别在氮化镓(GaN)和高温氮化铝(HT-AlN)模板上,生长了p型GaN外延材料.生长后,双晶X射线衍射和霍尔测试结果表明:HT-AlN模板上采用渐变Mg-δ掺杂方法生长的p型GaN材料,具有最好的晶体质量和电学性能.该p型GaN样品的(0002)面半峰宽值小至178″,其空穴氧浓度为5.78×1017cm-3.在对Cp2Mg/TMGa进行了优化试验后,p型GaN的空穴氧浓度被提高到8.03×1017cm-3. 展开更多
关键词 高温A1N 渐变δ掺杂 均匀掺杂 金属有机物化学气相沉积 pgan
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InGaN绿光LED中p型GaN层的优化设计
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作者 郝锐 马学进 +2 位作者 马昆旺 周仕忠 李国强 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期20-24,共5页
InGaN绿光LED的量子阱结构具有较高的In含量,InN与GaN之间较大的晶格失配度使得该结构的稳定性下降。由于量子阱结构生长完成之后的p型GaN的生长温度要远高于量子阱结构生长温度,因此,p型GaN的生长过程对多量子阱质量有重大影响。论文... InGaN绿光LED的量子阱结构具有较高的In含量,InN与GaN之间较大的晶格失配度使得该结构的稳定性下降。由于量子阱结构生长完成之后的p型GaN的生长温度要远高于量子阱结构生长温度,因此,p型GaN的生长过程对多量子阱质量有重大影响。论文探讨了p型GaN的生长温度与厚度对绿光LED的材料结构及器件性能的影响。研究发现,p-GaN过高的生长温度和过大的厚度都能加剧多量子阱结构中In组分的波动,使得发光峰宽化,同时降低绿光量子阱的发光效率。论文据此提出了优化的p型GaN生长温度与厚度,探讨了量子阱保护层对InGaN绿光LED性能的影响,该结构有利于增强绿光LED发光波长的稳定性。 展开更多
关键词 INgan 绿光LED pgan 外延生长 X射线衍射
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以弱p型为有源区的新型p-n结构GaN紫外探测器 被引量:4
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作者 周梅 赵德刚 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期7255-7260,共6页
提出了以弱p型(p--GaN)为有源区的p-n结构GaN紫外探测器.由于弱p型层的载流子浓度较低,很容易增加耗尽区的宽度,从而可以增加器件的量子效率.通过模拟计算,研究了金属与p--GaN层的肖特基接触势垒高度、p--GaN层厚度等参数对器件性能的影... 提出了以弱p型(p--GaN)为有源区的p-n结构GaN紫外探测器.由于弱p型层的载流子浓度较低,很容易增加耗尽区的宽度,从而可以增加器件的量子效率.通过模拟计算,研究了金属与p--GaN层的肖特基接触势垒高度、p--GaN层厚度等参数对器件性能的影响.研究结果表明,降低金属与p--GaN层的接触势垒高度、适当减小p--GaN层厚度能够实现有源层方向单一的内建电场,从而提高器件的量子效率.要制备出具有良好性能的p-n结构紫外探测器,必须减小p--GaN层厚度,降低金属与p--GaN层的接触势垒高度. 展开更多
关键词 pgan 紫外探测器 量子效率
原文传递
HRXRD研究退火时间对Mg掺杂P型GaN薄膜应变状态的影响 被引量:3
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作者 宁宁 熊杰 周勋 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期242-245,共4页
采用低压金属有机化学气相外延(LP-MOCVD)法生长Mg掺杂p型GaN薄膜,利用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术研究不同退火时间对GaN薄膜中外延应变的影响。研究发现应变状态随退火时间变化而发生改变。退火前水平方向为压应变。在小于最佳退火时... 采用低压金属有机化学气相外延(LP-MOCVD)法生长Mg掺杂p型GaN薄膜,利用高分辨X射线衍射(HRXRD)技术研究不同退火时间对GaN薄膜中外延应变的影响。研究发现应变状态随退火时间变化而发生改变。退火前水平方向为压应变。在小于最佳退火时间(15min)的时间范围内进行退火时,由于受杂质Mg在退火过程中热扩散、替位行为引起的晶格畸变以及受主中心与价带之间的电子跃迁引起的电子效应等多种因素的影响,水平应变状态由压应变向张应变转变且随时间增加应变逐渐增强。退火时间增至30min时,由于N空位增多和复合体MgGa-VN的形成以及热应力等因素的多重影响,应变状态转变为压应变。 展开更多
关键词 低压金属有机化学气相外延 高分辨X射线衍射 pgan外延薄膜 外延应变
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MOCVD生长GaN材料p型掺杂最新进展 被引量:2
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作者 赵浙 叶志镇 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第8期4-6,共3页
