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色谱/质谱联用法测定NF_3中微量CF_4 被引量:13
1
作者 张洪彬 韦桂欢 周升如 《质谱学报》 EI CAS CSCD 2001年第3期51-55,共5页
本文利用色谱 质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定。采用选择离子监测 (SIM)方式测定 ,定量选择离子m z为 69,方法简单、准确、选择性好 ,CF4浓度在 55~ 550 0mg m3范围内与峰面积呈线性关系 ,方法最低检测浓度5.5mg m3,相对标准偏... 本文利用色谱 质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定。采用选择离子监测 (SIM)方式测定 ,定量选择离子m z为 69,方法简单、准确、选择性好 ,CF4浓度在 55~ 550 0mg m3范围内与峰面积呈线性关系 ,方法最低检测浓度5.5mg m3,相对标准偏差 5.6%。 展开更多
关键词 色谱 质谱 选择离子监测 nf3 CF4 半导体 刻蚀 测定 联用技术 测定 刻蚀剂 电子工业 三氟化氮 四氟化碳
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外周支及中枢支切断对背根节BDNF和NT-3表达的影响 被引量:5
2
作者 倪师今 王廷华 陈彦红 《华西医科大学学报》 CSCD 北大核心 2001年第3期350-352,共3页
目的 探讨中枢支和外周支切断对背根节 (DRG)脑源性神经营养因子 (BDNF)和神经营养因子(NT- 3)表达的影响。方法 将成年雄猫 15只分为正常组 ,外周支切断组及中枢支切断组。后两组分别紧贴背根节切断外周支和中枢支。术后动物存活 4... 目的 探讨中枢支和外周支切断对背根节 (DRG)脑源性神经营养因子 (BDNF)和神经营养因子(NT- 3)表达的影响。方法 将成年雄猫 15只分为正常组 ,外周支切断组及中枢支切断组。后两组分别紧贴背根节切断外周支和中枢支。术后动物存活 4天 ,取各组 L5 DRG用 BDNF和 NT- 3抗血清行 ABC免疫组化染色。计数各组 DRG BDNF和 NT- 3的阳性神经元数。结果 外周支、中枢支切断组 DRG BDNF和 NT- 3的阳性神经元数(2 4.1± 3.5 ,2 9.4± 5 .2、19.4± 2 .4,2 0 .2± 1.9)均较正常组者 (12 .1± 2 .2 ,13.3± 2 .9)明显增多 (P<0 .0 1)。外周支切断者亦较中枢支切断组者增多 (P<0 .0 5 )。结论 外周支及中枢支切断均可致 DRG神经元 BDNF和 NT- 3表达增加。且外周支切断对 DRG神经元 BDNF和 NT- 展开更多
关键词 外周支切断 中枢支切断 脑源性神经营养因子 神经营养因子 背根节 BDnf nf3
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NF_3 decomposition over some metal oxides in the absence of water 被引量:3
3
作者 Xianjun Niu Liang Sun YananWang Haioeng Wu Xiufeng Xu 《Journal of Natural Gas Chemistry》 EI CAS CSCD 2010年第5期463-467,共5页
NF3 decomposition in the absence of water over Al2O3, Fe2O3, Co3O4 and NiO, and transition metal oxides (Fe203, CO3O4 and NiO) coated Al2O3 reagents was investigated. The results show that Al2O3 is an active reagent... NF3 decomposition in the absence of water over Al2O3, Fe2O3, Co3O4 and NiO, and transition metal oxides (Fe203, CO3O4 and NiO) coated Al2O3 reagents was investigated. The results show that Al2O3 is an active reagent for NF3 decomposition with 100% conversion lasting for 8.5 h at 400 ℃. Fe203, Co3O4 and NiO coated Al2O3 reagents are superior to bare Al2O3, and 5%Co3O4/Al2O3 has a high reactivity with NF3 full conversion maintaining for 10.5 h. It is suggested that the presence of transition metal oxide is beneficial to the reactivity of Al2O3, and results in a significant enhancement in the fluorination of Al2O3. 展开更多
关键词 nf3 decomposition metal oxides AL2O3 REACTIVITY
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三氟化氮萃取精馏工艺研究 被引量:4
4
作者 杜伟华 《低温与特气》 CAS 2009年第2期14-17,共4页
高纯度的三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,是半导体与LCD产业制造过程中必备的材料。针对NF3气体中CF4杂质采用常规方法难以分离的特点,提出一种新的纯化工艺——低温萃取精馏纯化法,对低温萃取精馏生产高纯NF3过程的... 高纯度的三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,是半导体与LCD产业制造过程中必备的材料。针对NF3气体中CF4杂质采用常规方法难以分离的特点,提出一种新的纯化工艺——低温萃取精馏纯化法,对低温萃取精馏生产高纯NF3过程的工艺流程进行了研究,并采用AspenPlus在广泛操作条件下对精馏过程进行了精馏模拟计算。通过工艺试验,找到适合于本物系的精馏运行参数,优化了生产流程,稳定了工艺系统运行,三氟化氮纯度达到了99.999%以上,产品中的CF4杂质含量低于1×10-6(V/V)。 展开更多
