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Ar/O_2和Ar/H_2O中大气压等离子体射流放电特性的比较 被引量:35
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作者 周亦骁 方志 邵涛 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第11期229-238,共10页
为了比较大气压下Ar/O2和Ar/H2O等离子体射流放电特性的区别,混入相同含量的O2和H2O,通过测量电压电流波形,Lissajous图形,发光图像,发射光谱等放电特性,研究了两种气体工作时,等离子体射流的放电特性和演变规律。计算放电功率、传输电... 为了比较大气压下Ar/O2和Ar/H2O等离子体射流放电特性的区别,混入相同含量的O2和H2O,通过测量电压电流波形,Lissajous图形,发光图像,发射光谱等放电特性,研究了两种气体工作时,等离子体射流的放电特性和演变规律。计算放电功率、传输电荷、电子激发温度、分子振动温度、分子转动温度等主要放电参量后,研究了它们随外加电压幅值的变化趋势,并就趋势图和实验结果做机理分析和讨论。研究结果表明,两种气体下等离子体射流的放电形式为电晕放电、DBD以及射流形成等三个阶段,随着电压的增加,两种气体的射流长度不断增加。两种气体的发射光谱图中,产生的主要发光粒子均为OH、Ar、N2和O,气体温度在300~650K范围内,属于低温等离子体。在外加电压幅值为7~9.5k V范围内,Ar/H2O等离子体射流光谱强度要强于氩氧,通过对电子激发温度和分子转动温度的计算,发现Ar/O2和Ar/H2O的电子温度相差不大,但是Ar/H2O有更低的气体温度,更有利于处理热敏感材料。 展开更多
关键词 大气压等离子体射流(APPJ) 放电特性 放电参量 混合气体 发射光谱
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热释光和光释光发光谱的测量 被引量:10
2
作者 唐强 张纯祥 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期308-312,共5页
介绍了自行研制的计算机化热释光和光释光三维光谱测量装置的系统结构及其工作原理。在计算机的控制下,通过精密加热器或激发光源以热激发或光激发的方式使样品发光。从样品发出的光经过光路和光栅分光系统后,形成光谱,被高灵敏度的... 介绍了自行研制的计算机化热释光和光释光三维光谱测量装置的系统结构及其工作原理。在计算机的控制下,通过精密加热器或激发光源以热激发或光激发的方式使样品发光。从样品发出的光经过光路和光栅分光系统后,形成光谱,被高灵敏度的CCD采集,再将光谱图像模拟信号变为可以直接用计算机进行数据处理的数据信号。波长范围200—800nm,波长分辨率优于2nm,人机界面友好,操作方便。利用热释光和光释光三维光谱测量装置测量了SrSO4:Eu(0.1%,摩尔分数)和CaSO4:Eu(0.1%,摩尔分数)的光释光发光谱和热释光发光谱,得到SrSO4:Eu的光释光发光波长与热释光发光波长均为375nm,而CaSO4:Eu的光释光发光波长与热释光发光波长均为385nm,说明热释光和光释光具有相同的发光中心,均来自于Eu^2+的能级跃迁。同时在CaSO4:Eu的热释光发光谱中还观察到了Eu^3+的发光。与二维发光曲线相比较,通过对三维热释光和光释光发光谱的研究,可以得到更丰富的信息,这有助于对热释光和光释光发光机制进行更深入的研究。 展开更多
关键词 光释光 热释光 三维发光谱
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激光诱导Cu等离子体发射光谱的实验研究 被引量:5
3
作者 苏茂根 陈冠英 +2 位作者 张树东 李澜 薛思敏 《西北师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2005年第1期34-37,40,共5页
利用Q 开关Nd:YAG激光器产生的1.06μm、10ns的脉冲激光聚焦在空气中的Cu靶上,观测了激光诱导 的Cu等离子体发射光谱.采用激光能量为45mJ/pulse,分析了波长为440~540nm的空间分辨发射光谱.在局部热 力学平衡(LTE)条件近似下,根据谱... 利用Q 开关Nd:YAG激光器产生的1.06μm、10ns的脉冲激光聚焦在空气中的Cu靶上,观测了激光诱导 的Cu等离子体发射光谱.采用激光能量为45mJ/pulse,分析了波长为440~540nm的空间分辨发射光谱.在局部热 力学平衡(LTE)条件近似下,根据谱线的相对强度,得到等离子体电子温度约在104K以上.给出了靶面附近电子温 度和谱线半高全宽的空间演化规律. 展开更多
