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考虑非局部效应的纳米梁非线性振动 被引量:9
1
作者 刘灿昌 裘进浩 +1 位作者 季宏丽 刘露 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2013年第4期158-162,共5页
以弹性理论为基础,建立考虑非局部效应和轴向非线性伸长的两端固支纳米梁物理模型,推导其动力学方程,计算得到考虑非局部效应和轴向非线性纳米梁的固有频率,研究考虑非局部效应的纳米梁主谐波共振响应。数值结果表明,非局部效应对两端... 以弹性理论为基础,建立考虑非局部效应和轴向非线性伸长的两端固支纳米梁物理模型,推导其动力学方程,计算得到考虑非局部效应和轴向非线性纳米梁的固有频率,研究考虑非局部效应的纳米梁主谐波共振响应。数值结果表明,非局部效应对两端固支纳米梁固有频率和幅频关系均有影响。 展开更多
关键词 非局部效应 纳米梁 非线性模型 多尺度
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几种基于MEMS的纳米梁制作方法研究 被引量:5
2
作者 许科峰 于海涛 +3 位作者 杨永亮 杨恒 李昕欣 王跃林 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1971-1976,共6页
特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构.提出了几种基于MEMS技术的纳米梁制作方法,通过利用MEMS技术中材料与工艺的特性实现单晶硅纳米梁的制作.在普通(111)硅片上,利用各向异性湿法腐蚀对(111)面腐蚀速率极低的特性,... 特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构.提出了几种基于MEMS技术的纳米梁制作方法,通过利用MEMS技术中材料与工艺的特性实现单晶硅纳米梁的制作.在普通(111)硅片上,利用各向异性湿法腐蚀对(111)面腐蚀速率极低的特性,通过干法与湿法腐蚀相结合制成厚度在100nm以下的纳米梁.该方法不使用SOI硅片,有效控制了成本.在(100)SOI硅片上,通过氧化减薄的方法得到厚度在100nm以下的多种纳米梁,由于热氧化的精度高,一致性好,该方法重复性与一致性均较好.在(110)SOI硅片上,利用硅的各向异性腐蚀特性以及(110)硅片的晶向特点,制作宽度在100nm以下的纳米梁,梁的两个侧面是(111)面. 展开更多
关键词 MEMS 纳米梁 各向异性腐蚀 纳米谐振器
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Bending of small-scale Timoshenko beams based on the integral/differential nonlocal-micropolar elasticity theory: a finite element approach 被引量:3
3
作者 M. FARAJI-OSKOUIE A. NOROUZZADEH +1 位作者 R. ANSARI H. ROUHI 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI CSCD 2019年第6期767-782,共16页
A novel size-dependent model is developed herein to study the bending behavior of beam-type micro/nano-structures considering combined effects of nonlocality and micro-rotational degrees of freedom. To accomplish this... A novel size-dependent model is developed herein to study the bending behavior of beam-type micro/nano-structures considering combined effects of nonlocality and micro-rotational degrees of freedom. To accomplish this aim, the micropolar theory is combined with the nonlocal elasticity. To consider the nonlocality, both integral (original) and differential formulations of Eringen’s nonlocal theory are considered. The beams are considered to be Timoshenko-type, and the governing equations are derived in the variational form through Hamilton’s principle. The relations are written in an appropriate matrix-vector representation that can be readily utilized in numerical approaches. A finite element (FE) approach is also proposed for the solution procedure. Parametric studies are conducted to show the simultaneous nonlocal and micropolar effects on the bending response of small-scale beams under different boundary conditions. 展开更多
