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生长温度对磁控溅射ZnO薄膜的结晶特性和光学性能的影响 被引量:42
1
作者 孙成伟 刘志文 +3 位作者 秦福文 张庆瑜 刘琨 吴世法 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期1390-1397,共8页
采用反应射频磁控溅射方法,在Si(100)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射分析、拉曼光谱等表征技术,研究了沉积温度对ZnO薄膜的表面形貌、晶粒尺度、应力状态等结晶性能的影响;通过... 采用反应射频磁控溅射方法,在Si(100)基片上制备了具有高c轴择优取向的ZnO薄膜.利用原子力显微镜、透射电子显微镜、X射线衍射分析、拉曼光谱等表征技术,研究了沉积温度对ZnO薄膜的表面形貌、晶粒尺度、应力状态等结晶性能的影响;通过沉积温度对透射光谱和光致荧光光谱的影响,探讨了ZnO薄膜的结晶特性与光学性能之间的关系.研究结果显示,在室温至500℃的范围内,ZnO薄膜的晶粒尺寸随沉积温度的增加而增加,在沉积温度为500℃时达到最大;当沉积温度为750℃时,ZnO薄膜的晶粒尺度有所减小;在室温至750℃的范围内,薄膜中ZnO晶粒与Si基体之间均存在着相对固定的外延关系;在沉积温度低于500℃时,制备的ZnO薄膜处于压应变状态,而750℃时沉积的薄膜表现为张应变状态.沉积温度的不同导致ZnO薄膜的折射率、消光系数、光学禁带宽度以及光致荧光特性的变化,沉积温度对紫外光致荧光特性起着决定性的作用.此外,探讨了影响薄膜近紫外光致荧光发射的可能因素. 展开更多
关键词 ZNO薄膜 表面形貌 微观结构 光学常数
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光学薄膜常数的测试与分析 被引量:25
2
作者 季一勤 刘华松 张艳敏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第5期513-518,共6页
光学薄膜常数—折射率、消光系数和膜层厚度是光学薄膜制备的基础,通过透射光谱法测试计算得到的薄膜常数具有较高的精度。Ta2O5是一种常用的氧化物薄膜,研究了两种透射光谱法计算光学薄膜常数的精度,利用Lambda900分光光度计获得了Ta2O... 光学薄膜常数—折射率、消光系数和膜层厚度是光学薄膜制备的基础,通过透射光谱法测试计算得到的薄膜常数具有较高的精度。Ta2O5是一种常用的氧化物薄膜,研究了两种透射光谱法计算光学薄膜常数的精度,利用Lambda900分光光度计获得了Ta2O5薄膜样品的透过率光谱数据,采用透射光谱包络线法对单层Ta2O5薄膜样品的光学常数进行计算,得到的折射率和消光系数较为准确,并且认为所得到的消光系数为广义消光系数,对精确地测试、计算提出了建议,为不同薄膜样品的制备奠定了技术基础。 展开更多
关键词 光学常数 测试分析 透射光谱 拟合
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用透射光谱和模拟退火算法确定薄膜光学常数 被引量:10
3
作者 刘细成 王植恒 +1 位作者 廖清君 赖成军 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期94-96,112,共4页
提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法 ,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图。为了验证此方法的准确性和可行性 ,先进行了计算模拟 ,然后对SiNx 薄膜进行了测量。模拟结果与理... 提出了用透射光谱曲线和模拟退火算法同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k及薄膜厚度d的方法 ,并给出了严格的理论公式和计算程序框架图。为了验证此方法的准确性和可行性 ,先进行了计算模拟 ,然后对SiNx 薄膜进行了测量。模拟结果与理论值非常接近 ,根据实验结果恢复出来的曲线与原始实验曲线吻合得很好。此方法具有非破坏性、测量简单、操作方便、稳定性好和计算收敛速度快、精度高等特点。 展开更多
关键词 透射光谱 模拟退火 薄膜 光学常数
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多层薄膜光学常数的椭偏法研究 被引量:17
4
作者 徐均琪 冯小利 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期29-33,共5页