关键词 激光诱导 等离子体 发射光谱 谱线展宽 电子温度
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光电方法研究氩气弥散等离子体羽的特性
4
作者 赵娜 常正雪 +2 位作者 王树民 王曦 王慧 《量子光学学报》 北大核心 2024年第1期53-60,共8页
利用光电方法研究了直流电压激励大气压氩气弥散等离子体羽的放电特性。通过光学成像发现等离子体羽是弥散的。光电信号进一步表明:依据针-环电极间电压的不同,放电可以是脉冲模式或者是连续模式。脉冲模式下的电压波形保持不变,但放电... 利用光电方法研究了直流电压激励大气压氩气弥散等离子体羽的放电特性。通过光学成像发现等离子体羽是弥散的。光电信号进一步表明:依据针-环电极间电压的不同,放电可以是脉冲模式或者是连续模式。脉冲模式下的电压波形保持不变,但放电电流和总发光信号波形出现周期性震荡,明显是Trichel脉冲的形式;而连续模式下的电压、放电电流和总发光信号波形均不随时间变化。脉冲模式下等离子体羽不同位置处的光信号表明该模式下的放电运行在负流光机制。而在连续模式下,结合放电的伏安特性曲线及阴极表面的电流密度分析推知:连续模式下的放电机制是汤森机制。得到了两种模式下的光学发射光谱,利用玻尔兹曼拟合法估算了电子激发温度;利用羟基谱线拟合法估算了气体温度,并用温度计进行了直接测量。 展开更多
关键词 弥散等离子体羽 光学成像 光信号 伏安特性 光学发射光谱
原文传递
基于发射光谱的绝缘油中放电参数时间演化特性
5
作者 郭凯航 章程 +3 位作者 孙建涛 陈根永 李金忠 邵涛 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期3191-3198,共8页
为了研究绝缘油中击穿放电通道参数演化过程,搭建了绝缘油中放电发射光谱诊断平台,通过实验得到绝缘油中微秒级击穿放电过程的典型发射光谱和时间演化发射光谱,分别使用Stark展宽法和Boltzmann点法对绝缘油中放电等离子体通道的电子数... 为了研究绝缘油中击穿放电通道参数演化过程,搭建了绝缘油中放电发射光谱诊断平台,通过实验得到绝缘油中微秒级击穿放电过程的典型发射光谱和时间演化发射光谱,分别使用Stark展宽法和Boltzmann点法对绝缘油中放电等离子体通道的电子数密度和电子温度时间演化特性进行诊断。从绝缘油中放电击穿的典型发射光谱中可观察到H_(α)谱线、C_(2)斯旺带和电极金属原子发射谱线。对比放电电流波形与时间演化发射光谱可发现电流强度与光谱强度呈正相关。放电等离子体通道参数诊断结果表明:电子数密度在放电1~2μs时达到峰值1.12×10^(18)cm^(-3),18μs后稳定在10^(17)cm^(-3)量级;整个放电过程电子温度在7000~8200K范围内波动,总体呈上升趋势;根据参数诊断结果可判断绝缘油中放电等离子体通道处于局部热力学平衡状态。 展开更多
关键词 绝缘油 发射光谱 放电等离子体 电子数密度 电子温度
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等离子体增强化学气相沉积氮化碳薄膜过程中的光学发射谱研究 被引量:4
6
作者 于威 王淑芳 +3 位作者 任国斌 李晓苇 张连水 傅广生 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期79-82,共4页
利用光学发射谱技术对直流辉光放电等离子体增强的化学气相沉积氮化碳薄膜过程中的等离子体进行了原位诊断 ,结果表明主要的辐射有N2 的第二正系跃迁、N+2 的第一负系跃迁、CN和NH的紫外跃迁。研究了气源中氢气含量、放电电流及沉积气... 利用光学发射谱技术对直流辉光放电等离子体增强的化学气相沉积氮化碳薄膜过程中的等离子体进行了原位诊断 ,结果表明主要的辐射有N2 的第二正系跃迁、N+2 的第一负系跃迁、CN和NH的紫外跃迁。研究了气源中氢气含量、放电电流及沉积气压的变化对N2 (337 1nm) ,N+2 (391 4nm)和CN(388 3nm)辐射强度的影响 ,并在此基础上探讨了这几种跃迁的激发机制 ,其结果为氮化碳合成中优化沉积参数。 展开更多
关键词 光学发射谱 等离子体增强 化学气相沉积 氮化碳薄膜
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EACVD沉积金刚石过程中气相化学研究 被引量:2