关键词 INTEGRAL MODEL of NONLOCAL ELASTICITY DIFFERENTIAL MODEL of NONLOCAL ELASTICITY MICROPOLAR theory finite element (FE) analysis Timoshenko nano-beam
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基于电子隧道效应的纳米梁非线性振动控制 被引量:3
4
作者 姜瑞瑞 刘灿昌 +4 位作者 李磊 秦志昌 万磊 孔维旭 周长城 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2019年第7期28-34,49,共8页
以Euler-Bornoulli梁为振动模型,提出了基于电子隧道效应的纳米梁非线性振动控制方法。隧道效应电流具有高灵敏性、高精确性的特点,可用于检测纳米梁的振动信号。应用位移和速度电压反馈控制器,考虑时滞反馈影响,建立基于隧道效应的纳... 以Euler-Bornoulli梁为振动模型,提出了基于电子隧道效应的纳米梁非线性振动控制方法。隧道效应电流具有高灵敏性、高精确性的特点,可用于检测纳米梁的振动信号。应用位移和速度电压反馈控制器,考虑时滞反馈影响,建立基于隧道效应的纳米梁时滞非线性振动控制方程,应用多尺度方法得到纳米梁主共振的幅频响应方程。研究了直流和交流激励电压、控制增益和时滞等参数与纳米梁振动非线性之间的关系,分析了减弱系统非线性、增强系统稳定性的影响因素。研究结果表明,通过选择合适的控制增益和时滞,适当减小直流和交流激励电压幅值可以降低振动的非线性,提高系统的稳定性。 展开更多
关键词 纳米梁非线性振动 电子隧道效应 时滞 稳定性
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Dynamic modeling of preloaded size-dependent nano-crystalline nano-structures
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作者 F.EBRAHIMI M.R.BARATI 《Applied Mathematics and Mechanics(English Edition)》 SCIE EI CSCD 2017年第12期1753-1772,共20页
The vibration behavior of size-dependent nano-crystalline nano-beams is investigated based on nonlocal, couple stress and surface elasticity theories. A nano- crystalline nano-beam is composed of three phases which ar... The vibration behavior of size-dependent nano-crystalline nano-beams is investigated based on nonlocal, couple stress and surface elasticity theories. A nano- crystalline nano-beam is composed of three phases which are nano-grains, nano-voids, and interface. Nano-voids or porosities inside the material have a stiffness-softening impact on the nano-beam. A Eringen's nonlocal elasticity theory is applied in the analysis of nano-crystalline nano-beams for the first time. Residual surface stresses which are usually neglected in modeling nano-crystalline nano-beams are incorporated into nonlocal elasticity to better understand the physics of the problem. Also, a modified couple stress theory is used to capture rigid rotations of grains. Applying a differential transform method (DTM) satisfying various boundary conditions, the governing equations obtained from the Hamilton's principle are solved. Reliability of the proposed approach is verified by comparing the obtained results with those provided in the literature. The effects of the nonlocal parameter, surface effect, couple stress, grain size, porosities, and interface thickness on the vibration characteristics of nano-crystalline nano-beams are explored. 展开更多
关键词 surface effect free vibration nano-crystalline nano-beam nonlocal elasticity modified couple stress theory