研究了椭偏测量中多层薄膜拟和模型建立的过程,并对一未知多层光学薄膜进行了椭偏分析,建立了substrate/film1/EMA/film2/srough的物理结构模型。采用椭偏法,在首先确定出基底光学常数的基础上,提出了从单层、双层、三层逐次建模拟和的... 研究了椭偏测量中多层薄膜拟和模型建立的过程,并对一未知多层光学薄膜进行了椭偏分析,建立了substrate/film1/EMA/film2/srough的物理结构模型。采用椭偏法,在首先确定出基底光学常数的基础上,提出了从单层、双层、三层逐次建模拟和的分析方法。研究结果表明:对于透明或弱吸收光学薄膜,采用柯西公式可以较好表征材料的色散关系。椭偏分析最终得到的未知薄膜基本结构为G(1.52)/2.0312(203.0nm)1.4636(170.1nm)2.0791(170.4nm)/A,膜系设计及分光光度计测量的透射光谱证实了这一结果。对多层膜厚度和光学常数的分析表明,椭偏法仍然是一种行之有效的薄膜光学常数测量方法。 展开更多
关键词 薄膜 厚度 光学常数 椭偏测量
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光度法确定LaF_3薄膜光学常数 被引量:17
5
作者 郭春 林大伟 +1 位作者 张云洞 李斌成 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期269-275,共7页
为了满足设计和生产多层膜系时精确确定薄膜材料光学常数的需要,建立一种基于透射率光谱包络来获取弱吸收光学薄膜光学常数的均匀模型。为消除基底背面反射对光学薄膜光谱性能测量的影响,给出一种非破坏性的薄膜光学特性校正方法,校正... 为了满足设计和生产多层膜系时精确确定薄膜材料光学常数的需要,建立一种基于透射率光谱包络来获取弱吸收光学薄膜光学常数的均匀模型。为消除基底背面反射对光学薄膜光谱性能测量的影响,给出一种非破坏性的薄膜光学特性校正方法,校正实测光谱数据获得光学薄膜的单面光谱,并给出确定基底光学常数的方法。研究钼舟热蒸发工艺制备的沉积在CaF2基底上的LaF3薄膜样品,并获得了刚沉积的和紫外照射处理40 min后的LaF3薄膜以及CaF2基底在160~340 nm的光学常数。结果表明,紫外照射处理可以提高LaF3薄膜的光学特性(增加折射率和降低消光系数),并降低LaF3薄膜的物理厚度。 展开更多
关键词 薄膜 光学常数 分光光度法 LAF3 紫外照射处理
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氮化钛薄膜的光学性能分析 被引量:9
6
作者 金永浩 姚李英 +2 位作者 汤兆胜 邵建达 范正修 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期101-104,共4页
利用磁控溅射法 ,在不同的工艺条件下制备氮化钛薄膜。详细分析了不同工艺条件下薄膜的光谱选择特性以及相应的光学常数 ,通过俄歇电子能谱对薄膜的不同深度的元素成分进行了分析 ,由原子力显微镜测量并处理得到氮化钛薄膜的表面形貌图... 利用磁控溅射法 ,在不同的工艺条件下制备氮化钛薄膜。详细分析了不同工艺条件下薄膜的光谱选择特性以及相应的光学常数 ,通过俄歇电子能谱对薄膜的不同深度的元素成分进行了分析 ,由原子力显微镜测量并处理得到氮化钛薄膜的表面形貌图。结果表明 ,氮化钛薄膜的光学性能严格依赖于氮和钛原子数比 ,符合化学计量比的TiN薄膜具有良好的光谱选择性。基底加负偏压溅射可进一步改善薄膜的性能。 展开更多
关键词 氮化钛薄膜 光学性能 薄膜物理学 光谱选择 光学常数
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确定薄膜光学常数的一种新方法 被引量:4
7
作者 徐均琪 刘梦夏 弥谦 《应用光学》 CAS CSCD 2001年第3期25-27,共3页
介绍用光谱曲线同时确定薄膜材料折射率n、消光系数k和薄膜厚度d的方法 ,给出严格的计算公式和处理过程 ,以及计算程序框图。用微型计算机很容易实现这一计算。
关键词 类金刚石膜 光学常数 全局收敛算法
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含氟及非共平面结构可溶性聚酰亚胺的合成与性能研究 被引量:13
8
作者 梅媚 彭大伟 +3 位作者 裴响林 刘婵娟 黄孝华 韦春 《绝缘材料》 CAS 北大核心 2015年第6期4-8,共5页
采用4-氟苯甲醛和2-异丙基苯胺合成新型二胺单体双(4-氨基-3-异丙基苯基)-4-氟苯基)甲烷(APFM),通过"一步法"缩聚反应得到一类新型含氟及非共平面结构的可溶性聚酰亚胺,并对其结构与性能进行表征和分析。结果表明:该聚酰亚胺... 采用4-氟苯甲醛和2-异丙基苯胺合成新型二胺单体双(4-氨基-3-异丙基苯基)-4-氟苯基)甲烷(APFM),通过"一步法"缩聚反应得到一类新型含氟及非共平面结构的可溶性聚酰亚胺,并对其结构与性能进行表征和分析。结果表明:该聚酰亚胺呈现出良好的溶解性能、高耐热性、高光学透明性、低介电常数。 展开更多