7
作者 朱晓东 温晓辉 +1 位作者 詹如娟 周海洋 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第9期621-625,共5页
利用热阴极直流等离子体化学气相沉积技术分别在CH4-H2和C2H5OH-H2两种不同的工作环境中沉积金刚石膜,同时利用发射光谱对等离子体气相环境进行了原位诊断。在CH4-H2和C2H5OH-H2两种体系中,探测到H原... 利用热阴极直流等离子体化学气相沉积技术分别在CH4-H2和C2H5OH-H2两种不同的工作环境中沉积金刚石膜,同时利用发射光谱对等离子体气相环境进行了原位诊断。在CH4-H2和C2H5OH-H2两种体系中,探测到H原子和CH、CH+、C2等多种碳氢粒子,发现CH和CH+有益于金刚石生长,而C2是非金刚石相的生长基因.与CH4-H2体系所不同的是,在C2H5OH-H2体系中,还产生了CHO、CH2O、O2基因,故可增加碳源浓度,提高金刚石膜的生长速率,同时保证金刚石膜的晶体质量。含氧碳源的使用对金刚石膜合成的影响主要是因为沉积过程中气相环境变化所致。 展开更多
关键词 金刚石膜 光发射谱 EACVD 气相化学 气相合成
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射流低温等离子体处理增强环氧表面憎水性研究 被引量:4
8
作者 陈柬 杨静 +1 位作者 阮陈 方志 《绝缘材料》 CAS 北大核心 2016年第4期45-49,共5页
为提高绝缘材料表面的憎水性,采用在Ar/SiCl_4中产生稳定的大气压等离子体射流放电对典型绝缘材料环氧板表面进行憎水性改性,通过接触角测量、表面能计算以及扫描电子显微镜(SEM)等对改性前后的环氧表面特性进行研究,探索接触角和表面... 为提高绝缘材料表面的憎水性,采用在Ar/SiCl_4中产生稳定的大气压等离子体射流放电对典型绝缘材料环氧板表面进行憎水性改性,通过接触角测量、表面能计算以及扫描电子显微镜(SEM)等对改性前后的环氧表面特性进行研究,探索接触角和表面能随处理时间的变化规律,并结合光谱诊断对改性机制进行了分析。结果表明:改性处理后,环氧表面形成一层致密的网状结构,表面引入了含硅基团,表面极性降低,因此表面水接触角增加,表面能降低,憎水性增强。当处理时间为180 s时,环氧表面的憎水性改性效果最好,表面水接触角由46°提高到最大值91°。 展开更多
关键词 等离子体射流 绝缘材料 表面改性 憎水性 光谱
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光谱法研究一种具有渐变折射率的新型等离子体光子晶体 被引量:4
9
作者 刘伟波 董丽芳 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期232-237,共6页
在双水电极介质阻挡放电装置中,在氩气和空气的混合气体放电过程中通过改变气体压强可以得到一种新型等离子体光子晶体。该光子晶体具有四边形的复杂对称结构,包括晶胞中心处的细等离子体柱、四周的等离子体片、等离子体片交叉点产生的... 在双水电极介质阻挡放电装置中,在氩气和空气的混合气体放电过程中通过改变气体压强可以得到一种新型等离子体光子晶体。该光子晶体具有四边形的复杂对称结构,包括晶胞中心处的细等离子体柱、四周的等离子体片、等离子体片交叉点产生的等离子体柱和边缘处的粗等离子柱。运用发射光谱法研究了该等离子体光子晶体不同位置处的等离子体状态,通过测量氩原子696.54 nm(2P2→1S5)发射谱线的展宽对比了电子密度,通过氮分子第二正带系(C3Πu→B3Πg)发射谱线计算了分子振动温度。实验结果证实,不但晶胞中心处的细等离子体柱、四周的等离子体片、等离子体片交叉点产生的等离子体柱和边缘处的粗等离子柱具有不同的等离子体状态,不同位置处的晶胞中心细等离子体柱也具有不同的等离子体状态。电子密度由大到小排列依次为:4个角上的细等离子体柱(A)、靠近4个边的细等离子体柱(B)、靠近中心的细等离子体柱(C)、边缘处的粗等离子体柱(D)、等离子体片交叉点产生的等离子体柱(E)、四周的等离子体片(F)。分子振动温度的变化规律与电子密度相反。由于该晶体结构中A、B、C 3处的折射率均不相同,由内向外呈周期性渐变排列,它们和其他位置处不同的等离子体状态构成了具有渐变折射率的等离子体光子晶体。 展开更多
关键词 等离子体光子晶体 介质阻挡放电 发射光谱
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背景气体对大气压氦等离子体射流特性的影响 被引量:4
10
