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题名一种新型单频激光干涉系统的研究
被引量：11
- 1
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作者
韩旭东
艾华
龙科慧
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期49-51,共3页
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文摘
这种单频激光干涉系统采用共光路设计布局,通过偏振分束器以及1/4波长片等光学器件对干涉条纹进行空间移相,提取相位依次相差90°的三路干涉输出信号,进行比较放大,解决了常规单频激光干涉仪中的光强“零漂”问题。利用共模抑制技术,提高了干涉系统的测量稳定性和重复性。采用光程差放大技术,提高了干涉系统的分辨力。
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关键词
单频激光干涉系统
激光干涉仪
偏振光移相
光程差放大
光路设计
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Keywords
Laser interferometers
Polarized light phase-shift
optical path difference doubling
optical path design
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分类号
TH744.3
[机械工程—光学工程]
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题名共光路移相单频激光干涉测长系统
被引量：6
- 2
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作者
韩旭东
艾华
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机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
2004年第2期195-198,共4页
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文摘
单频激光干涉系统采用偏振光移相方法,用来解决常规单频激光干涉仪中的光强"零漂"问题。共光路设计提高了干涉系统的测量稳定性和重复性。采用光程差放大技术提高了干涉系统的分辨力。在构造了一套实验布局的基础上,分析了影响系统测长精度的主要因素,并对干涉系统的测量误差分量做了定量的分析,完成了系统的精度测试。
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关键词
单频激光干涉系统
移相
光程差放大
共光路
单频激光干涉仪
激光测长
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Keywords
phase shifting
optical path difference doubling
common path
precision analysis and determination
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分类号
TH741.1
[机械工程—光学工程]
TH744.3
[机械工程—仪器科学与技术]
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