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低温氮、氧等离子体处理碳纤维/树脂复合材料 被引量:5
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作者 杨涛 倪新亮 +4 位作者 金凡亚 沈丽如 陈美艳 童洪辉 龚学余 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期1214-1219,共6页
采用霍尔源辉光放电产生氧等离子体和氮等离子体,对成型碳纤维/树脂复合材料进行表面处理,通过浸润性分析、红外光谱分析和扫描电镜分析,探究氮、氧等离子体对碳纤维/树脂复合材料的影响,同时考察处理前后碳纤维/树脂复合材料表面基团... 采用霍尔源辉光放电产生氧等离子体和氮等离子体,对成型碳纤维/树脂复合材料进行表面处理,通过浸润性分析、红外光谱分析和扫描电镜分析,探究氮、氧等离子体对碳纤维/树脂复合材料的影响,同时考察处理前后碳纤维/树脂复合材料表面基团和形貌的变化。结果显示氮、氧等离子体处理后碳纤维/树脂复合材料与去离子水的接触角随气压和电流的增大均先迅速降低再缓慢增加,在电流为1.0 A,气压为1.0 Pa时,处理结果较佳,氧等离子体处理后碳纤维/树脂复合材料在去离子水中活化时效性稍强于氮等离子体;氮、氧等离子体处理后碳纤维/树脂复合材料表面刻蚀现象明显,粗糙度提高,纤维树脂间粘连程度增加,红外分析表明甲基、酯基被打断,分别引入CH2-O-CH2和C=N、C≡N等极性基团,上述结果表明:氮、氧等离子体处理是提高成型碳纤维/树脂复合材料表面性能的有效方法。 展开更多
关键词 氮等离子体 氧等离子体 浸润性 极性基团 碳纤维/树脂复合材料
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催化剂对低温等离子体降解吸附态甲苯的影响 被引量:5
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作者 朱海瀛 党小庆 +1 位作者 秦彩虹 滕晶晶 《环境工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第9期5075-5081,共7页
采用线管式介质阻挡反应器对低温等离子体循环降解甲苯进行研究,考察了吸附存储量、循环背景气体及不同催化剂成分对吸附态甲苯降解效果及副产物的影响,并进行了催化剂XRD分析及降解产物FT-IR分析。结果表明,氧气为循环背景气体时甲苯... 采用线管式介质阻挡反应器对低温等离子体循环降解甲苯进行研究,考察了吸附存储量、循环背景气体及不同催化剂成分对吸附态甲苯降解效果及副产物的影响,并进行了催化剂XRD分析及降解产物FT-IR分析。结果表明,氧气为循环背景气体时甲苯降解效果比空气时好。FT-IR分析显示催化剂的加入可使甲苯充分降解,显著提高COx产率、CO2选择性,减少副产物O3、N2O排放量。相同条件下,单组分催化剂对应COx产率依次为:Ce>Mn>Ag>Co,CO2选择性依次为:Ag>Mn>Co>Ce。双组分催化剂Mn/Ag、Ce/Ag可同时保持较高的COx产率和CO2选择性,氧气背景时COx产率分别达到80%、82%,CO2选择性均达到99.7%以上。空气背景时,Co对N2O的抑制效果最好,3组分催化剂Mn/Ag/Co、Ce/Ag/Co在保持较高的COx产率和CO2选择性同时可有效抑制N2O。 展开更多
关键词 催化剂 低温等离子体 降解 吸附态甲苯 n2O
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N_2微空心阴极放电特性及其阴极溅射的PIC/MC模拟 被引量:5
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作者 张连珠 孟秀兰 +2 位作者 张素 高书侠 赵国明 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期252-261,共10页
采用两维PIC/MCC模型模拟了氮气微空心阴极放电以及轰击离子(N+2,N+)的钛阴极溅射.主要计算了氮气微空心阴极放电离子(N+2,N+)及溅射原子Ti的行为分布,并研究了溅射Ti原子的热化过程.结果表明:在模拟条件下,空心阴极效应是负辉区叠加的... 采用两维PIC/MCC模型模拟了氮气微空心阴极放电以及轰击离子(N+2,N+)的钛阴极溅射.主要计算了氮气微空心阴极放电离子(N+2,N+)及溅射原子Ti的行为分布,并研究了溅射Ti原子的热化过程.结果表明:在模拟条件下,空心阴极效应是负辉区叠加的电子震荡;在对应条件下,微空心较传统空心放电两种离子(N+2,N+)密度均大两个量级,两种离子的平均能量的分布及大小几乎相同;在放电空间N+的密度约为N+2的1/6,最大能量约大2倍;在不同参数(P,T,V)下,轰击阴极内表面的氮离子(N+2,N+)的密度近似均匀,其平均能量几乎相等;从阴极溅射出的Ti原子的初始平均能量约6.8eV,离开阴极约0.15mm处几乎完全被热化.模拟结果为N2微空心阴极放电等离子体特性的认识提供了参考依据. 展开更多
关键词 微空心阴极放电 PIC MC模拟 n2等离子体
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等离子体法制备超细粉体氮化铝的研究 被引量:5
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作者 尚书勇 梅丽 +2 位作者 李兰英 印永祥 戴晓雁 《化工新型材料》 CAS CSCD 2004年第7期8-10,共3页