作者 孙振宇 孙敏 +2 位作者 曹慧娟 刘蕊 张芝涛 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期3383-3392,共10页
大气压等离子体射流在不同气体环境内的维持与流动,必然导致射流工作气体与背景气体发生不同程度的混杂,从而影响等离子体射流特性。对于此问题,通过电学特性测量、发射光谱诊断等方法,比较了等离子体射流在不同气体环境下的射流形态、... 大气压等离子体射流在不同气体环境内的维持与流动,必然导致射流工作气体与背景气体发生不同程度的混杂,从而影响等离子体射流特性。对于此问题,通过电学特性测量、发射光谱诊断等方法,比较了等离子体射流在不同气体环境下的射流形态、电学特性、放电产物,研究了空气、氮气、氩气、氦气4种背景气体对大气压氦等离子体射流特性的影响。结果显示:背景气体会介入大气压氦等离子体射流的演变过程,并导致等离子体射流特性改变;能与He发生彭宁电离的背景气体会促进大气压氦等离子体射流的发展,负电性气体和低激发态多的背景气体则会阻碍其发展;大气压氦等离子体射流若存在彭宁电离,则背景环境中稀有气体和空气等主要组成气体的电离能越高,大气压氦等离子体射流传播越远。 展开更多
关键词 大气压氦等离子体射流 背景气体 射流特性 发射光谱 ·OH 谱线强度
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大气压空气纳秒脉冲阵列式线-线SDBD等离子体的电学及发射光谱特性研究 被引量:4
11
作者 赵紫璐 杨德正 +2 位作者 王文春 周雄峰 袁皓 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期1236-1241,共6页
提出了一种阵列式线-线沿面介质阻挡放电结构,利用双极性高压纳秒脉冲电源,在大气压空气中激励产生了相对大面积的放电等离子体。其中,高压电极、地电极均为圆柱形金属,放电反应器由20组相间排列的阵列式线型高压电极和套有介质管的阵... 提出了一种阵列式线-线沿面介质阻挡放电结构,利用双极性高压纳秒脉冲电源,在大气压空气中激励产生了相对大面积的放电等离子体。其中,高压电极、地电极均为圆柱形金属,放电反应器由20组相间排列的阵列式线型高压电极和套有介质管的阵列式线型地电极组成。利用电压探头、电流探头、示波器等测量了放电电压和放电总电流,并计算得出了放电的实际电流。利用光纤、光栅光谱仪、 CCD等测量了波长范围在300~440 nm和766~778 nm的发射光谱,即氮分子第二正带N_2(C^3Π_u→B^3Π_g)包括Δν=+1, 0,-1,-2,-3、氮分子离子第一负带N■(B^2Σ^+_u→X^2Σ^+_g), N_2(B^3Π_g→A^3Σ^+_u)和O (3p^5P→3s^5S_2)的发射光谱。比较了氮分子第二正带N_2(C^3Π_u→B^3Π_g)的各个振动峰和各个活性物种的发射光谱强度,以及这些发射光谱强度随着脉冲峰值电压的变化。测量了N_2(C^3Π_u→B^3Π_g, 0-0)的二次、三次衍射光谱,与原始光谱在转动带、背景光谱等方面进行了比较,并计算了二次衍射和原始光谱之间的峰值比。利用氮分子第二正带N_2(C^3Π_u→B^3Π_g,Δν=+1, 0,-1,-2)和氮分子离子第一负带N^+_2(B^2Σ^+_u→X^2Σ^+_g, 0-0)模拟了等离子体的转动温度和振动温度,对模拟结果进行了比较,并研究了脉冲峰值电压对等离子体振动温度和转动温度的影响。通过测量放电的电压和计算得到的放电电流发现,当脉冲峰值电压为22 kV,脉冲重复频率为150 Hz时,阵列式线-线沿面介质阻挡放电的放电电流在正脉冲、负脉冲两个方向上均可达75 A左右。通过诊断放电等离子体的发射光谱发现,在测量的波长范围内,放电产生的活性物种主要有氮分子第二正带N_2(C^3Π_u→B^3Π_g)、氮分子离子第一负带N■(B^2Σ^+_u→X^2Σ^+_g), N_2(B^3Π_g→A^3Σ^+_u)和O (3p^5P→3s^5S_2)。在脉冲峰值电压22~36 kV的变化范围内,氮分子第二正带N_2(C^3Π_u→B^3Π_ 展开更多
关键词 沿面介质阻挡放电 大气压放电 纳秒脉冲放电 发射光谱
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氮气氛下金刚石薄膜生长过程中的光发射谱研究 被引量:4
12
作者 李灿华 廖源 +3 位作者 常超 王冠中 马玉蓉 方容川 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期81-86,共6页