关键词 三氟化氮 纯化工艺 萃取精馏 纯度
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NF_3 decomposition over Al_2O_3 reagents without water 被引量:2
5
作者 Xiufeng Xu Liang Sun Yanan Wang 《Journal of Natural Gas Chemistry》 EI CAS CSCD 2011年第4期418-422,共5页
Several Al2O3 samples were prepared by a precipitation method coupled with ultrasonic treatment,and NF3 decomposition without water over Al2O3 reagents is carried out.The effect of preparation parameters of Al2O3 reag... Several Al2O3 samples were prepared by a precipitation method coupled with ultrasonic treatment,and NF3 decomposition without water over Al2O3 reagents is carried out.The effect of preparation parameters of Al2O3 reagents,such as precipitating agents,structure directing agents,and calcining temperatures on their reactivity for NF3 decomposition has been investigated.The results show that NF3 can be decomposed completely at 400-C,and full conversion of NF3 maintains 580 min over the best Al2O3 reagent,calcined at 600-C which was prepared using both PEG-2000 and Tween-60 as structure directing agents,ammonia as a precipitating agent. 展开更多
关键词 nf3 decomposition without water Al2O3 preparation parameters REACTIVITY
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NF_3与NH_3偶极矩反差原因分析 被引量:2
6
作者 孙阮冰 张健夫 《周口师专学报》 1997年第2期38-39,共2页
NF_3的偶极矩为0.7×10!(-30)c·m,NH_3的偶极矩为5.0×10^(-30)c·m。在NF_3和NH_3分子中,N原子sp^3杂化,分子都是三角锥形,但∠FNF102.5°小于∠HNH(106.75°),N—F间的电负性差(4.0—3.0=1.0)大于N—H间的... NF_3的偶极矩为0.7×10!(-30)c·m,NH_3的偶极矩为5.0×10^(-30)c·m。在NF_3和NH_3分子中,N原子sp^3杂化,分子都是三角锥形,但∠FNF102.5°小于∠HNH(106.75°),N—F间的电负性差(4.0—3.0=1.0)大于N—H间的电负性差(3.0—2.1-0.9),因此常有人对NF_3偶极矩比NH_3小感到难以理解。分子的总偶极矩实际上是分子内部各种因素所产生的分偶极矩的矢量和。分子内能产生偶极矩因素很多,对于NF_3和NH_3来说。 展开更多
关键词 nf3 NH3 键偶极矩 矢量和 孤电子对偶极矩
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铀化合物与不同氟化剂反应的高温热力学 被引量:2
7
作者 戴建兴 张焕琦 +1 位作者 李晴暖 吴国忠 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期704-708,共5页
高温氟化物挥发法是一种用于分离和获取高纯度铀的核燃料干法分离工艺。该工艺技术成熟,分离得到的铀品质好,但因高温氟化的反应条件对设备材质要求苛刻,该方法在乏燃料后处理领域未能得到很好的发展。本文通过比较不同氟化剂与铀化合... 高温氟化物挥发法是一种用于分离和获取高纯度铀的核燃料干法分离工艺。该工艺技术成熟,分离得到的铀品质好,但因高温氟化的反应条件对设备材质要求苛刻,该方法在乏燃料后处理领域未能得到很好的发展。本文通过比较不同氟化剂与铀化合物发生氟化反应时的反应热及反应平衡常数,着重探讨了采用对设备材料腐蚀相对较弱的NF3替代F2的理论可行性。结果表明,NF3替代F2作为氟化剂在反应热力学上是可行的;氟化反应时放出的反应热也不会对熔融盐反应体系的温度带来剧烈影响。 展开更多
关键词 高温化学 氟化反应 热力学 三氟化氮
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SF_6及NF_3生产过程中含氟废碱液的回收研究 被引量:2
8
作者 崔武孝 刘永生 +1 位作者 阎晓冬 张景利 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2004年第3期43-45,共3页
介绍SF6、NF3生产中,净化工序产生的含氟废碱液的再生方法,解决了含氟废碱液的环境污染问题,降低了生产成本。
关键词 SF6 nf3 生产过程 含氟废碱液 回收处理技术 环境保护
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FTIR法测定NF3中微量HF的分析方法探究 被引量:1
9
作者 谢腾升 焦培培 +3 位作者 王娟 杨亚琴 张亚平 付梦月 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2020年第5期63-67,共5页
根据NF3和HF在红外光谱上的差异性,建立利用傅里叶变换红外(FTIR)法测定NF3中HF的分析方法。HF有8个特征吸收峰,为避免检测过程中水蒸气的掩盖作用,选定在4038.96cm–1处的红外光谱吸收峰作为HF分析的定量标准峰。并据此建立起HF吸光度... 根据NF3和HF在红外光谱上的差异性,建立利用傅里叶变换红外(FTIR)法测定NF3中HF的分析方法。HF有8个特征吸收峰,为避免检测过程中水蒸气的掩盖作用,选定在4038.96cm–1处的红外光谱吸收峰作为HF分析的定量标准峰。并据此建立起HF吸光度–浓度的标准曲线,通过测定NF3成品1、2、3的数据,得到测定结果的相对偏差分别为0.88%、0.72%、1.00%,相对标准偏差分别为1.18%、0.95%和1.38%,均低于2%。由此可知方法的准确度和精密度均可满足分析要求,从而建立起准确可靠的测定NF3中微量HF的分析方法。 展开更多
