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基于CR302A电容触控式自动电阻测量装置研究 被引量:1
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作者 苏宏锋 《电子测量技术》 北大核心 2021年第3期155-159,共5页
针对目前电阻测量仪器采用机械旋转换挡,不支持自动换挡测量与电阻筛选的问题,研制了一种电容触控式自动电阻测量装置。装置以STC12C5A60S2单片机为主控平台,采用GM3400 NMOS场效应管与标准精密电阻组成挡位切换电路,CR302A电容触摸电... 针对目前电阻测量仪器采用机械旋转换挡,不支持自动换挡测量与电阻筛选的问题,研制了一种电容触控式自动电阻测量装置。装置以STC12C5A60S2单片机为主控平台,采用GM3400 NMOS场效应管与标准精密电阻组成挡位切换电路,CR302A电容触摸电路用于系统工作模式与测量参数的设置,LCD12864液晶屏显示电阻测量与电阻筛选结果。为了提高电阻测量精度,提出一种ADC软件补偿算法。试验结果表明,该装置实现了0~10 MΩ范围的电阻自动换挡测量与电阻筛选,电阻测量误差小于0.41%,电阻筛选功能稳定,准确性高。 展开更多
关键词 电阻测量 自动换挡 电容触控式 电阻筛选 nmos场效应管 ADC软件补偿算法
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基于SGOI和CESL结构的新型应变硅NMOSFET的有限元研究
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作者 周东 张庆东 顾晓峰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期444-447,共4页
应变硅技术通过在沟道区引入适当的应变,达到提高载流子迁移率、改善MOS器件性能的目的。利用有限元法,研究了一种基于SGOI与氮化硅CESL应变结构的新型应变硅NMOS-FET。结果表明,与采用单一的SGOI或CESL结构相比,两者共同作用下的新结... 应变硅技术通过在沟道区引入适当的应变,达到提高载流子迁移率、改善MOS器件性能的目的。利用有限元法,研究了一种基于SGOI与氮化硅CESL应变结构的新型应变硅NMOS-FET。结果表明,与采用单一的SGOI或CESL结构相比,两者共同作用下的新结构能更有效地提高沟道应变。增加氮化硅薄膜的本征应力、减小应变硅层厚度、适当提高锗组分,均能有效增加硅沟道区的应变量。采用有限元分析进行的模拟研究,可弥补实验测量的不足,为纳米级应变硅器件的设计和制造提供参考。 展开更多
关键词 应变硅 绝缘体上锗硅 接触孔刻蚀阻挡层 nmos场效应管 有限元分析
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