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State-space approach to vibration of gold nano-beam induced by ramp type heating 被引量:1
6
作者 Hamdy M.Youssef Khaled A.Elsibai 《Nano-Micro Letters》 SCIE EI CAS 2010年第3期139-147,共9页
In the nanoscale beam,two effects become domineering.One is the non-Fourier effect in heat conduction and the other is the coupling effect between temperature and strain rate.In the present study,a generalized solutio... In the nanoscale beam,two effects become domineering.One is the non-Fourier effect in heat conduction and the other is the coupling effect between temperature and strain rate.In the present study,a generalized solution for the generalized thermoelastic vibration of gold nano-beam resonator induced by ramp type heating is developed.The solution takes into account the above two effects.State-space and Laplace transform methods are used to determine the lateral vibration,the temperature,the displacement,the stress and the strain energy of the beam.The effects of the relaxation time and the ramping time parameters have been studied. 展开更多
关键词 Thermoelasticity Euler-Bernoulli equation Gold nano-beam Ramp type heating
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基于电容式微机械声学传感的纳米梁非线性振动控制 被引量:2
7
作者 万磊 刘灿昌 +2 位作者 孔维旭 黎德祥 周英超 《科学技术与工程》 北大核心 2020年第13期5032-5037,共6页
电容式微机械声学传感器(CMUT)具有高带宽、易集成阵列化、无需匹配层、灵敏度高等优点,利用CMUT器件检测纳米梁产生的声波信号,得到纳米梁的振动信息,将CMUT器件置于纳米梁下方作为振动信号检测传感器。应用静电反馈控制器,以Euler-Bor... 电容式微机械声学传感器(CMUT)具有高带宽、易集成阵列化、无需匹配层、灵敏度高等优点,利用CMUT器件检测纳米梁产生的声波信号,得到纳米梁的振动信息,将CMUT器件置于纳米梁下方作为振动信号检测传感器。应用静电反馈控制器,以Euler-Bornoulli梁为振动模型,提出基于CMUT传感的纳米梁非线性振动控制方法,建立纳米梁非线性振动微分方程,应用多尺度方法研究纳米梁的非线性振动控制。分析了控制增益等系统参数与纳米梁非线性振动之间的关系,研究了改变系统参数来增强系统振动稳定性的方法。研究结果表明,选择合适的系统参数可以减弱甚至消除系统振动的非线性并增强系统的稳定性。 展开更多
关键词 纳米梁 非线性振动 电容式微机械声学传感器 稳定性
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含磁电弹夹层的压电/压磁层合纳米梁弯曲的研究 被引量:2
8
作者 朱炳任 刘世伦 陈红迁 《装甲兵工程学院学报》 2019年第3期120-126,共7页
为研究磁电弹夹层及尺寸效应对含磁电弹夹层的压电/压磁层合纳米梁弯曲行为的影响,基于非局部理论与正弦剪切型变形梁理论建立了相应的力学模型,并利用虚功原理推导出层合梁平衡方程与边界条件,最后通过数值解法求得层合梁中点的弯曲挠... 为研究磁电弹夹层及尺寸效应对含磁电弹夹层的压电/压磁层合纳米梁弯曲行为的影响,基于非局部理论与正弦剪切型变形梁理论建立了相应的力学模型,并利用虚功原理推导出层合梁平衡方程与边界条件,最后通过数值解法求得层合梁中点的弯曲挠度。对数值结果分析可知:磁电弹夹层对压电/压磁层合纳米梁的弯曲有重要影响,其中主要的影响因素包括磁电弹夹层中压电或压磁材料的体积分数和夹层厚度。分析得到了压电或压磁材料的体积分数和夹层厚度以及非局部参数对层合梁弯曲影响的规律,所得结论可为此类材料的工程应用提供理论参考。 展开更多
关键词 多铁性 弯曲 纳米梁 磁电弹夹层
原文传递
Vibration of Nano Beam Induced by Ramp Type Heating
9
作者 Hamdy M. Youssef Khaled A. Elsibai 《World Journal of Nano Science and Engineering》 2011年第2期37-44,共8页
