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VHF-PECVD低温制备微晶硅薄膜的拉曼散射光谱和光发射谱研究 被引量:20
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作者 张晓丹 赵颖 +7 位作者 朱锋 魏长春 吴春亚 高艳涛 侯国付 孙建 耿新华 熊绍珍 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期445-449,共5页
采用拉曼散射光谱和PR6 5 0光谱光度计对VHF PECVD制备的微晶硅薄膜进行了结构表征和在线监测研究 .结果表明 :功率对材料的晶化率 ( χc)有一定的调节作用 ,硅烷浓度大 ,微调作用更明显 ;SiH 的强度只能在一定的范围内表征材料的沉积速... 采用拉曼散射光谱和PR6 5 0光谱光度计对VHF PECVD制备的微晶硅薄膜进行了结构表征和在线监测研究 .结果表明 :功率对材料的晶化率 ( χc)有一定的调节作用 ,硅烷浓度大 ,微调作用更明显 ;SiH 的强度只能在一定的范围内表征材料的沉积速率 ,功率大相应的速率反而下降 ;I[Hα ] I[SiH ] 强度比值反映了材料晶化程度 ,此结果和拉曼散射光谱测试结果显示出一致性 ;I[Hβ ] I[Hα ] 的强度比表明氢等离子体中的电子温度随功率的增大而逐渐降低 . 展开更多
关键词 拉曼散射光谱 微晶硅薄膜 氢等离子体 电子温度 结构表征 低温制备 晶化 VHF-PECVD 光发射谱 功率
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Experimental Investigation into Characteristics of Plasma Aerodynamic Actuation Generated by Dielectric Barrier Discharge 被引量:20
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作者 Wu Yun Li Yinghong +3 位作者 Jia Min Song Huimin Su Changbing Pu Yikang 《Chinese Journal of Aeronautics》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第1期39-45,共7页
This article carries out synthetic measurements and analysis of the characteristics of the asymmetric surface dielectric barrier discharge plasma aerodynamic actuation. The rotational and vibrational temperatures of a... This article carries out synthetic measurements and analysis of the characteristics of the asymmetric surface dielectric barrier discharge plasma aerodynamic actuation. The rotational and vibrational temperatures of an N2 ( C3 Ⅱu ) molecule are measured in terms of the optical emission spectra from the N2 second positive system. A simplified collision-radiation model for N2 (C)and N2 + (B)is established on the basis of the ratio of emission intensity at 391.4 nm to that at 380.5 nm and the ratio of emission intensity at 371. 