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Nb/Al-AlO_x/Nb隧道结制备中压控电压源阳极氧化工艺研究 被引量:2
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作者 查士同 曹春海 +5 位作者 许钦印 李梦月 康琳 许伟伟 陈健 吴培亨 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期31-33,共3页
采用计算机程控的压控电压源阳极氧化模式研究制备出自对准Nb/Al-AlOx/Nb隧道结的绝缘层Nb2O5/Al2O3/Nb2O5。研究了氧化电压、氧化层的厚度和氧化时间的关系。当阳极氧化电压变化率低于8V/min时,阳极氧化层的厚度基本取决于氧化电压的大... 采用计算机程控的压控电压源阳极氧化模式研究制备出自对准Nb/Al-AlOx/Nb隧道结的绝缘层Nb2O5/Al2O3/Nb2O5。研究了氧化电压、氧化层的厚度和氧化时间的关系。当阳极氧化电压变化率低于8V/min时,阳极氧化层的厚度基本取决于氧化电压的大小,而与氧化电压变化率无关。我们已采用电压源阳极氧化技术成功制备出超导Nb/Al-AlOx/Nb隧道结。 展开更多
关键词 阳极氧化 隧道结 nb/al-alox/nb
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Nb/Al-AlO_x/Nb超导隧道结的制备 被引量:1
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作者 姚晓栋 曹春海 +5 位作者 张广涵 翟计全 康琳 许伟伟 陈健 吴培亨 《低温与超导》 CAS 北大核心 2015年第7期19-21,共3页
在高阻硅衬底上采用光刻、直流磁控溅射、反应离子刻蚀(RIE)、等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)等方法研究制备了高质量的Nb/Al-Al Ox/Nb超导隧道结。在4.2K下,测量了直径8μm的圆形结样品,得到临界电流密度约为1.6k A/cm2,漏电流约... 在高阻硅衬底上采用光刻、直流磁控溅射、反应离子刻蚀(RIE)、等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)等方法研究制备了高质量的Nb/Al-Al Ox/Nb超导隧道结。在4.2K下,测量了直径8μm的圆形结样品,得到临界电流密度约为1.6k A/cm2,漏电流约为50μA。制结工艺流程的重复性较好。 展开更多
关键词 nb/al-alox/nb 超导隧道结 制备工艺
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超导太赫兹直接检测器的制备技术研究
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作者 王海萍 曹春海 +5 位作者 刘奥谱 徐祖雨 孙国柱 陈健 许伟伟 吴培亨 《低温与超导》 CAS 北大核心 2018年第10期40-44,共5页
本文研究了超导太赫兹直接检测器的制备流程和关键工艺技术,采用步进投影式光刻技术,来满足检测器对小面积超导隧道结和高频宽带匹配电路的高精度尺寸要求。实验获得了Nb膜反应离子刻蚀形成约42°斜坡角度的刻蚀气体CF4/O2比,解决... 本文研究了超导太赫兹直接检测器的制备流程和关键工艺技术,采用步进投影式光刻技术,来满足检测器对小面积超导隧道结和高频宽带匹配电路的高精度尺寸要求。实验获得了Nb膜反应离子刻蚀形成约42°斜坡角度的刻蚀气体CF4/O2比,解决了超导微带线在天线边缘处容易断线问题,成功制备出超导太赫兹直接检测器样品。 展开更多
关键词 nb/al-alox/nb 隧道结 太赫兹检测器 斜坡刻蚀 制备工艺
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Fabrication and characterization of all-Nb lumped-element Josephson parametric amplifiers
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作者 Hang Xue Zhirong Lin +4 位作者 Wenbing Jiang Zhengqi Niu Kuang Liu Wei Peng Zhen Wang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第6期43-47,共5页
Josephson parametric amplifiers (JPAs) with nearly quantum-limited noise performance have become indispensable devices for the measurements of superconducting quantum information. We have developed an all-Nb lumped-el... Josephson parametric amplifiers (JPAs) with nearly quantum-limited noise performance have become indispensable devices for the measurements of superconducting quantum information. We have developed an all-Nb lumped-element flux-driven JPA operating in the three-wave mixing mode. Our Nb-based JPA comprises Nb/Al-AlOx/Nb Josephson junctions, a parallel-plate capacitor with SiO2 dielectric sandwiched between two Nb layers, a bottom coplanar waveguides layer, and a top Nb wiring layer. We experimentally demonstrate a 20 dB gain over a 190 MHz bandwidth, a mean 1 dB compression of -123 dBm, and near quantum-limited noise performance. This fabrication process can be further used to design impedance transformed parametric amplifiers for multiple-qubit readout. 展开更多
关键词 Josephson parametric amplifier nb/al-alox/nb Josephson junctions lumped-element resonator
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