关键词 含氟聚酰亚胺 可溶性 热稳定性 光学透明性 介电常数
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大尺寸TGG晶体生长与性能研究 被引量:11
9
作者 龙勇 石自彬 +3 位作者 丁雨憧 王佳 徐扬 付昌禄 《压电与声光》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期433-436,共4页
铽镓石榴石(Tb_3Ga_5O_(12),TGG)晶体具有大的Verdet常数、低的透射损耗、高的热导率及高的激光损伤阈值,是制作高功率全固态激光器中法拉第隔离器的最佳磁光材料。采用自主研发的JGD-800型上称重自动提拉炉,成功生长出φ53mm×80mm... 铽镓石榴石(Tb_3Ga_5O_(12),TGG)晶体具有大的Verdet常数、低的透射损耗、高的热导率及高的激光损伤阈值,是制作高功率全固态激光器中法拉第隔离器的最佳磁光材料。采用自主研发的JGD-800型上称重自动提拉炉,成功生长出φ53mm×80mm,外观完整,无开裂、无螺旋的TGG晶体。加工了用于高功率隔离器、尺寸为φ40mm×30mm的TGG样品,通过可见及近红外分光光度计测试,晶体透过率约为80.6%;测试晶体的室温热导率为4.566 W/(m·K),其热导率随温度升高而下降。热膨胀测试结果表明,在26.5~200℃时,热膨胀系数为-2.682 0×10-6 K^(-1);在200~500℃时,热膨胀系数为15.090 4×10^(-6) K^(-1)。通过正交消光法测试1 064nm波长晶体的Verdet常数为39.9rad/(mT);经ZYGO干涉仪测试晶体的光学均匀性为4.3×10^(-6),透射波前为λ/5(波长λ=632.8nm);采用波长1 064nm,10Hz、9ns激光测试晶体的激光损伤阈值为3.5GW/cm^2。结果表明,本实验方法生长的大尺寸TGG晶体质量较好,在高功率全固态激光器领域中具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 铽镓石榴石(TGG)晶体 提拉法 透过率 光学均匀性 激光损伤阈值 Verdet常数
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衬底温度对用RF-PECVD法制备的非晶硅薄膜光学性能影响 被引量:8
10
作者 李世彬 吴志明 +3 位作者 朱魁鹏 蒋亚东 李伟 廖乃镘 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1252-1256,共5页
采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)工艺制备非晶硅(a-Si:H)薄膜,KBr衬底在175-275℃范围内变化,用傅立叶红外光谱仪(FTIR)测试KBr衬底上的薄膜红外光谱峰随衬底温度的变化情况,结合红外光谱峰的理论分析确定薄膜中氢含量随衬底... 采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)工艺制备非晶硅(a-Si:H)薄膜,KBr衬底在175-275℃范围内变化,用傅立叶红外光谱仪(FTIR)测试KBr衬底上的薄膜红外光谱峰随衬底温度的变化情况,结合红外光谱峰的理论分析确定薄膜中氢含量随衬底温度的变化规律.光谱式椭圆偏振仪中用ForouhiBloomer(FB)模型拟合得到薄膜的折射率(n),消光系数(k),膜厚及光学禁带宽度(Eg),并用扫描电镜(SEM)断面分析对椭偏仪测试结果的准确性进行验证.根据Tauc公式推出薄膜的Eg和截止波长,并和FB模型得到的结果进行了比较,Eg(FB)和Eg(Tauc)的差值在0.015eV内. 展开更多
关键词 非晶硅 光学常数 光学禁带 傅立叶红外光谱 薄膜
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TiO_2薄膜厚度及其光学常数的测量 被引量:4
11
作者 王德育 袁春伟 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 1999年第5期105-108,共4页
描述了非线性回归模型在 Ti O2 薄膜的光学常数及其厚度测量中的应用.利用薄膜在可见光范围内的光谱特性使用曲线拟合技术对它的光学常数进行了测量.研究结果表明,这种方法可以简单、高效地应用于对薄膜厚度及其光学常数的测量.