1 nm to that at 380.5 nm for calculating temporal and spatial averaged electron temperatures and densities. Under one atmosphere pressure, the electron temperature and density are on the order of 1.6 eV and 10H cm-3 respectively. The body force induced by the plasma aerodynamic actuation is on the order of tens of mN while the induced flow velocity is around 1.3 m/s. Starting vortex is firstly induced by the actuation ; then it develops into a near-wall jet, about 70 mm downstream of the actuator. Unsteady plasma aerodynamic actuation might stimulate more vortexes in the flow field. The induced flow direction by nanosecond discharge plasma aerodynamic actuation is not parallel, but vertical to the dielectric layer surface. 展开更多
关键词 plasma aerodynamic actuation dielectric barrier discharge optical emission spectroscopy particle image velocimetry
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激光诱导等离子体光学诊断方法研究综述 被引量:21
3
作者 李兴文 魏文赋 +2 位作者 吴坚 杨泽锋 韩嘉旬 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期1788-1797,共10页
激光诱导等离子体是多种工业应用领域的研究热点,然而到目前为止人们对其基本物理过程的认识仍不完善。为此,综述了当前常用的激光诱导等离子体的光学诊断方法,从自辐射探测、关键参数计算、空间折射率分布等角度,分别从原理和技术方面... 激光诱导等离子体是多种工业应用领域的研究热点,然而到目前为止人们对其基本物理过程的认识仍不完善。为此,综述了当前常用的激光诱导等离子体的光学诊断方法,从自辐射探测、关键参数计算、空间折射率分布等角度,分别从原理和技术方面介绍了基于ICCD和条纹相机的可见光快速照相、发射光谱分析、激光阴影/纹影成像、激光干涉、以及汤姆逊散射等方法,并比较了不同诊断方法的优缺点。结合激光诱导等离子体自身的特点,分别指出了使用不同诊断方法时值得注意的地方,以及使用激光阴影、纹影和干涉成像时对激光探针参数的选择依据。给出了几种实验诊断方法的典型结果,并进行了结果的分析与讨论。结果表明:快速照相技术有助于获得直观的等离子体演化图像,而可见光谱诊断则可较为方便的定量获得等离子体特征参数;通过使用激光探针了等离子体的折射率场,有助于进一步分析其空间密度分布;而发展汤姆逊散射诊断技术,则能够获得更为准确和丰富的等离子体微观信息。需要注意的是,当利用可见光谱诊断技术计算分析等离子体参数时,要考虑特定时空环境下等离子体热平衡态的影响;使用激光探针诊断等离子体的折射率场时,要根据具体的等离子体对象选择合适的激光波长、能量、脉宽等探针参数。在未来的研究中,通过综合运用快速照相、空间光谱诊断和激光探针技术,可望进一步深入掌握等离子体中多组分粒子行为以及微观热平衡态的时空演化关系。 展开更多
关键词 激光诱导等离子体 快速照相 发射光谱 局部热平衡 激发温度 激光探针
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纳秒脉冲等离子体合成射流的气动激励特性 被引量:20
4
作者 贾敏 梁华 +2 位作者 宋慧敏 刘朋冲 吴云 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期1493-1498,共6页
等离子体合成射流是一种快速、宽频的气动激励方式,由于激励强度高、射流速度大,在超音速流动控制方面具有广阔的应用前景。等离子体合成射流气动激励特性的研究将为揭示等离子体合成射流的产生和演化机制提供必要的基础。为此,研究ns... 等离子体合成射流是一种快速、宽频的气动激励方式,由于激励强度高、射流速度大,在超音速流动控制方面具有广阔的应用前景。等离子体合成射流气动激励特性的研究将为揭示等离子体合成射流的产生和演化机制提供必要的基础。为此,研究ns脉冲等离子体合成射流气动激励特性,在常规大气环境进行了发射光谱测试,通过对380.5nm附近的谱线进行拟合得到N2(C3Πu)的转动温度,利用氮分子二正系列的371.1nm和380.5nm两条谱线强度之比计算了振动温度。将腔体内的激励简化为定容加热的过程,理论计算了射流的喷射压力和喷射速度;建立了ns脉冲等离子体合成射流的仿真模型,计算了射流速度随时间的演化特性,结果表明,t=20μs时射流速度最大,达到了206m/s,t=70μs时气流开始回流到腔体中进入下一个循环。证明等离子体合成射流可产生快速的,高强度的气动激励。 展开更多