The non-Fourier effect in heat conduction and the coupling effect between temperature and strain rate, became the most significant effects in the nano-scale beam. In the present study, a generalized solution for the g... The non-Fourier effect in heat conduction and the coupling effect between temperature and strain rate, became the most significant effects in the nano-scale beam. In the present study, a generalized solution for the generalized thermoelastic vibration of a bounded nano-beam resonator induced by ramp type of heating is developed and the solutions take into account the above two effects. The Laplace transforms and direct method are used to determine the lateral vibration, the temperature, the displacement, the stress and the energy of the beam. The effects of the relaxation time and the ramping time parameters have been studied with some comparisons. 展开更多
关键词 THERMOELASTICITY nano-beam Ramp-Type HEATING Non-Fourier Heat Conduction
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两种方法分析受预紧力纳米梁的线性振动之比较(英文) 被引量:1
10
作者 李成 《新乡学院学报》 2009年第2期26-30,共5页
基于非局部理论,建立了受初始拉力的纳米梁的横向自由振动的力学模型。考虑了非局部效应对于固有频率和振动模态的影响,并以两端简支纳米梁为例,运用分离变量法和多尺度分析法考察了梁的线性振动特征。分别讨论了振动模态与无量纲化轴坐... 基于非局部理论,建立了受初始拉力的纳米梁的横向自由振动的力学模型。考虑了非局部效应对于固有频率和振动模态的影响,并以两端简支纳米梁为例,运用分离变量法和多尺度分析法考察了梁的线性振动特征。分别讨论了振动模态与无量纲化轴坐标,以及固有频率与非局部参量的关系。两种方法求得结果非常接近,这证明了新建纳米梁横向振动模型的有效性。 展开更多
关键词 纳米梁 固有频率 非局部效应 振动模态 分离变量法 多尺度法
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压电/压磁层合纳米梁屈曲及自由振动的研究 被引量:1
11
作者 刘世伦 朱炳任 《力学与实践》 北大核心 2019年第4期416-423,435,共9页
针对压电/压磁层合纳米梁屈曲、自由振动问题,基于非局部理论与正弦剪切型变形梁理论,建立了力学模型;利用哈密顿原理推导出层合梁运动方程与边界条件;通过数值解法求得层合梁临界屈曲载荷与自由振动频率。对数值结果分析可知:磁电弹夹... 针对压电/压磁层合纳米梁屈曲、自由振动问题,基于非局部理论与正弦剪切型变形梁理论,建立了力学模型;利用哈密顿原理推导出层合梁运动方程与边界条件;通过数值解法求得层合梁临界屈曲载荷与自由振动频率。对数值结果分析可知:磁电弹夹层对压电/压磁层合纳米梁屈曲和自由振动的影响不能忽略;磁电弹夹层中压电或压磁材料的体积分数和夹层厚度为主要影响因素;分析得到的影响规律可为此类材料在工程中的应用提供理论参考。 展开更多
关键词 多铁性 屈曲 振动 纳米梁 磁电弹夹层
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铝纳米梁的电学特性测试 被引量:1
12
作者 陈会军 范炜 张大成 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第1期5-8,共4页
对铝纳米梁进行了力学和电学特性测试.力学测试结果表明,铝纳米梁处于弹性形变区,具有张应力.电学测试结果表明,纳米梁电阻随着扫描次数增加而增加.通过分析电学实验结果可知,扫描次数增加使纳米梁发生塑性形变,并使纳米梁上张应力减小... 对铝纳米梁进行了力学和电学特性测试.力学测试结果表明,铝纳米梁处于弹性形变区,具有张应力.电学测试结果表明,纳米梁电阻随着扫描次数增加而增加.通过分析电学实验结果可知,扫描次数增加使纳米梁发生塑性形变,并使纳米梁上张应力减小.研究结果表明,纳米梁电阻随着纳米梁张应力增大而减小. 展开更多
关键词 纳米梁 电学特性 弹性形变 扫描次数
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非局部理论的裂纹纳米谐振梁振动特性
13
作者 郭旭晓 周含 张文明 《噪声与振动控制》 CSCD 2016年第6期1-6,共6页
以两端固支纳米谐振梁为研究对象,考虑非局部效应、非线性轴向拉伸应力以及裂纹建立其物理模型并推导出运动控制方程。将裂纹等效为连接两段纳米梁的扭转弹簧,研究非局部效应、裂纹参数对系统自由振动固有频率以及振动模态的影响。采用... 以两端固支纳米谐振梁为研究对象,考虑非局部效应、非线性轴向拉伸应力以及裂纹建立其物理模型并推导出运动控制方程。将裂纹等效为连接两段纳米梁的扭转弹簧,研究非局部效应、裂纹参数对系统自由振动固有频率以及振动模态的影响。采用非线性静电力和非线性轴向拉伸应力模型,用多尺度的数值方法研究系统主谐波共振响应的非线性刚度硬化现象与非局部效应系数以及裂纹各参数的关系。数值结果表明,非局部效应系数越大,系统固有频率越小,主共振非线性强度越大。对于两端固支谐振梁系统,裂纹位置对系统固有频率以及主共振非线性强度的影响存在着三个分界点,分别是纳米梁中点以及距离两端四分之一的两个点。研究结果可在微纳米器件的设计、性能改进及健康检测中得到应用。 展开更多
关键词 振动与波 纳米梁 裂纹 非局部效应 非线性响应
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考虑气体扩散表面应力的纳米梁非线性振动分析
14