利用原位光发射谱对衬底附近的化学气相性质进行了研究.研究表明,氮气的引入使得金刚石生长的气相化学和表面化学性质发生了很大变化.含氮基团的萃取作用提高了金刚石表面氢原子的脱附速率,从而提高了金刚石膜的生长速率.而含氮基... 利用原位光发射谱对衬底附近的化学气相性质进行了研究.研究表明,氮气的引入使得金刚石生长的气相化学和表面化学性质发生了很大变化.含氮基团的萃取作用提高了金刚石表面氢原子的脱附速率,从而提高了金刚石膜的生长速率.而含氮基团的选择吸附使金刚石(100)取向变得化学糙化,这种化学糙化使得(100)晶面生长速率远大于其它晶面,最终使金刚石薄膜呈现(100)织构.还利用化学气相沉积方法研究了氮气浓度对金刚石生长的影响,结果与光发射谱分析是一致的. 展开更多
关键词 热丝CVD 光发射谱 含氮基团 金刚石薄膜生长
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脉冲金属氢化物真空弧放电等离子体发射光谱特性 被引量:3
13
作者 唐建 邓春凤 +2 位作者 伍春雷 卢彪 胡永宏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期185-190,共6页
利用发射光谱方法对真空弧离子源放电等离子体特性进行了诊断。同时,基于局域热力学平衡等离子体的发射光谱理论,建立了等离子体的发射光谱拟合模型,对真空弧放电等离子体光谱进行了分析。针对TiH真空弧离子源,分别对330-340nm与498-50... 利用发射光谱方法对真空弧离子源放电等离子体特性进行了诊断。同时,基于局域热力学平衡等离子体的发射光谱理论,建立了等离子体的发射光谱拟合模型,对真空弧放电等离子体光谱进行了分析。针对TiH真空弧离子源,分别对330-340nm与498-503nm范围内Ti+离子与Ti原子的发射光谱进行了对比拟合,获得了较好的符合度,解决了传统Boltzmann斜率法计算等离子体温度需要孤立的不受附近谱线干扰的线状光谱的困难。最后,利用该方法计算了真空弧离子源在不同放电条件下的等离子体发射光谱、等离子体密度与温度参数。结果表明,TiH真空弧放电等离子体温度在1eV左右,同时,放电所产生的氢原子要远远大于金属原子,并且随着真空弧离子源馈入功率的增加,TiH电极中解吸附出来的氢比蒸发出来的金属增加得更多,这有利于TiH离子源在中子发生器方面的应用。 展开更多
关键词 发射光谱 光谱拟合 真空弧放电 金属氢化物
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不等电位空心阴极Ar等离子体放电发射光谱的诊断 被引量:3
14
作者 杨丽珍 张跃飞 +2 位作者 边心超 陈强 张广秋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期221-225,共5页
等离子体中电子激发温度是等离子体的一个重要物理参数之一,对材料表面改性具有非常重要的意义。本实验以时气为工作气体,利用发射光谱法对双层辉光放电等离子体参数进行在线诊断。依据气体放电中的光谱发射谱线强度与等离子体的电子... 等离子体中电子激发温度是等离子体的一个重要物理参数之一,对材料表面改性具有非常重要的意义。本实验以时气为工作气体,利用发射光谱法对双层辉光放电等离子体参数进行在线诊断。依据气体放电中的光谱发射谱线强度与等离子体的电子激发温度有关,本实验选择了650~800nm范围舡原子谱线,通过玻尔兹曼方程,采用多线一斜率法对等离子体电子激发温度进行了估算。实验研究了工件电压、源极电压、工作气压等工艺参数对电子激发温度的影响,测量了电子激发温度的空间分布。实验结果表明,随工件电压的升高,电子激发温度先减小后增大,变化过程中有一个电子激发温度突变过程;不同工件电压下,工作气压对电子激发温度的影响规律不同;空间分布测量可知,中间部位处的电子激发温度要比两边高;而源极电压较小时,对电子激发温度影响不太明显。 展开更多
关键词 电子激发温度 发射光谱法双层辉光放电 多线-斜率法
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离子液体在甲烷等离子体转化中作用机理的光谱研究 被引量:3
15
作者 张秀玲 周倩 +1 位作者 底兰波 于淼 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2906-2910,共5页