关键词 NS脉冲 等离子体合成射流 发射光谱 转动温度 振动温度 射流速度
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多针–平板电极气液两相介质阻挡的放电特性 被引量:16
5
作者 方志 谈坚 +1 位作者 杨静 阮陈 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期731-738,共8页
为深入理解气液两相介质阻挡放电的机理和特征,利用多针–平板电极结构,测量了气液两相DBD的电学和光学放电特性,研究了放电电气参量及放电空间主要粒子强度随外加电压的变化趋势,并根据实验结果建立了放电的等效电路模型,利用其结合放... 为深入理解气液两相介质阻挡放电的机理和特征,利用多针–平板电极结构,测量了气液两相DBD的电学和光学放电特性,研究了放电电气参量及放电空间主要粒子强度随外加电压的变化趋势,并根据实验结果建立了放电的等效电路模型,利用其结合放电机理对所得到的结果进行了分析和讨论。结果表明:气液两相DBD的放电与纯气相DBD放电相类似,但还要考虑液体阻抗对放电的影响,其放电电流为阻容性,超前电压的角度<90°。气相放电中产生了大量的N2、O和OH等活性粒子,放电功率、传输电荷和电子密度等主要放电参量均随外加电压的增加而增大,而气隙电容随外加电压增加而减小,外加电压20.5 k V时,它们的值分别为78 W、1 060 n C、1.87×1011 cm-3和8.07 p F,气相放电可用电压控制电流源(VCCS)、电阻和可变电容来等效,而液体可用可变电阻等效,计算得到放电前其值为825?。 展开更多
关键词 低温等离子体 介质阻挡放电 多针电极 气液两相 放电特性 发光图像 发射光谱 电气模型
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衬底温度对微晶硅薄膜沉积与结构特征的影响 被引量:15
6
作者 杨恢东 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期646-649,共4页
采用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)技术在不同衬底温度条件下沉积了氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜,并通过光发射谱(OES)测量技术对沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体进行了原位监测。结合对样品的沉积速率测量与结构表征,研究了衬底... 采用甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD)技术在不同衬底温度条件下沉积了氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜,并通过光发射谱(OES)测量技术对沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体进行了原位监测。结合对样品的沉积速率测量与结构表征,研究了衬底温度对薄膜沉积过程与结构特征的影响。实验结果表明:随着衬底温度的增加,μc-Si∶H薄膜结晶体积分数与晶粒的平均尺寸单调增大,而沉积速率则呈现出先增后减的变化。对于当前的沉积系统,优化生长的衬底温度约为210℃,相应的μc-Si∶H薄膜沉积速率为0.8nm/s,结晶体积分数与晶粒平均尺寸分别为60%和9nm。 展开更多
关键词 衬底温度 结构特征 微晶硅 甚高频等离子体化学气相沉积 薄膜沉积 μc-Si:H 沉积速率 沉积过程 平均尺寸 体积分数 温度条件 原位监测 测量技术 光发射谱 结构表征 沉积系统 优化生长 晶粒 结晶
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大气压微波等离子体炬的开发和发射光谱诊断 被引量:15
7
作者 李寿哲 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第11期3730-3735,共6页