关键词 nf3 FTIR HF 标准气体
原文传递
Effective modification of MgO with surface transition metal oxides for NF_3 decomposition 被引量:1
10
作者 Yanan Wang Xiufeng Xu PeiSheng Hongguang Li Tingting Wang Youfen Huang Fangshu Liu 《Journal of Natural Gas Chemistry》 EI CAS CSCD 2011年第5期457-459,共3页
NF3 decomposition over transition metal oxides coated MgO reagents in the absence of water is investigated. The results show that NF3 can be decomposed completely over pure MgO but the time of NF3 steady full conversi... NF3 decomposition over transition metal oxides coated MgO reagents in the absence of water is investigated. The results show that NF3 can be decomposed completely over pure MgO but the time of NF3 steady full conversion kept as short as 80 min, while the reactivities of coated MgO reagents were remarkably enhanced by transition metal oxides, for example the time of NF3 complete conversion over 12%Fe/MgO extended to 380 min. It is suggested that not only an increase in surface area but also a significant enhancement in the fluorination of MgO substrate caused by the surface transition metal oxides result in an improved reactivity of coated MgO reagents for NF3 decomposition. 展开更多
关键词 nf3 decomposition defluorinated reagents transition metal oxides coated MgO REACTIVITY
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Electrolytic Production of NF3 Using Boron-Doped Diamond Anode in Molten NH4F·2HF
11
作者 Akimasa Tasaka Yuki Iida +5 位作者 Tomoyuki Shiono Masaharu Uno Yoshinori Nishiki Tsuneto Furuta Morihiro Saito Minoru Inaba 《Journal of Chemistry and Chemical Engineering》 2012年第6期499-505,共7页
The current efficiency for NF3 formation was independent on the current density in the range of 200 to 1,000 mA·cm^2. The average values of NF3 current efficiencies on the BDD (boron-doped diamond) anode with t... The current efficiency for NF3 formation was independent on the current density in the range of 200 to 1,000 mA·cm^2. The average values of NF3 current efficiencies on the BDD (boron-doped diamond) anode with the boron-concentration of 2,500 ppm were 32.3% at 80℃, 63.3% at 100℃ and 59.7% at 120℃. The best current efficiencies for NF3 formation on the BDD anode with boron-concentrations of 2,500, 5,000 and 7,500 ppm were obtained at 100℃ and those were 63.3%, 73.3% and 56.2%, respectively. Although anode effect occurred on the BDD electrodes covered with a part of the surface of the spiculate structure, which had the boron-concentrations higher than 7,500 ppm, it did not take place on the BDD electrodes covered with the surface of diamond structure, even if the BDD electrode had the boron-concentration of 8,000 ppm. 展开更多
关键词 BDD (boron-doped diamond) electrode electrochemical synthesis of nf3 boron concentration current efficiency fornf3 formation degradation of BDD anode.