在直流等离子体甲烷转化反应体系中分别引入C6MIMBF4,C6MIMCF3COO,C6MIMHSO4三种离子液体,采用光谱在线技术检测反应中活性物种的种类和光谱谱峰相对强度的变化,研究了离子液体在气液等离子体甲烷转化反应中的作用机理。结果表明:向甲... 在直流等离子体甲烷转化反应体系中分别引入C6MIMBF4,C6MIMCF3COO,C6MIMHSO4三种离子液体,采用光谱在线技术检测反应中活性物种的种类和光谱谱峰相对强度的变化,研究了离子液体在气液等离子体甲烷转化反应中的作用机理。结果表明:向甲烷等离子体体系中引入离子液体可得到稳定的气液界面,并提高了甲烷转化率和C2烃产物收率,C6MIMCF3COO和C6MIMBF4有助于提高C2烃选择性,而C6MIMHSO4则导致C2烃选择性下降。在气液等离子体甲烷放电体系中检测到了C,C2,C3,CH,H等活性物种的发射光谱,与未引入离子液体时相比大多数活性物种的谱线强度均有增加。核磁共振研究表明反应后离子液体C6MIMBF4结构稳定,可认为离子液体作为液体导电介质提高了等离子体放电强度,促进等离子体区气相反应过程,同时离子液体在气液表面反应过程起催化作用。 展开更多
关键词 发射光谱 离子液体 等离子体 甲烷 机理
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SiH_4射频放电功率耗散机制的光发射研究 被引量:2
16
作者 石旺舟 黄羽中 +2 位作者 姚若河 林揆训 林璇英 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期144-145,共2页
采用OMA - 4 0 0 0测量了SiH4射频辉光放电等离子体的光发射谱 ,研究了其谱线强度随放电射频功率和反应气体流量间的变化关系。发现在放电射频功率增加和反应气体流量升高的过程中 ,其等离子体状态分别发生性质不同的转变 ,这种转变联... 采用OMA - 4 0 0 0测量了SiH4射频辉光放电等离子体的光发射谱 ,研究了其谱线强度随放电射频功率和反应气体流量间的变化关系。发现在放电射频功率增加和反应气体流量升高的过程中 ,其等离子体状态分别发生性质不同的转变 ,这种转变联系到射频功率耗散机制的变化。当反应气体流量增加时 ,电子获得能量的机制由阴极暗区加速转变为等离子体内电场的加热效应 ;而在放电功率升高的过程中 ,离子轰击阴极产生二次电子发射效应导致了光发射谱强度急剧增强的转变。 展开更多
关键词 SIH4 射频辉光放电 功率耗散 光发射谱
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Plasma Treatment of Industrial Landfill Leachate by Atmospheric Pressure Dielectric Barrier Discharges 被引量:1
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作者 赵迪 王达成 +6 位作者 严贵 马宏 熊小京 罗津晶 张先徽 刘东平 杨思泽 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第5期612-616,共5页
An dielectric barrier discharge (DBD) system in atmospheric pressure utilized for the treatment of industrial landfill leachate is reported. The discharge parameters, such as the operating frequency, gas flow rate, ... An dielectric barrier discharge (DBD) system in atmospheric pressure utilized for the treatment of industrial landfill leachate is reported. The discharge parameters, such as the operating frequency, gas flow rate, and treating duration, were found to affect significantly the removal of ammonia nitrogen (AN) in industrial landfill leachate. An increase in treating duration leads to an obvious increase in the removal efficiency of AN (up to 83%) and the leachate