大气压微波等离子体炬在开放的常压条件下能够产生温和的热等离子体。文中介绍了大功率(几千瓦级别)微波等离子体炬的开发情况和技术特点,并展示了分别以氮气和氧气为载气时产生的等离子体炬的诊断结果。文中采用波导内单模驻波激发,以... 大气压微波等离子体炬在开放的常压条件下能够产生温和的热等离子体。文中介绍了大功率(几千瓦级别)微波等离子体炬的开发情况和技术特点,并展示了分别以氮气和氧气为载气时产生的等离子体炬的诊断结果。文中采用波导内单模驻波激发,以及涡旋气流增强放电管内约化电场强度的措施,有效地控制等离子体的放电稳定性以及等离子体炬的形态,并获得了较大体积的等离子体及其后放电余辉作用区。对于等离子体的诊断,采用发射光谱诊断技术对其等离子体激发区的电子密度和气体温度的变化规律以及等离子体余辉区的气体温度的空间分布做了测量,并对等离子体炬内发生的与放电机制有关的物理化学过程给予了讨论。 展开更多
关键词 微波 大气压等离子体 发射光谱 电子温度 等离子体气体温度
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低压甲烷等离子体发射光谱诊断 被引量:15
8
作者 罗利霞 吴卫东 +2 位作者 孙卫国 唐永建 朱永红 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第3期203-207,共5页
在CH4/He体系下,利用光学发射谱技术,对螺旋波放电产生低压甲烷等离子体内活性粒子的光学发射特征进行了原位测量。根据甲烷离解后产生的所有可能基、团的对称性、构造并分析了甲烷离解的所有可能反应通道,进一步证实了CH、Hα、Hβ以及... 在CH4/He体系下,利用光学发射谱技术,对螺旋波放电产生低压甲烷等离子体内活性粒子的光学发射特征进行了原位测量。根据甲烷离解后产生的所有可能基、团的对称性、构造并分析了甲烷离解的所有可能反应通道,进一步证实了CH、Hα、Hβ以及Hγ等碎片粒子的存在。研究了各实验参量对活性基团CH、Hα、Hβ以及Hγ的发射谱强度的影响。结果表明:CH粒子发射光谱谱线相对强度随着射频功率的增大是先增大而后减小,随工作气压的增大而逐渐减小;随气压及功率的增加,Hα、Hβ以及Hγ相对强度变化的总体趋势都是先增加而后减小的。该结果为等离子体沉积各种薄膜过程的理解及制备工艺参数的调整提供了基础数据。 展开更多
关键词 光学发射谱 甲烷等离子体 螺旋波放电
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高压PECVD技术沉积硅基薄膜过程中硅烷状态的研究 被引量:12
9
作者 侯国付 薛俊明 +6 位作者 孙建 郭群超 张德坤 任慧志 赵颖 耿新华 李乙钢 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期1177-1181,共5页
采用高压射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在不同功率下制备了一系列硅薄膜材料,研究了材料晶化率和生长速度随功率变化的规律,进而研究PECVD方法沉积硅薄膜过程中的硅烷反应状态,并提出可以根据硅烷耗尽程度的不同将硅烷反... 采用高压射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法在不同功率下制备了一系列硅薄膜材料,研究了材料晶化率和生长速度随功率变化的规律,进而研究PECVD方法沉积硅薄膜过程中的硅烷反应状态,并提出可以根据硅烷耗尽程度的不同将硅烷反应状态分为未耗尽、耗尽和过耗尽三种.然后,对不同硅烷反应状态下的材料结构、光电性能以及相应的电池进行了研究,并指出适合于太阳电池本征层的高质量微晶硅材料应该沉积在硅烷耗尽状态. 展开更多
关键词 耗尽状态 微晶硅 光发射谱
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大气压直流滑动弧等离子体工作特性研究 被引量:14
10
作者 倪明江 余量 +3 位作者 李晓东 屠昕 汪宇 严建华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期389-396,共8页
对大气压直流滑动弧等离子体的电参数和发射光谱进行了测量,比较研究了不同气体种类下滑动弧等离子体电压的特性.以氮气滑动弧为例,分析了其在一个周期内电弧电压、电流、电阻和功率的变化特性.通过对电弧电压信号进行快速傅里叶变换频... 对大气压直流滑动弧等离子体的电参数和发射光谱进行了测量,比较研究了不同气体种类下滑动弧等离子体电压的特性.以氮气滑动弧为例,分析了其在一个周期内电弧电压、电流、电阻和功率的变化特性.通过对电弧电压信号进行快速傅里叶变换频谱分析,研究了气体种类、气体流量和外部电阻值对滑动弧等离子体脉动特性的影响.结果表明随着气流量或外部电阻值的增加,其主要脉动频率变高,电弧周期变小.利用光谱法检测了氮气、氧气和空气滑动弧等离子体的主要自由基种类,并研究了外部电阻值对发射光谱强度的影响和沿电极中轴线在337.1nm(N2(C3Πu→B3Πg),Δv=0)处发射光谱强度的变化.结果表明发射光谱强度随外部电阻值增加而变小,沿电极中轴线先增加后减小,在等离子体区域外急剧减小. 展开更多