关键词 非线性 回归模型 薄膜 光学常数 二氧化钛 测量
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基于太赫兹时域光谱的塑化剂定量分析 被引量:10
12
作者 张放 刘丽萍 +1 位作者 宋茂江 杨霏 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2017年第3期302-309,共8页
利用太赫兹时域光谱结合化学计量学对塑化剂定量检测技术进行了研究。提出了一种利用太赫兹透射光谱测量超薄液体样品光学常数的新方法。利用该方法,以一种典型塑化剂——邻苯二甲酸二丁酯(DBP)为例,采用内径为200μm的比色皿作为样品... 利用太赫兹时域光谱结合化学计量学对塑化剂定量检测技术进行了研究。提出了一种利用太赫兹透射光谱测量超薄液体样品光学常数的新方法。利用该方法,以一种典型塑化剂——邻苯二甲酸二丁酯(DBP)为例,采用内径为200μm的比色皿作为样品载体测量了不同浓度DBP-无水乙醇和DBP-乙醇-水溶液在太赫兹波段下的折射率和吸收系数。结果表明随着DBP含量的增加,DBP-乙醇溶液和DBP-乙醇-水溶液在太赫兹波段(0.2~1.1THz)的光学参数随DBP浓度均呈有规律的变化。根据吸收系数面积、平均折射率相对DBP浓度变化曲线建立了未知溶液DBP含量的预测模型。该研究表明太赫兹时域光谱技术可能成为快速检测白酒等含乙醇饮料中塑化剂含量的新方法。 展开更多
关键词 光谱学 定量分析 太赫兹 塑化剂 光学常数
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类金刚石薄膜光学特性的椭偏法研究 被引量:10
13
作者 梁海锋 严一心 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期287-289,共3页
本文采用脉冲电弧离子镀的方法,在p型硅上沉积类金刚石薄膜,用椭偏法测试薄膜的光学常数。根据沉积方法的特点,建立一个四层结构的膜系,并由每一层的吸收情况合理选择色散关系;结合透过率的测试结果,利用光度法给测出薄膜折射率和厚度... 本文采用脉冲电弧离子镀的方法,在p型硅上沉积类金刚石薄膜,用椭偏法测试薄膜的光学常数。根据沉积方法的特点,建立一个四层结构的膜系,并由每一层的吸收情况合理选择色散关系;结合透过率的测试结果,利用光度法给测出薄膜折射率和厚度的估计值,作为椭偏法拟合的初值,拟合效果良好,得到薄膜的折射率、消光系数和几何厚度。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 椭偏仪 光学常数
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同时旋转起偏器和检偏器的红外椭圆偏振光谱仪研制 被引量:8
14
作者 黄志明 金世荣 +4 位作者 陈诗伟 陈敏辉 史国良 陈良尧 褚君浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期321-326,共6页
研制成测量材料光学特性的红外椭圆偏振光谱仪,其测量波长范围为2.5~12.5μm,入射角度在20°~90°连续可变.系统数据采集、前放自动增益控制、入射角度和波长设置及扫描均由计算机自动控制.给出了金反射率和... 研制成测量材料光学特性的红外椭圆偏振光谱仪,其测量波长范围为2.5~12.5μm,入射角度在20°~90°连续可变.系统数据采集、前放自动增益控制、入射角度和波长设置及扫描均由计算机自动控制.给出了金反射率和GaAs体材料折射率椭偏测量,并与其它方法进行了对比。 展开更多
关键词 红外 椭圆偏振 光谱仪 椭偏参数 光学常数
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Fabrication and performance evaluation of novel transparent ceramics RE:Tb_(3)Ga_(5)O_(12)(RE=Pr,Tm,Dy)toward magneto-optical application 被引量:8
15
作者 Xiaoying Li Ilya LSnetkov +11 位作者 Aleksey Yakovlev Qiang Liu Xin Liu Ziyu Liu Penghui Chen Danyang Zhu Lexiang Wu Zhaoxiang Yang Tengfei Xie Haohong Chen Oleg Palashov Jiang Li 《Journal of Advanced Ceramics》 SCIE CAS CSCD 2021年第2期271-278,共8页
Transparent ceramics are at the heart of modern magneto-optical materials providing promising opportunities for Faraday isolators.1.0 at%RE:Tb3Ga5O12(rare earth(RE)=Pr,Tm,Dy)transparent ceramics were successfully prep... Transparent ceramics are at the heart of modern magneto-optical materials providing promising opportunities for Faraday isolators.1.0 at%RE:Tb3Ga5O12(rare earth(RE)=Pr,Tm,Dy)transparent ceramics were successfully prepared by air sintering