作者 万磊 刘灿昌 +3 位作者 孔维旭 贺成泰 党壮 周长城 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2021年第10期50-56,共7页
工业有毒有害气体泄漏检测存在传感器灵敏度不高、检测时间长的问题。为解决该问题,提出一种基于气体吸附应力的浓度分析方法。考虑纳米梁表面气体扩散产生的表面应力敏感效应,通过分析纳米梁非线性振动性质的变化,得到泄漏气体相关信... 工业有毒有害气体泄漏检测存在传感器灵敏度不高、检测时间长的问题。为解决该问题,提出一种基于气体吸附应力的浓度分析方法。考虑纳米梁表面气体扩散产生的表面应力敏感效应,通过分析纳米梁非线性振动性质的变化,得到泄漏气体相关信息。以Euler-Bornoulli梁为非线性振动模型,建立考虑气体扩散表面应力的纳米梁非线性振动方程,利用多尺度方法研究气体扩散表面应力影响下的纳米梁非线性振动。通过分析幅频响应曲线,研究了扩散气体浓度、偏摩尔体积、扩散时间、阻尼、直流激励电压和交流激励电压等参数与纳米梁振动之间的关系,分析了改变参数来减弱系统非线性的方法。研究结果表明:不同的扩散气体、浓度、扩散时间会对纳米梁振动产生不同的影响,检测纳米梁的振动可以进行扩散气体信息的检测;通过改变系统参数可以降低系统的非线性振动,增强系统的稳定性。该研究工作从振动角度为检测气体浓度以及扩散速度提供一种物理检测方法和检测理论。 展开更多
关键词 扩散表面应力 纳米梁 非线性振动 多尺度方法
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基于MOS电容衬底压阻的纳米梁检测研究
15
作者 丁萃 成海涛 杨恒 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第12期47-49,53,共4页
传统的纳米谐振器压阻检测在工艺上需解决制备结深浅、掺杂浓度高的薄层电阻的技术难题。基于MOS电容衬底压阻的谐振式纳米梁系统是一种新型的压阻检测方案,它通过将MOS电容耗尽层下的掺杂区用作力敏电阻,回避了制备浅结高浓度电阻的技... 传统的纳米谐振器压阻检测在工艺上需解决制备结深浅、掺杂浓度高的薄层电阻的技术难题。基于MOS电容衬底压阻的谐振式纳米梁系统是一种新型的压阻检测方案,它通过将MOS电容耗尽层下的掺杂区用作力敏电阻,回避了制备浅结高浓度电阻的技术问题,也解决了MOS沟道压阻抗干扰性差的问题,在SoI硅片上制作了150 nm厚的梁结构。在检测方面,通过设计屏蔽式驱动封装结构,解决了驱动信号电磁耦合干扰的问题,并结合一系列降低噪声、减小串扰的措施,实现了μV量级的微弱信号检测。测试得到该结构在常温常压下的Q值为197,谐振峰频率为3.96 MHz,输出端检测灵敏度为0.73 mV/nm。 展开更多
关键词 纳米梁 谐振器 压阻检测 MOS电容
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Frequency response of a new kind of silicon nanoelectromechanical systems resonators
16
作者 于虹 袁为民 +5 位作者 刘春胜 岳东旭 吴士杰 顾勇 陈志远 黄庆安 《Journal of Southeast University(English Edition)》 EI CAS 2012年第3期310-314,共5页
Diffraction effects will bring about more difficulties in actuating resonators,which are electrostatically actuated ones with sub-micrometer or nanometer dimensions,and in detecting the frequency of the resonator by o... Diffraction effects will bring about more difficulties in actuating resonators,which are electrostatically actuated ones with sub-micrometer or nanometer dimensions,and in detecting the frequency of the resonator by optical detection.To avoid the effects of diffraction,a new type of nanoelectromechanical systems(NEMS) resonators is fabricated and actuated to oscillate.As a comparison,a doubly clamped silicon beam is also fabricated and studied.The smallest width and thickness of the resonators are 180 and 200 nm,respectively.The mechanical oscillation responses of these two kinds of resonators are studied experimentally.Results show that the resonant frequencies are from 6.8 to 20 MHz,much lower than the theoretical values.Based on the simulation,it is found that over-etching is one of the important factors which results in lower frequencies than the theoretical values.It is also found that the difference between resonance frequencies of two types of resonators decreases with the increase in beam length.The quality factor is improved greatly by lowering the pressure in the sample chamber at room temperature. 展开更多