关键词 滑动弧等离子体 非平衡等离子体 脉动特性 发射光谱
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螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究 被引量:13
11
作者 于威 王保柱 +2 位作者 杨彦斌 路万兵 傅广生 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期2394-2398,共5页
利用光学发射谱技术对螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的等离子体内活性粒子的光发射特征进行了原位测量 .研究了薄膜沉积过程中各实验参量对活性基团SiH ,Hβ 以及Hα 的发射谱强度的影响 .实验结果表明 ,静态磁场的加入可显著... 利用光学发射谱技术对螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的等离子体内活性粒子的光发射特征进行了原位测量 .研究了薄膜沉积过程中各实验参量对活性基团SiH ,Hβ 以及Hα 的发射谱强度的影响 .实验结果表明 ,静态磁场的加入可显著提高反应气体的解离效率 ;适当的氢稀释可以提高氢活性粒子的浓度 ,而过高的氢稀释比将使含硅活性基团浓度显著减小 ;提高射频馈入功率整体上可以使各活性粒子的浓度增加 ,并有利于提高到达衬底表面氢活性粒子的相对比例 .结合螺旋波等离子体色散关系和等离子体特点对以上结果进行了分析 .该结果为螺旋波等离子体沉积纳米硅薄膜过程的理解及制备工艺参数的调整提供了基础数据 . 展开更多
关键词 光学发射谱 螺旋波等离子体化学气相沉积 纳米硅薄膜 生长工艺
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光谱诊断冷等离子体作用下甲烷转化机理的初步研究(英文) 被引量:11
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作者 张秀玲 刘中凡 +4 位作者 李学慧 代斌 宫为民 张家良 邓新禄 《光散射学报》 2004年第2期166-171,共6页
冷等离子体是甲烷无氧活化制C2烃较为有效的技术手段之一,由于等离子体反应体系的复杂性,甲烷无氧活化制C2烃反应机理及过程尚不十分清楚。本文采用发射光谱原位诊断技术对冷等离子体作用下甲烷无氧活化制C2烃反应中若干激发态物种进行... 冷等离子体是甲烷无氧活化制C2烃较为有效的技术手段之一,由于等离子体反应体系的复杂性,甲烷无氧活化制C2烃反应机理及过程尚不十分清楚。本文采用发射光谱原位诊断技术对冷等离子体作用下甲烷无氧活化制C2烃反应中若干激发态物种进行诊断研究,在250nm~670nm波长范围内检测到下列激发态物种:CH、C和C2。依据激发态物种检测结果、气相色谱反应产物分析结果及等离子体特性,推断了等离子体作用下甲烷无氧活化制C2烃的自由基反应历程。 展开更多
关键词 发射光谱 甲烷 激发态物种 等离子体
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大气压射流等离子体中O及OH自由基的发射光谱在线诊断 被引量:12
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作者 刘忠伟 陈强 +3 位作者 王正铎 杨丽珍 李斌 王传月 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第10期2461-2464,共4页
OH自由基及氧原子在大气化学、表面处理及化学污染物分解等方面有着重要的作用。利用发射光谱技术在线测量了大气压射流等离子体中OH自由基紫外波段与O自由基777,844 nm波段的发射光谱。研究了OH自由基与氧原子光谱强度随放电功率及放... OH自由基及氧原子在大气化学、表面处理及化学污染物分解等方面有着重要的作用。利用发射光谱技术在线测量了大气压射流等离子体中OH自由基紫外波段与O自由基777,844 nm波段的发射光谱。研究了OH自由基与氧原子光谱强度随放电功率及放电体系中所加入的氧浓度的变化。将实验测得的OH自由基光谱图与用Lifbase数据库模拟光谱图进行比较,估算了OH自由基的转动温度。结果表明:OH自由基的转动温度随放电功率的增加而增加,随工作气体流速的增加而减小。 展开更多
关键词 大气压等离子体 射流 自由基 发射光谱 等离子体诊断
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介质阻挡放电等离子体脱除氮氧化物的发射光谱研究 被引量:10
14