以微米级铝粉为原料 ,用N2 热等离子体法制备了超细氮化铝粉体。在等离子体功率12kW ,运行N2 流量 2m3/h ,急冷NH3流量 0 6m3/h ,送粉N2 流量 0 8m3/h条件下 ,铝粉全部转化为纳米氮化铝。采用SEM技术和粒度分析仪对产品进行了分析 ,... 以微米级铝粉为原料 ,用N2 热等离子体法制备了超细氮化铝粉体。在等离子体功率12kW ,运行N2 流量 2m3/h ,急冷NH3流量 0 6m3/h ,送粉N2 流量 0 8m3/h条件下 ,铝粉全部转化为纳米氮化铝。采用SEM技术和粒度分析仪对产品进行了分析 ,制得的氮化铝粉末平均粒径为10 0nm ,粒度分布为 4 0~ 14 展开更多
关键词 氮气等离子体法 制备 超细粉体材料 氮化铝 微米级铝粉 n2 SEM技术 粒度分析仪 合成纳米材料
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纳米TiO_(2)的制备及氮等离子体改性的研究 被引量:1
5
作者 邓仕英 李俊 刘长生 《武汉化工学院学报》 2006年第3期39-42,共4页
采用醇盐钛酸四丁酯(TNB)的乙醇溶液,在70℃下进行分步水解与结晶,制备了锐钛矿相型纳米二氧化钛(TiO_(2))粉体并用氮等离子体辐照改性.以XRD、TG-DSC等方法对粉体进行了表征.用重铬酸根离子(Cr2O72-)还原为探针反应表征二氧化钛粉体的... 采用醇盐钛酸四丁酯(TNB)的乙醇溶液,在70℃下进行分步水解与结晶,制备了锐钛矿相型纳米二氧化钛(TiO_(2))粉体并用氮等离子体辐照改性.以XRD、TG-DSC等方法对粉体进行了表征.用重铬酸根离子(Cr2O72-)还原为探针反应表征二氧化钛粉体的光催化性能;结果表明:当控制反应条件在pH=7、H2O/TNB的摩尔比为400,制备出的TiO2粉体经300℃热处理后产物的光催化性能最优;通过UV分析发现样品经氮等离子体辐照后,其吸收峰明显红移;辐照7min所得样品的光催化性能最佳.表明氮等离子体辐照对样品的光催化性能有较大影响. 展开更多
关键词 氮等离子体 辐照 二氧化钛 光催化
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Interhemispheric and longitudinal differences in the ionosphere-thermosphere coupling process during the May 2024 superstorm
6
作者 WenBo Li LiBo Liu +5 位作者 YuYan Yang TingWei Han RongJin Du RuiLong Zhang HuiJun Le YiDing Chen 《Earth and Planetary Physics》 EI CAS CSCD 2024年第6期910-919,共10页
Geomagnetic storm events have a strong influence on the ionosphere–thermosphere(I-T)coupling system.Analyzing the regional response process of the I-T system and its differences across the northern and southern hemis... Geomagnetic storm events have a strong influence on the ionosphere–thermosphere(I-T)coupling system.Analyzing the regional response process of the I-T system and its differences across the northern and southern hemispheres is an important but challenging task.In this study,we used a combination of multiple observations and a model simulation to examine the north–south hemispheric difference in the I-T coupling system in the American and Asian sectors during the geomagnetic superstorm that occurred in May 2024.Observations of the total electron content(TEC)showed that the Asian sector had negative storms in the northern hemisphere and positive storms in the southern hemisphere,a process that exacerbated the hemispheric differences in the TEC.However,both hemispheres of the American sector showed negative storms.The thermospheric composition changes also differed between the two sectors,and their variation could partially explain