p型GaN薄膜的实现是发展光电器件的关键工艺。使用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法已经获得实用性的p型掺杂,但是其电学和光学特性都不能让人满意。最近几年在掺杂工艺的改进和掺杂模型的理论研究方面都取得了显著进展。介绍了p型掺... p型GaN薄膜的实现是发展光电器件的关键工艺。使用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法已经获得实用性的p型掺杂,但是其电学和光学特性都不能让人满意。最近几年在掺杂工艺的改进和掺杂模型的理论研究方面都取得了显著进展。介绍了p型掺杂GaN中的自补偿模型、共掺杂工艺的原理和进展、PL谱的性质以及一些新的掺杂工艺。 展开更多
关键词 pgan薄膜 MOCVD p掺杂 光电器件 自补偿模 共掺杂工艺
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p型GaN基器件的欧姆接触 被引量:1
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作者 刘一兵 丁洁 《真空电子技术》 2008年第5期42-46,共5页
宽带隙的GaN具有优良的物理和化学性质,己成为半导体领域研究的热点之一。p型GaN的欧姆接触问题制约了GaN基器件的进-步发展。本文首先介绍了欧姆接触的原理及评价方法,详细讨论了实现良好的p型GaN欧姆接触的主要方法是采取表面处理技... 宽带隙的GaN具有优良的物理和化学性质,己成为半导体领域研究的热点之一。p型GaN的欧姆接触问题制约了GaN基器件的进-步发展。本文首先介绍了欧姆接触的原理及评价方法,详细讨论了实现良好的p型GaN欧姆接触的主要方法是采取表面处理技术、选择合适的金属电极材料和进行热退火处理,以及研究进展情况。最后指出目前存在的问题并提出今后的研究方向。 展开更多
关键词 p氮化镓 欧姆接触 比接触电阻 表面处理 金属电极材料 热退火 pgan基器件
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用Mg离子注入提高p型GaN的空穴浓度(英文)
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作者 杨志坚 龙涛 张国义 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第S1期10-12,共3页
研究了离子注入对金属有机化学气相淀积法生长的Mg掺杂GaN性质的影响。样品在 80 0℃退火 1小时后 ,我们获得了空穴浓度达 8 2 8× 1 0 17cm-3 的 p型GaN。这一结果可以用于GaN基器件的 p型层的欧姆接触。
关键词 空穴浓度 p-gan Mg-注入
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GaN器件辐照效应与LDO电路的单粒子敏感点协同设计研究
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作者 朱峻岩 张优 +4 位作者 王鹏 黄伟 张卫 邱一武 周昕杰 《电子与封装》 2024年第1期61-67,共7页
创新地开展p型栅GaN器件的单粒子辐照与建模研究,提取的单粒子激励电流被加载用于全GaN的低压差线性稳压器(LDO)稳压电路的单粒子设计中,获得了该电路单粒子敏感节点,最终得到该节点在重载状态与轻载状态时对应的单粒子瞬态(SET)响应分... 创新地开展p型栅GaN器件的单粒子辐照与建模研究,提取的单粒子激励电流被加载用于全GaN的低压差线性稳压器(LDO)稳压电路的单粒子设计中,获得了该电路单粒子敏感节点,最终得到该节点在重载状态与轻载状态时对应的单粒子瞬态(SET)响应分别为500 mV/60 ns,1210 mV/60 ns。上述研究建立起GaN器件-全GaN基电路的T-CAD/SPICE单粒子效应协同设计方法。 展开更多
关键词 gan辐照效应 gan LDO 抗辐照加固 pgan器件
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非极性a面p型AlGaN/GaN超晶格MOCVD生长及特性表征
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作者 杨洪权 范艾杰 +1 位作者 史红卫 赵见国 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第10期849-854,共6页
利用铟(In)表面活性剂辅助Mg-δ掺杂技术和金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,在r面蓝宝石衬底上成功生长了高空穴浓度的非极性a面p型Al0.6Ga0.4N/GaN超晶格样品。分别使用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了生长的超晶格样... 利用铟(In)表面活性剂辅助Mg-δ掺杂技术和金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,在r面蓝宝石衬底上成功生长了高空穴浓度的非极性a面p型Al0.6Ga0.4N/GaN超晶格样品。分别使用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)分析了生长的超晶格样品的表面形貌,并使用霍尔效应测试系统在室温下测量了经过电极制作和空气氛围退火处理的超晶格样品的空穴浓度和空穴迁移率。研究结果表明,在MOCVD生长过程中精心优化TMIn摩尔流量可以使该超晶格样品表面的均方根(RMS)粗糙度降低21.4%,同时其空穴浓度增加183.3%。因此,适量地引入In表面活性剂不仅可以明显改善非极性a面p型Al0.6Ga0.4N/GaN超晶格样品的表面形貌,而且能显著增强样品的空穴浓度。 展开更多
关键词 In表面活性剂 非极性 pAlgan/gan超晶格 金属有机化学气相沉积(MOCVD) 表面形貌 空穴浓度 空穴迁移率
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