作者 刘晶 牛金海 +3 位作者 徐勇 朱爱民 孙琪 聂龙辉 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1352-1356,共5页
在大气压下,NO/N2体系中,利用发射光谱技术对50Hz和5kHz交流介质阻挡放电等离子体在200~900nm范围内进行了诊断.在632、674.5、715.5和742nm等处测得了N原子的谱线.利用化学发光法NOx分析仪,模块式红外吸收气体分析检测仪,大气压下直... 在大气压下,NO/N2体系中,利用发射光谱技术对50Hz和5kHz交流介质阻挡放电等离子体在200~900nm范围内进行了诊断.在632、674.5、715.5和742nm等处测得了N原子的谱线.利用化学发光法NOx分析仪,模块式红外吸收气体分析检测仪,大气压下直连质谱多种检测手段对放电前后的稳定物种进行了分析,观察到O2的生成.初步讨论了无氧条件下介质阻挡放电等离子体中NO脱除的反应机制. 展开更多
关键词 大气压 介质阻挡放电 等离子体 NO N原子 发射光谱 质谱
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短管螺旋波放电中等离子体参数测量和模式转化研究 被引量:11
15
作者 赵高 熊玉卿 +2 位作者 马超 刘忠伟 陈强 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第23期206-211,共6页
对长度为45 cm的短放电管螺旋波放电等离子体进行了Langmuir探针、原子发射光谱以及集成电荷耦合检测器(ICCD)检测诊断,研究螺旋波等离子体的放电特性.Langmuir探针数据显示电子密度在射频功率增加过程中出现两次大幅增长,由此确认了放... 对长度为45 cm的短放电管螺旋波放电等离子体进行了Langmuir探针、原子发射光谱以及集成电荷耦合检测器(ICCD)检测诊断,研究螺旋波等离子体的放电特性.Langmuir探针数据显示电子密度在射频功率增加过程中出现两次大幅增长,由此确认了放电模式的转换及螺旋波放电模式的出现.发射光谱测量结果与Langmuir探针测量的电子密度数据一致,发现Ar原子和Ar离子的谱线强度与放电模式变化有着密切相关性.而通过对不同放电模式的ICCD测量,获得射频功率吸收因放电模式转变而变化的方式,认为放电模式转换时电子行为和能量传递方式也发生着变化. 展开更多
关键词 螺旋波放电 原子发射光谱 集成电荷检测器 径向区域的变化
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铝熔铸检测技术进展 被引量:5
16
作者 张仁伟 骆双江 金炎丽 《轻合金加工技术》 CAS 2002年第8期7-13,共7页
介绍了主要的熔铸检测新技术,内容包括光谱化学分析,各种测氢技术,测渣技术,结晶器液面高度测量,铝液温度测量等。
关键词 测氢 测渣 光谱化学分析 液面高度测量 铝合金 熔模铸造
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SF_(6)放电的发射光谱特性分析与放电识别 被引量:10
17
作者 李彦飞 汤贝贝 +2 位作者 韩冬 邱宗甲 张国强 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2022年第7期1866-1874,共9页
该文通过实验模拟六氟化硫(SF_(6))气体绝缘电气设备的三种常见放电缺陷(电晕放电、火花放电以及沿面放电),并采用光谱仪检测上述放电缺陷下的200~1037nm波段范围内的发射光谱。结果表明,电晕放电的发射光谱主要由带状光谱(OH自由基谱带... 该文通过实验模拟六氟化硫(SF_(6))气体绝缘电气设备的三种常见放电缺陷(电晕放电、火花放电以及沿面放电),并采用光谱仪检测上述放电缺陷下的200~1037nm波段范围内的发射光谱。结果表明,电晕放电的发射光谱主要由带状光谱(OH自由基谱带,SF_(6)和SF_(x)分子谱带)和微弱的F原子线状谱组成;火花放电的发射光谱在电晕放电的基础上新增了硫原子、硫离子和氟离子的线状光谱;沿面放电的发射光谱与火花放电的轮廓相似,但由于沿面故障模拟模型中引入了铜元素,因此发射光谱中出现了铜原子和铜离子的线状谱。最后,根据电晕放电、火花放电和沿面放电的光谱特性差异,定义了两个特征物理量:I_(ratio)和|I′_(nor)(323.371nm)|,设计相应的放电识别算法。该算法的正确率为94.33%,可有效地识别实验中的SF_(6)放电缺陷。 展开更多
关键词 六氟化硫(SF_(6)) 发射光谱 特征光谱 局部放电 放电识别
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介质阻挡放电引发氮氧化物等离子体化学反应 被引量:8