the hemispheric differences caused by positive and negative storms.Moreover,the influence of the thermospheric density change was less than that of the thermospheric composition.Finally,the dynamic effect of the thermospheric wind and the plasma transport processes strongly modulated the north–south differences in the TEC at nighttime in the American and Asian sectors,respectively,during this superstorm. 展开更多
关键词 geomagnetic superstorm north–south hemispheric difference total electron content O/n2 thermospheric wind plasma transport
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Ti-Mg对SiCp/Al复合材料等离子弧原位焊接性能的影响 被引量:1
7
作者 雷玉成 李贤 +2 位作者 陈刚 程晓农 张建会 《江苏大学学报(自然科学版)》 EI CAS 北大核心 2008年第1期39-42,共4页
为分析SiCp/Al基复合材料的焊接性,以Ti-Mg混合粉末作为填充材料,采用氮氩混合等离子气体对SiCp/Al基复合材料进行等离子弧原位焊接.结果表明,填充Ti-Mg混合粉末进行等离子弧原位焊接时接头组织致密,结合较好,焊缝组织中生成了新的增强... 为分析SiCp/Al基复合材料的焊接性,以Ti-Mg混合粉末作为填充材料,采用氮氩混合等离子气体对SiCp/Al基复合材料进行等离子弧原位焊接.结果表明,填充Ti-Mg混合粉末进行等离子弧原位焊接时接头组织致密,结合较好,焊缝组织中生成了新的增强颗粒,未发现明显的针状相,从而有效地提高了接头的力学性能.力学性能试验表明,采用Ti-Mg混合粉末进行等离子弧原位焊接所获得的最大拉伸强度为204.7 MPa.此外还探讨了Mg在等离子弧原位焊接中的作用. 展开更多
关键词 SICP/AL基复合材料 等离子弧 原位焊接 Ti-Mg Ar+n2
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分子筛吸附--低温等离子体氧化去除甲苯 被引量:3
8
作者 赵军杰 党小庆 +3 位作者 秦彩虹 康忠利 郭惠 刘聘 《环境污染与防治》 CAS CSCD 北大核心 2018年第5期562-565,共4页
利用分子筛吸附—低温等离子体氧化工艺去除甲苯,比较了HY、13X、ZSM-5 3种不同分子筛的性能、处理效果及副产物。结果表明:3种分子筛的BET比表面积、穿透吸附量和饱和吸附量均表现为HY>13X>ZSM-5;3种分子筛用于分子筛吸附—低温... 利用分子筛吸附—低温等离子体氧化工艺去除甲苯,比较了HY、13X、ZSM-5 3种不同分子筛的性能、处理效果及副产物。结果表明:3种分子筛的BET比表面积、穿透吸附量和饱和吸附量均表现为HY>13X>ZSM-5;3种分子筛用于分子筛吸附—低温等离子体氧化均能100%去除甲苯,但最终的碳平衡和CO_2选择性以HY为分子筛时最好,以ZSM-5为分子筛时最差;ZSM-5分子筛条件下产生的副产物O_3和N_2O均最多,而HY分子筛条件下产生的副产物O_3和N_2O均最少。因此,对于分子筛吸附—低温等离子体氧化去除甲苯而言,HY作为分子筛时效果最佳,而ZSM-5作为分子筛时效果最差。 展开更多
关键词 分子筛 低温等离子体 甲苯 n2O O3
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N_2O Plasma表面处理对SiN_x基IGZO-TFT性能的影响 被引量:2
9
作者 李俊 周帆 +4 位作者 林华平 张浩 张建华 蒋雪茵 张志林 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期400-403,共4页
采用N2O plasma处理SiNx薄膜作为绝缘层,以室温下沉积的铟镓锌氧化物(IGZO)作为有源层制备了IGZO薄膜晶体管。与常规的IGZO-TFT相比,N2O plasma处理过的IGZO-TFT的迁移率由原来的4.5 cm2.V-1.s-1增加至8.1 cm2.V-1.s-1,阈值电压由原来的... 采用N2O plasma处理SiNx薄膜作为绝缘层,以室温下沉积的铟镓锌氧化物(IGZO)作为有源层制备了IGZO薄膜晶体管。与常规的IGZO-TFT相比,N2O plasma处理过的IGZO-TFT的迁移率由原来的4.5 cm2.V-1.s-1增加至8.1 cm2.V-1.s-1,阈值电压由原来的11.5 V减小至3.2 V,亚阈值摆由原来的1.25 V/decade减小至0.9V/decade。采用C-V方法计算了两种器件的陷阱态,结果发现N2O plasma处理过的IGZO-TFT的陷阱态明显小于普通的IGZO-TFT的陷阱态,表明N2O plasma处理SiNx绝缘层是一种改善IGZO-TFT器件性能的有效方法。 展开更多
关键词 薄膜晶体管 InGAZnO plasma处理 n2O