color changed from deep grey-black to transparent. Thus the dielectric barrier discharges in atmospheric pressure could degrade the landfill leachate effectively. Typical waveforms of both applied voltage and discharge current were also presented for analyzing the discharge processes under different discharge parameters. Optical emission spectra measurements indicate that oxidation species generated in oxygen DBD plasma play a crucial role in removing AN, oxidizing organic and inorganic substances and decolorizing the landfill leachate. 展开更多
关键词 DBD plasma landfill leachate ammonia nitrogen optical emission spectra
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Study of Non-Thermal DC Arc Plasma of CH_4/Ar at Atmospheric Pressure Using Optical Emission Spectroscopy and Mass Spectrometry 被引量:1
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作者 廖梦然 王毓 +2 位作者 吴涵峰 李辉 夏维东 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期743-748,共6页
Non-thermal C/H/Ar plasmas are widely applied to carbonaceous material production and processing.In this work,plasma parameters and gaseous species of the atmospheric non-thermal C/H/Ar plasmas produced by an atmosphe... Non-thermal C/H/Ar plasmas are widely applied to carbonaceous material production and processing.In this work,plasma parameters and gaseous species of the atmospheric non-thermal C/H/Ar plasmas produced by an atmospheric-pressure DC arc discharge generator in CH_4/Ar were investigated.The voltage-current characteristics were measured for different CH_4/Ar ratios.Optical emission spectroscopy was employed to analyze the electron excitation temperature,gas temperature and electron density under various discharge conditions.The hydrocarbon molecules produced in the CH4/Ar plasmas were detected with photoionization mass spectrometry.The optical spectral results demonstrated that the electron excitation temperature was 0.4-1 eV,the gas temperature was 2800-4200 K and the electron density was in the range of(5-20)×10^15 cm^-3.The mass spectrum indicated that a variety of unsaturated hydrocarbons(C2H4,C3H6,C6H6,etc.) and several highly unsaturated hydrocarbons(C4H2,C5H6,etc.) were produced in the non-thermal arc plasmas. 展开更多