18
作者 孙琪 朱爱民 +2 位作者 牛金海 徐勇 宋志民 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第2期192-196,共5页
在523K介质阻挡放电条件下,研究了不同气体组分体系中NO的转化.实验表明,在无氧体系(NO/N2)中,转化的NO主要分解为N2和O2.在富氧(NO/O2/N2)条件下,由于NO和NO2的生成,NO的转化率最低.体系中加入C2H4(NO/C2H4/N2)时,NO转化率与NO/N2体系... 在523K介质阻挡放电条件下,研究了不同气体组分体系中NO的转化.实验表明,在无氧体系(NO/N2)中,转化的NO主要分解为N2和O2.在富氧(NO/O2/N2)条件下,由于NO和NO2的生成,NO的转化率最低.体系中加入C2H4(NO/C2H4/N2)时,NO转化率与NO/N2体系几乎一样,与NO相比,生成的O更易与C2H4作用,几乎没有NO2的生成.当C2H4和O2共存时(NO/O2/C2H4/N2),NO主要被氧化为NO2.当能量密度为125J·L-1时,与其它体系相比,NO/O2/C2H4/N2体系中NO转化率和NO2生成量最大,转化每个NO分子能耗最小(61eV).体系中C2H4主要被氧化为CO.四个体系中N2O的生成量都较少.讨论了介质阻挡放电条件下上述四个体系可能的反应机制. 展开更多
关键词 介质阻挡放电 氮氧化物 乙烯 等离子体化学 发射光谱
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硅烷浓度对本征微晶硅材料的影响 被引量:9
19
作者 朱锋 张晓丹 +3 位作者 赵颖 魏长春 孙建 耿新华 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第12期1624-1627,共4页
利用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术沉积微晶硅材料 .随硅烷浓度的降低 ,材料晶化率增加 ,材料的光学带隙在 1.5~ 1.6 5 e V之间 ,材料的电导率先增加后减小 .采用光发射谱测量技术对辉光进行在线测量 ,研究沉积条件对 VHF等离子... 利用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术沉积微晶硅材料 .随硅烷浓度的降低 ,材料晶化率增加 ,材料的光学带隙在 1.5~ 1.6 5 e V之间 ,材料的电导率先增加后减小 .采用光发射谱测量技术对辉光进行在线测量 ,研究沉积条件对 VHF等离子体和微晶硅材料特性的影响 .实验表明 ,等离子中的 Si H*和 H*α 对微晶硅材料特性有重要的影响 ,硅烷浓度为 2 %~ 4 %时 ,等离子体中 H*α / Si H* 的比值处于 0 .6~ 0 .9,可以得到晶化率在 4 0 %~ 5 5 %的微晶硅材料 . 展开更多
关键词 VHF-PECVD 微晶硅 光发射谱
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低温等离子体活化转化煤层甲烷机理的光谱诊断 被引量:10
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作者 徐锋 朱丽华 李创 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期372-379,共8页
为了探究低温等离子体活化转化煤层甲烷的机理,采用自制的介质阻挡放电实验系统对体积组成为CH440%、O212%、N248%的模拟煤层甲烷进行等离子体活化转化。采用色谱分析方法对煤层甲烷介质阻挡放电稳定产物进行分析,结果表明低温等离子体... 为了探究低温等离子体活化转化煤层甲烷的机理,采用自制的介质阻挡放电实验系统对体积组成为CH440%、O212%、N248%的模拟煤层甲烷进行等离子体活化转化。采用色谱分析方法对煤层甲烷介质阻挡放电稳定产物进行分析,结果表明低温等离子体活化煤层甲烷的主要产物为CH3OH、CO和CO_2。采用发射光谱原位诊断技术在200~700 nm波长范围内研究了放电气体的发射光谱,检测到O·、CH·、C·、Hα、N2(A3Σ+U)等激发态物种。基于发射光谱原位诊断和气相色谱分析结果,对煤层甲烷活化转化的自由基反应过程进行了推断。同时,明晰了反应气中N2对煤层甲烷活化和主要产物的生成具有促进作用,即N2产生了存活时间更长的亚稳态离子,该亚稳态离子将能量传递给反应气中的O2和CH4,进而加速了煤层甲烷的活化和稳定产物的生成。 展开更多
关键词 发射光谱 煤层甲烷 低温等离子体 机理
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