and sequential HIP technique using the coprecipitated powders as the raw material.All the powders have shown to be a pure cubic terbium gallium garnet(TGG)phase and exhibit good dispersion.Additionally,a change could not be observed in particle shape with the different doped ions.After the two-step sintering,all the obtained ceramics have good optical quality,and the in-line transmittances at 1070 nm are higher than 80%.Moreover,no secondary phase can be detected from the microstructures.However,the pores which remain entrapped in the ceramics can be noted.The Verdet constant of ceramic samples is optimized by RE doping,and the Verdet constant at 632.8 nm is about−143 rad·T^(−1)·m^(−1),which is about 5%higher than that of TGG ceramics.Finally,the thermo-optical properties of 1.0 at%RE:TGG transparent ceramics are compared.The annealed TGG ceramic showed the best thermo-optical properties,and the thermally induced depolarization of 1.0 at%Ce:TGG and 1.0 at%Tm:TGG was inferior to that of annealed TGG ceramic. 展开更多
关键词 magneto-optical material rare earth(RE) terbium gallium garnet(TGG)ceramics Verdet constant thermo-optical properties
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薄膜光学常数的模拟退火算法研究 被引量:5
16
作者 李建超 苏俊宏 《光学与光电技术》 2005年第1期58-60,共3页
在薄膜的光学参数拟合时,操作者给定的模型初值对拟合结果有很大的关系。采用广泛用于求解复杂系统优化问题的模拟退火算法来求解薄膜光学常数,降低了操作者给定拟合模型初值的要求。通过对常规的模拟退火算法以及非常快速的模拟退火方... 在薄膜的光学参数拟合时,操作者给定的模型初值对拟合结果有很大的关系。采用广泛用于求解复杂系统优化问题的模拟退火算法来求解薄膜光学常数,降低了操作者给定拟合模型初值的要求。通过对常规的模拟退火算法以及非常快速的模拟退火方法(Very Fast Stimulated Annealing,VFSA)分析,针对性地在模型扰动及退火计划上存在的缺陷作了改进,提高了 VFSA 算法的计算稳健性。通过大量的拟合实践,验证了提出的改进模拟退火方法的有效性。 展开更多
关键词 类金刚石薄膜 光学常数 模拟退火算法
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Synthesis and Properties of New Fluorinated Polyimides Derived from an Unsymmetrical and Noncoplanar Diamine 被引量:6
17
作者 汪称意 赵晓燕 李光 《Chinese Journal of Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2012年第10期2466-2472,共7页
A new unsymmetrical and noncoplanar diamine containing trifluoromethyl and trimethyl groups, 1,4-bis(4- amino-2-trifluoromethylphenoxy)-2,3,5-trimethylbenzene (2), was synthesized using 2,3,5-trimethylhydroquinone... A new unsymmetrical and noncoplanar diamine containing trifluoromethyl and trimethyl groups, 1,4-bis(4- amino-2-trifluoromethylphenoxy)-2,3,5-trimethylbenzene (2), was synthesized using 2,3,5-trimethylhydroquinone and 2-chloro-5-nitrobenzotrifluoride as starting materials. A series of fluorinated poly(ether imide)s (PEIs) (4a-4d) were prepared from diamine 2 with four aromatic dianhydrides