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液晶显示器(LCD)推动NF3需求 被引量:1
12
作者 胡长诚 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2005年第1期51-52,共2页
液晶显示器的需求促进NF3市场继续增长。目前LCD需求仅占NF3市场约20%,但LCD需求估计正在以每年30%速率增长.其他半导体应用仅增长10%。LCD制造商在全球NF3的需求增长中占40%以上.它用于去除残留在LCD玻璃上的薄膜沉积物。在半... 液晶显示器的需求促进NF3市场继续增长。目前LCD需求仅占NF3市场约20%,但LCD需求估计正在以每年30%速率增长.其他半导体应用仅增长10%。LCD制造商在全球NF3的需求增长中占40%以上.它用于去除残留在LCD玻璃上的薄膜沉积物。在半导体制造中.NF3用于去除化学蒸气沉积室的污物。Air Products&Chemicals(AP)公司是世界生产NF3的领头者. 展开更多
关键词 需求增长 nf3 市场 制造商 公司 LCD 世界 去除 化学蒸气沉积 玻璃
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电感耦合等离子体质谱法测定电子级NF3中金属杂质
13
作者 焦培培 黄晓磊 +3 位作者 杨亚琴 吴旭飞 付梦月 张亚平 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2018年第5期86-89,共4页
采用密闭的取样系统吸收电子级NF3中金属杂质,利用电感耦合等离子体质谱法(ICP—MS)测定了吸收液的金属杂质含量。结果表明:该方法测定电子级NF3中金属杂质含量的相对标准偏差≤3.09%,NF3中各项金属杂质含量远远低于指标3×10^–9。
关键词 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) nf3 金属杂质
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全氟温室气体NF_3与H自由基脱氟反应机理
14
作者 刘艳 《渭南师范学院学报》 2016年第16期40-44,共5页
用密度泛函B3PW91/6-311++G(d,p)方法研究了全氟温室气体NF3与H自由的脱氟反应机理,对反应势能面上各驻点的几何构型进行了全参数优化,并且对所有过渡态进行了确认。为获得更精确的能量,用较高水平QCISD(T)/6-311++G(d,p)//B3PW91/6-311... 用密度泛函B3PW91/6-311++G(d,p)方法研究了全氟温室气体NF3与H自由的脱氟反应机理,对反应势能面上各驻点的几何构型进行了全参数优化,并且对所有过渡态进行了确认。为获得更精确的能量,用较高水平QCISD(T)/6-311++G(d,p)//B3PW91/6-311++G(d,p)+ZPE进行了单点能校正。结果表明,NF3可经过两种反应机理脱去一个F原子:即直接抽提机理和加成-消去机理,反应的势垒分别为52.7、70.4和76.5 k J"mol^(-1),直接抽提反应是标题反应的主反应通道。所有反应均为放热反应,裂解产物NF_2+HF相对于反应物的能量为-337.9 k J"mol^(-1)。 展开更多
关键词 nf3 H自由基 反应机理
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微米印制技术中使用反应离子腐蚀过程的研究
15
作者 辛罡 周绪川 《西南民族大学学报(自然科学版)》 CAS 2013年第3期401-404,共4页
选取4英寸的晶元切割制成相同的测试样品.试验研究不同的腐蚀气体,以及混合气体配比腐蚀效果,得到对本试验所生成结构有利的腐蚀介质.研究调节腐蚀过程中的气体流速,压强,高频功率等参数组合,取得比试验参考数据高腐蚀速度,良好的表面... 选取4英寸的晶元切割制成相同的测试样品.试验研究不同的腐蚀气体,以及混合气体配比腐蚀效果,得到对本试验所生成结构有利的腐蚀介质.研究调节腐蚀过程中的气体流速,压强,高频功率等参数组合,取得比试验参考数据高腐蚀速度,良好的表面平整度,较高的腐蚀的选择比.器件结构的角度满足制作印制印章所需的脱模角度,实验研究讨论了不同工艺参数对反应离子腐蚀过程的作用的原理和影响,有助于分析和调节反应离子腐蚀的过程. 展开更多
关键词 反应离子腐蚀 腐蚀速度 腐蚀选择比 nf3
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Electron momentum spectroscopy of NF_3
16
作者 李嘉明 苗雨润 +1 位作者 邓景康 宁传刚 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第11期273-279,共7页