关键词 non-thermal plasma atmospheric pressure HYDROCARBON methane argon electrical characteristic optical emission spectra photoionization mass spectrometry
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复杂结构自组织等离子体光子晶体光谱研究 被引量:2
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作者 刘伟波 董丽芳 +2 位作者 赵龙虎 王永杰 张新普 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期48-51,共4页
利用双水电极介质阻挡放电装置,在气体放电中产生了一种由放电丝自组织形成的复杂结构等离子体光子晶体。该晶体结构由许多四边形的晶胞组成,每个晶胞包括大点、两种不同的小点和线,分别对应粗等离子体柱、两种细等离子体柱和等离子体... 利用双水电极介质阻挡放电装置,在气体放电中产生了一种由放电丝自组织形成的复杂结构等离子体光子晶体。该晶体结构由许多四边形的晶胞组成,每个晶胞包括大点、两种不同的小点和线,分别对应粗等离子体柱、两种细等离子体柱和等离子体片。采用发射光谱法,对不同位置处的等离子体状态进行了研究,对比了其电子密度和分子振动温度。具体方法是通过氩原子696.54nm(2P2→1S5)的发射谱线测量谱线展宽进而对比电子密度,通过氮分子第二正带系(C3Πu→B3Πg)的发射谱线计算分子振动温度。结果发现:四种不同位置的等离子体具有不同的电子密度和分子振动温度,即它们各自处于不同的等离子体态。电子密度按照降序排列顺序依次为:中心粗等离子体柱四周的细等离子体柱、粗等离子体柱、边缘处的等离子体片、等离子体片交叉点处的细等离子体柱;分子振动温度的变化趋势与电子密度相反。由于等离子体电子密度不同,对光的折射率也不同,因此在该晶体结构中,粗等离子体柱、两种细等离子体柱以及等离子体片具有不同的折射率,它们和周围未放电的区域自组织形成具有五种折射率的复杂结构等离子体光子晶体。该等离子体光子晶体易于产生,具有结构多样、分析简单的优点,具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 等离子体光子晶体 介质阻挡放电 发射光谱
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微量水对碳纳米管形貌的影响及其机理研究 被引量:1
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作者 张春梅 边心超 +2 位作者 陈强 付亚波 张跃飞 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期4602-4606,共5页
利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术,在蒸镀有25nmNi催化剂层的Si基片上,以CH4和H2作为反应气体,在973K下制备了碳纳米管,并研究了微量水的引入对碳纳米管形貌的影响.场发射扫描电子显微镜结果表明,不加水时,制备出的碳纳米管直... 利用介质阻挡放电等离子体化学气相沉积技术,在蒸镀有25nmNi催化剂层的Si基片上,以CH4和H2作为反应气体,在973K下制备了碳纳米管,并研究了微量水的引入对碳纳米管形貌的影响.场发射扫描电子显微镜结果表明,不加水时,制备出的碳纳米管直径不均匀,分布在40—90nm之间,呈链节状的结构;加入少量水时,制备出的碳纳米管直径比较均匀,集中在70nm左右,表面为瘤状结构;当水的流量进一步增加时,得到的碳纳米管表面光滑,出现了枝状结构.原位测量了加水前后等离子体区的发射光谱,分析了微量水的引入对于碳纳米管形貌变化的影响机理. 展开更多
关键词 碳纳米管 介质阻挡放电 发射光谱
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