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衬底温度对Na-Mg共掺ZnO薄膜光学性能的影响 被引量：5
1
作者 王玉新 刘奇 +3 位作者 臧谷丹 崔潇文 刘子伟 梁鸣 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期1316-1319,共4页
采用超声喷雾热解法,以石英玻璃为衬底,以乙酸锌(Zn(CH_3COO)_2·2H_2O)、硝酸镁(Mg(NO_3)_2·6H_2O)和醋酸钠(CH_3COONa·3H_2O)为前驱体溶液,在不同衬底温度(480~560℃)下制备Na-Mg共掺杂ZnO薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、... 采用超声喷雾热解法,以石英玻璃为衬底,以乙酸锌(Zn(CH_3COO)_2·2H_2O)、硝酸镁(Mg(NO_3)_2·6H_2O)和醋酸钠(CH_3COONa·3H_2O)为前驱体溶液,在不同衬底温度(480~560℃)下制备Na-Mg共掺杂ZnO薄膜。通过X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、光致发光(PL)谱和紫外-可见(UV-Vis)分光光度计等表征手段对样品的晶格结构、表面形貌、PL性能和透过率进行了研究。结果表明,衬底温度对薄膜结构和光学特性影响显著,当衬底温度为500℃时制备的Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的c轴择优最明显,表面形貌更加致密,结晶质量最好,PL性能最佳。 展开更多
关键词 超声喷雾热解法 ZNO薄膜 na-mg共掺 光学性能
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Na/Mg共掺ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及特性研究 被引量：2
2
作者 张彩珍 陈永刚 +1 位作者 刘肃 王永顺 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期547-550,共4页
利用溶胶-凝胶旋转涂膜法在耐热玻璃衬底上制备了不同膜厚的Na/Mg共掺ZnO薄膜。重点研究了膜厚对Na/Mg共掺ZnO薄膜结构和光学特性的影响。扫描电子显微镜（SEM）图像和X射线衍射（XRD）图谱分析结果表明,膜厚为200~500 nm时,随着膜厚的... 利用溶胶-凝胶旋转涂膜法在耐热玻璃衬底上制备了不同膜厚的Na/Mg共掺ZnO薄膜。重点研究了膜厚对Na/Mg共掺ZnO薄膜结构和光学特性的影响。扫描电子显微镜（SEM）图像和X射线衍射（XRD）图谱分析结果表明,膜厚为200~500 nm时,随着膜厚的增加,薄膜的结晶性、致密性及c轴择优取向生长特性都呈现出先增强后降低的趋势。透射光谱分析结果表明,薄膜在可见光范围内的平均透光率随着膜厚的增加而显著下降。实验条件下,膜厚约为300 nm的Na/Mg共掺ZnO薄膜具有优良的结构特性和透光特性。荧光光致发光（PL）谱表明该薄膜中缺陷很少,是优良的紫外发光材料。 展开更多
关键词 na/mg共掺 ZnO 薄膜 溶胶-凝胶 表面形貌
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