The electronic structure of nitrogen trifluoride was investigated by combining the high-resolution electron momentum spectroscopy with the high-level calculations. The experimental binding energy spectra and the momen... The electronic structure of nitrogen trifluoride was investigated by combining the high-resolution electron momentum spectroscopy with the high-level calculations. The experimental binding energy spectra and the momentum distributions of each orbital were compared with the results of Hartree-Fock, density functional theory (DFT), and symmetry-adapted- cluster configuration-interaction (SAC-CI) methods. SAC-CI and DFT-B3LYP with the aug-cc-pVTZ basis set can well reproduce the binding energy spectra and the observed momentum distributions of the valence orbitals except 1 a2 and 4e orbitals. It was found that the calculated momentum distributions using DFT-B3LYP are even better than those using the high-level SAC-CI method. 展开更多
关键词 electron momentum spectroscopy Dyson orbital nf3 symmetry-adapted-cluster configuration-interaction (SAC-CI) method
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国外信息
17
《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2004年第5期50-51,41,共2页
关键词 Isochem公司 投资 上海 光气化装置 KDK公司 nf3 生产能力 液晶显示器 半导体 氟化氮 Na2SiO 3 改性 Pd/A12O3催化剂 2-乙基蒽醌 2-乙基氢蒽醌 催化氢化 热塑性聚氨酯 甲苯二胺 甲苯二异氰酸酯 丁二醇 环氧丙烷 火箭 聚氨酯分散液 氧化铝 硅酸钠
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KZnF_3:Mn^(2+)晶体光谱和EPR谱热移动的研究
18
作者 范应娟 郑文琛 +1 位作者 吴晓轩 唐晟 《四川大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期1078-1080,共3页
The temperature dependence of optical and EPR spectra for KZnF3∶Mn2+ crystal is studied by considering the contributions from both the static effect and the vibrational effect.The results are discussed.
关键词 晶体 EPR谱 局部性质 光谱 掺杂 电荷 杂质离子 nf3 局部结构
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黎明院NF3项目荣登吴华2016十大亮点榜首
19
《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2017年第5期91-92,共2页
日前,中国化工集团公司吴华股份(科学院)发布入选2016十大亮点,黎明院申报的“集成创新国际先进技术,深化改革,引进外资,建成1000吨/年三氟化氮产业化装置”成功人选,并名列第一名。
关键词 nf3 中国化工集团公司 集成创新 引进外资 三氟化氮 科学院 产业化
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内耳相关性BDNF和NT-3的研究进展
20
作者 高下 贾林涛 +1 位作者 王锦玲 杨安钢 《听力学及言语疾病杂志》 CAS CSCD 2002年第1期51-53,共3页
关键词 内耳 神经营养因子 听觉功能 BDnf NGF GDnf nf3 听觉功能
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