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N2负流柱放电过程仿真(英文) 被引量:2
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作者 赵文君 汪德才 郑殿春 《哈尔滨理工大学学报》 CAS 2014年第3期89-94,99,共7页
采用粒子连续性方程耦合泊松方程构建氮气放电流体模型,使用有限元法对该模型求解,获得窄间隙(5 mm)氮气放电过程粒子动力学特性.由仿真结果可知:在均匀电场中,流柱头部粒子密度随放电过程的发展不断增大;流柱头部电子密度及电场强度随... 采用粒子连续性方程耦合泊松方程构建氮气放电流体模型,使用有限元法对该模型求解,获得窄间隙(5 mm)氮气放电过程粒子动力学特性.由仿真结果可知:在均匀电场中,流柱头部粒子密度随放电过程的发展不断增大;流柱头部电子密度及电场强度随初始电子密度的增加而逐渐增大;初始电荷分布直径大小直接影响流柱的发展速度;另外,对于负流柱放电,粒子密度梯度及电场分布随外电场增大而增大. 展开更多
关键词 氮气 等离子体通道 流注放电 流体模型 有限元法
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The Effect of Gas Flow Rate on Radio-Frequency Hollow Cathode Discharge Characteristics 被引量:1
11
作者 赵国明 孙倩 +2 位作者 赵书霞 高书侠 张连珠 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第7期669-676,共8页
It is known that gas flow rate is a key factor in controlling industrial plasma processing. In this paper, a 2D PIC/MCC model is developed for an rf hollow cathode discharge with an axial nitrogen gas flow. The effect... It is known that gas flow rate is a key factor in controlling industrial plasma processing. In this paper, a 2D PIC/MCC model is developed for an rf hollow cathode discharge with an axial nitrogen gas flow. The effects of the gas flow rate on the plasma parameters are calculated and the results show that: with an increasing flow rate, the total ion(N+2, N+) density decreases, the mean sheath thickness becomes wider, the radial electric field in the sheath and the axial electric field show an increase, and the energies of both kinds of nitrogen ions increase;and, as the axial ion current density that is moving toward the ground electrode increases, the ion current density near the ground electrode increases. The simulation results will provide a useful reference for plasma jet technology involving rf hollow cathode discharges in N2. 展开更多
关键词 gas flow rate rf hollow cathode discharge PIC/MCC simulation n2 plasma
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InP表面氮化对Al_2O_3/InP金属氧化物半导体电容界面特性及漏电特性的影响 被引量:1
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作者 曹明民 林子曾 +5 位作者 王盛凯 李琦 肖功利 高喜 刘洪刚 李海鸥 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期110-116,共7页
采用原子层沉积系统中自带的等离子体发生器产生N_2等离子体直接处理InP表面,系统地研究了氮化对Al_2O_3/InP金属氧化物半导体(MOS)电容界面特性及栅漏电特性的影响。实验结果表明,氮化能有效降低界面缺陷密度和边界缺陷密度,抑制InP表... 采用原子层沉积系统中自带的等离子体发生器产生N_2等离子体直接处理InP表面,系统地研究了氮化对Al_2O_3/InP金属氧化物半导体(MOS)电容界面特性及栅漏电特性的影响。实验结果表明,氮化能有效降低界面缺陷密度和边界缺陷密度,抑制InP表面自然氧化物的形成,改善界面质量,提高Al_2O_3/InP MOS电容的电学性能。氮化之后,在Al_2O_3/InP界面会形成一个约为0.8 nm厚的界面层,积累区频散由7.8%降低至3.5%,滞回由130减小至60 mV,界面缺陷密度由5×10^(12)降低至2×10^(12)cm^(-2)·eV^(-1),边界缺陷密度由9×10^(11)降低至5.85×10^(11)V^(-1)cm^(-2),栅漏电流由9×10^(-5)降低至2.5×10^(-7)A/cm^2,这些数据充分证明了采用N_2等离子体直接处理InP表面来钝化Al_2O_3/InP界面的方法是有效的。 展开更多