关键词 nanoelectromechanical system resonant frequency over-etching nano-beam
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纳米压电梁谐振式加速度计 被引量:8
17
作者 许高斌 王亚洲 +2 位作者 陈兴 马渊明 张文晋 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2020年第10期149-155,共7页
在现有的谐振式加速度计中,因具有较小的谐振频率和较低的灵敏度而无法应用于高精度制导和空中姿态微调等方面。为此,设计出了一种基于纳米压电梁的谐振式加速度计,采用上下双端音叉谐振器(谐振梁采用直径为500 nm的氧化锌)与中心质量... 在现有的谐振式加速度计中,因具有较小的谐振频率和较低的灵敏度而无法应用于高精度制导和空中姿态微调等方面。为此,设计出了一种基于纳米压电梁的谐振式加速度计,采用上下双端音叉谐振器(谐振梁采用直径为500 nm的氧化锌)与中心质量块、左右支撑梁对称分布,实现了低交叉耦合和高灵敏度输出。分析并建立该加速度计结构的数学模型,在ANSYS WORKBENCH仿真平台下对其进行分析,上下谐振器的谐振频率分别为2.98793和2.98729 MHz,在该谐振频率下,X方向的位移要比另外Y、Z两个方向高两个数量级以上;在2000g加速度载荷作用下,该加速度计最大应力为241.46 MPa;在±10g的设计量程内,该结构的灵敏度为1.13311 kHz/g。基于SOI技术,设计纳米压电梁谐振式加速度计的工艺流程以验证其正确性。 展开更多
关键词 压电驱动及其检测 纳米压电梁 低交叉耦合 高灵敏度
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高灵敏度ZnO纳米梁谐振式加速度计 被引量:1
18
作者 许文元 唐彬 +1 位作者 赵宝林 谢晋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2023年第8期78-80,84,共4页
针对谐振式加速度计灵敏度较低的问题,设计了一种基于化学气相沉积(CVD)法制备的ZnO纳米线作谐振梁的谐振式加速度计,采用了双谐振梁的差分结构,利用混频检测方式进行谐振梁的激振和拾振。实现了超高灵敏度加速度检测。使用COMSOL Multi... 针对谐振式加速度计灵敏度较低的问题,设计了一种基于化学气相沉积(CVD)法制备的ZnO纳米线作谐振梁的谐振式加速度计,采用了双谐振梁的差分结构,利用混频检测方式进行谐振梁的激振和拾振。实现了超高灵敏度加速度检测。使用COMSOL Multiphysics软件建立加速度计结构原型,仿真得到谐振梁的谐振频率分别为1926.480 kHz和1926.499 kHz;在±5 gn的量程范围内,单根梁的检测灵敏度为40.218 kHz/gn,差分检测灵敏度达到80.437 kHz/gn;分析了加速度计的温度特性,差分输出模式有效抑制加速度计的零点漂移,灵敏度随温度变化为2.424 Hz/(gn·K^(-1))。 展开更多
关键词 ZNO纳米线 纳米谐振梁 混频检测 加速度计 高灵敏度
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超薄硅纳米谐振梁的制作及谐振特性的测量 被引量:3
19
作者 夏晓媛 李昕欣 +3 位作者 王跃林 李铁 杨衡 焦继伟 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第1期1-4,共4页
利用氧化、光刻、刻蚀、溅射等传统MEMS加工工艺,在绝缘衬底上的硅(SOI)基片上制作出一种厚度只有50 nm的双端固支结构的硅纳米谐振梁;在实验室条件下,针对实验中谐振梁的结构特点,提出了静电激励与感生电动势检测(EMF)的测量方法,并利... 利用氧化、光刻、刻蚀、溅射等传统MEMS加工工艺,在绝缘衬底上的硅(SOI)基片上制作出一种厚度只有50 nm的双端固支结构的硅纳米谐振梁;在实验室条件下,针对实验中谐振梁的结构特点,提出了静电激励与感生电动势检测(EMF)的测量方法,并利用专业的Conventorware MEMS仿真软件及ANSYS有限元分析软件,定量地给出合适的静电驱动电压,同时初步估算了梁谐振时将会产生的感生电动势的大小,并对此分析结果提出了相应的测试电路,为下一步对这种超薄纳米梁的实际测试工作提供了可行性的理论参考. 展开更多
关键词 双端固支硅纳米梁 感生电动势检测 谐振特性 静电驱动
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纳米束电子衍射技术及其在材料领域中的应用 被引量:1
20
作者 卢照 陈霞 +3 位作者 赵健全 张立金 丁雨葵 宋武林 《分析仪器》 CAS 2021年第6期73-77,共5页
透射电子显微镜纳米束电子衍射技术是用于表征材料物相的一种手段,对于尺寸较小的纳米颗粒进行结构分析具有一定的优势。本文详细叙述了纳米束电子衍射的基本原理及操作步骤,并以TalosF200X场发射透射电镜对金纳米颗粒同时做的选区电子... 透射电子显微镜纳米束电子衍射技术是用于表征材料物相的一种手段,对于尺寸较小的纳米颗粒进行结构分析具有一定的优势。本文详细叙述了纳米束电子衍射的基本原理及操作步骤,并以TalosF200X场发射透射电镜对金纳米颗粒同时做的选区电子衍射和纳米束电子衍射为例,说明纳米束电子衍射技术更适用于尺寸较小的单颗纳米颗粒的物相分析。 展开更多
关键词 透射电子显微镜 纳米束电子衍射 物相分析 纳米材料
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