via a one-step high-temperature polycondensation procedure. The obtained PEIs were readily soluble in most organic solvents and could be solution-cast into flexible and strong films. The resulting thin films exhibited light color and good optical transparency with a cutoff wave- length of 356--376 nm. They also displayed good thermal stability with glass transition temperatures (Tg) above 281℃, 10% weight loss temperatures in the range of 482--486 ~C, and the weight residue more than 55% at 800℃ in nitrogen. Moreover, they revealed low dielectric constants (2.77-2.93 at 1 MHz) and low moisture absorp- tions (0.41%-0.57%). 展开更多
关键词 fluorinated polyimides SOLUBILITY optical transparency dielectric constant
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光盘反射层纳米Al膜性能研究 被引量:3
18
作者 刘波 阮昊 干福熹 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第10期987-990,共4页
利用原子力显微镜 (AFM)和椭圆偏振仪研究了溅射条件对纳米 Al薄膜性能的影响。研究表明 ,随溅射 Ar气压的增大 ,纳米 Al膜的表面粗糙度增加 ,折射率降低 ,反射率减小 ,这与薄膜的结构变化密切相关 ;随溅射功率的增大 ,纳米 Al膜的表面... 利用原子力显微镜 (AFM)和椭圆偏振仪研究了溅射条件对纳米 Al薄膜性能的影响。研究表明 ,随溅射 Ar气压的增大 ,纳米 Al膜的表面粗糙度增加 ,折射率降低 ,反射率减小 ,这与薄膜的结构变化密切相关 ;随溅射功率的增大 ,纳米 Al膜的表面粗糙度增加 ,而其光学常数的变化则不明显。 展开更多
关键词 光盘 反射层 纳料Al膜 溅射条件 光学常数 铝膜
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离子后处理对TiO2光学薄膜及损伤特性的影响 被引量:7
19
作者 毛思达 邹永刚 +5 位作者 范杰 兰云萍 王海珠 张家斌 董家宁 马晓辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期1451-1457,共7页
为了进一步提高TiO2薄膜的光学特性和激光损伤阈值,采用电子束蒸发技术在K9玻璃上沉积了单层TiO2薄膜,并用Ar/O混合等离子体对样品进行后处理。通过研究薄膜光谱特性、表面缺陷密度、薄膜表面形貌、薄膜损伤阈值以及薄膜损伤形貌,分析... 为了进一步提高TiO2薄膜的光学特性和激光损伤阈值,采用电子束蒸发技术在K9玻璃上沉积了单层TiO2薄膜,并用Ar/O混合等离子体对样品进行后处理。通过研究薄膜光谱特性、表面缺陷密度、薄膜表面形貌、薄膜损伤阈值以及薄膜损伤形貌,分析了等离子体后处理时间对TiO2薄膜激光损伤特性的影响。实验结果表明,随着等离子体后处理时间的增加,薄膜折射率及致密度提高,物理厚度减少,表面粗糙度下降,表面缺陷密度先减少后增加;在1064nm激光辐射下,TiO2薄膜的激光损伤阈值从未经等离子后处理的5.6J/cm2提升至后处理20min的9.65J/cm2,提升幅度高达72.3%,因此能够更广泛更稳定地应用在激光器中。 展开更多
关键词 TIO2薄膜 电子束蒸发 光学常数 等离子后处理 激光损伤阈值
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合金铝表面近红外波段光学常数的反演与双向反射分布函数的计算 被引量:7
20
作者 杨玉峰 吴振森 曹运华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期262-267,共6页
采用分光光度计测得了0.5-1.5μm波段抛光合金铝样片的镜反射率谱,利用常数外推法和幂函数外推法将其进行外推,获得了全波段的镜反射率谱。然后根据克拉默斯-克勒尼希(Kramers-Kronig)方法,反演获得了该样片在0.5-2.5μm波段的复折射... 采用分光光度计测得了0.5-1.5μm波段抛光合金铝样片的镜反射率谱,利用常数外推法和幂函数外推法将其进行外推,获得了全波段的镜反射率谱。然后根据克拉默斯-克勒尼希(Kramers-Kronig)方法,反演获得了该样片在0.5-2.5μm波段的复折射率和介电常数,与0.5-1.5μm波段椭偏仪的测量结果吻合良好。利用基尔霍夫法和反演得到的介电常数,计算了波长1.06μm时粗糙合金铝样片的散射双向反射分布函数(BRDF),与BRDF测量仪得到的结果吻合良好。利用样片的粗糙度参数和外推的1.5-2.5μm波段的介电常数,获得了粗糙合金铝样片在该波段的散射BRDF。 展开更多
关键词 散射 克拉默斯-克勒尼希方法 粗糙度参数 光学常数 双向反射分布函数
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