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静态膨胀法真空标准校准下限延伸方法研究 被引量：8
1
作者 李得天 赵光平 +1 位作者 郭美如 徐婕 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期314-317,共4页
影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法。NEGP对惰性气体无抽速,当以惰性气体作为校准气体时,NEGP既维持了校准室中的超高真空本底,又不改变... 影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法。NEGP对惰性气体无抽速,当以惰性气体作为校准气体时,NEGP既维持了校准室中的超高真空本底,又不改变校准室内惰性气体的气体量,从而保证气体静态膨胀时波义耳定律严格成立,使标准压力能够准确计算。这种方法将静态膨胀法真空标准校准能力的下限延伸到了10-7Pa量级。 展开更多
关键词 静态膨胀法真空标准 校准下限延伸 非蒸散型吸气剂泵 不确定度评定
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NEG泵抽气性能仿真模拟与测试系统设计 被引量：1
2
作者 王姣龙 王国栋 +4 位作者 刘霄 蔡洋洋 张峰 陈长琦 谢远来 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期139-145,共7页
烧结型非蒸散吸气剂(NEG)泵HV400具有对氢及氢同位素有很高的亲和力,即使室温状态下也能发生吸附效应。为了适用于EAST托卡马克中性束注入器工作条件下稳定抽气,针对HV400的抽气性能开展了模拟仿真和实验研究。采用Molflow软件仿真分析... 烧结型非蒸散吸气剂(NEG)泵HV400具有对氢及氢同位素有很高的亲和力,即使室温状态下也能发生吸附效应。为了适用于EAST托卡马克中性束注入器工作条件下稳定抽气,针对HV400的抽气性能开展了模拟仿真和实验研究。采用Molflow软件仿真分析了工作状态下不同进气量的压力分布规律与抽气性能,得到了系统平衡压力与进气量以及抽速随着平衡压力而变化的特性曲线,发现三种气体在10^(-3)~10^(-2)Pa时抽速有微小起伏,表明HV400对H_(2)、CO_(2)和N2抽气性能稳定,评估结果与实际抽速相比误差分别为1.95%、3.13%和2.09%,均在合理误差范围内。基于标准化流量计法完成了NEG泵抽速测试系统设计与平台搭建,并进行了抽速性能测试实验,实验结果与仿真模拟都验证了系统设计的可行性,且在10-3Pa量级下抽氢效果最好,为NEG泵在中性束注入器的真空系统设计提供了理论依据和技术支持。 展开更多
关键词 非蒸散吸气剂泵 中性束注入器 抽速测试罩 Molflow
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一种新型小型化高抽速的复合吸气泵
3
作者 郭卫斌 薛函迎 +1 位作者 柴云川 王浏杰 《真空电子技术》 2020年第2期39-43,共5页
本文介绍了一种高抽速体积小巧的由溅射离子泵和吸气剂泵组合而成的复合泵,其特别适用于超高真空实验室设备、便携式真空仪器等领域。其采用吸气剂泵作为主泵,用一个小型离子泵安装在吸气剂泵的支架内用来抽除吸气剂泵无法抽除的甲烷、... 本文介绍了一种高抽速体积小巧的由溅射离子泵和吸气剂泵组合而成的复合泵,其特别适用于超高真空实验室设备、便携式真空仪器等领域。其采用吸气剂泵作为主泵,用一个小型离子泵安装在吸气剂泵的支架内用来抽除吸气剂泵无法抽除的甲烷、惰性气体等,具有结构紧凑、体积小巧、便于安装和维护,抽速高等特点。 展开更多
关键词 超高真空 溅射离子泵 吸气剂泵 复合泵
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低压力下复杂结构真空容器容积比的测量方法研究
4
作者 吉康 成永军 +3 位作者 杨长青 习振华 张瑞芳 张琦 《真空与低温》 2016年第1期30-34,共5页
真空容器容积比的测量方法通常有称重法和静态膨胀法。目前,复杂结构真空容器容积比主要是在较高的压力下通过气体静态膨胀进行测量。但当膨胀压力低于10^(-2)Pa时,真空容器器壁的放气会对容积比的测量带来很大的影响。为了确保在膨胀... 真空容器容积比的测量方法通常有称重法和静态膨胀法。目前,复杂结构真空容器容积比主要是在较高的压力下通过气体静态膨胀进行测量。但当膨胀压力低于10^(-2)Pa时,真空容器器壁的放气会对容积比的测量带来很大的影响。为了确保在膨胀前后气体量不改变,即减小在低压力下真空容器的放气对测量的影响,提出了利用非蒸散性吸气泵选择性抽气的特性,结合静态膨胀法利用惰性气体氩气(Ar)、氦气(He)来测量真空容器的容积比。 展开更多
关键词 容积比测量 非蒸散型吸气剂泵 静态膨胀法
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10^(-10)Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵 被引量：13
5
作者 蒋迪奎 陈丽萍 殷立新 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期222-224,共3页
不改变商用SIP的基本结构 ,把NEG组件WP1 2 5 0装入SIP ,构成 (SIP +NEG)的XHV复合泵。它使SIP和NEG的特点互补 ,综合性能优越。NEG激活前 ,SIP单独抽气 ,极限压强 1 1× 1 0 -8Pa。NEG激活后 ,SIP和NEG联合抽气 ,复合泵的极限压... 不改变商用SIP的基本结构 ,把NEG组件WP1 2 5 0装入SIP ,构成 (SIP +NEG)的XHV复合泵。它使SIP和NEG的特点互补 ,综合性能优越。NEG激活前 ,SIP单独抽气 ,极限压强 1 1× 1 0 -8Pa。NEG激活后 ,SIP和NEG联合抽气 ,复合泵的极限压强降到 7× 1 0 -1 0 Pa ,抽速稳定的范围更广 ,标称抽速约是SIP抽速的 2 展开更多
关键词 溅射离子泵 非蒸散型吸气剂 复合泵 真空泵
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