关键词 n2等离子体 界面缺陷 边界缺陷 滞回 频散 漏电流
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Improved performance of Au nanocrystal nonvolatile memory by N2-plasma treatment on HfO2blocking layer
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作者 Chen Wang Yi-Hong Xu +5 位作者 Song-Yan Chen Cheng Li Jian-Yuan Wang Wei Huang Hong-Kai Lai Rong-Rong Guo 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第6期410-414,共5页
The N2-plasma treatment on a HfO2 blocking layer of Au nanocrystal nonvolatile memory without any post annealing is investigated. The electrical characteristics of the MOS capacitor with structure of Al–Ta N/HfO2/Si ... The N2-plasma treatment on a HfO2 blocking layer of Au nanocrystal nonvolatile memory without any post annealing is investigated. The electrical characteristics of the MOS capacitor with structure of Al–Ta N/HfO2/Si O2/p-Si are also characterized. After N2-plasma treatment, the nitrogen atoms are incorporated into HfO2 film and may passivate the oxygen vacancy states. The surface roughness of HfO2 film can also be reduced. Those improvements of HfO2 film lead to a smaller hysteresis and lower leakage current density of the MOS capacitor. The N2-plasma is introduced into Au nanocrystal(NC) nonvolatile memory to treat the HfO2 blocking layer. For the N2-plasma treated device, it shows a better retention characteristic and is twice as large in the memory window than that for the no N2-plasma treated device. It can be concluded that the N2-plasma treatment method can be applied to future nonvolatile memory applications. 展开更多
关键词 Au nanocrystal nonvolatile memory n2-plasma HfO2 dielectric film.
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The effect of nitridation and sulfur passivation for In0.53Ga0.47As surfaces on their Al/Al2O3/InGaAs MOS capacitors properties
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作者 林子曾 曹明民 +5 位作者 王盛凯 李琦 肖功利 高喜 刘洪刚 李海鸥 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 2016年第2期155-159,共5页
The impact of nitridation and sulfur passivation for Ino.s3Gao.47As surfaces on the A1/A1203/InGaAs MOS capacitors properties was investigated by comparing the characteristics of frequency dispersion and hysteresis, c... The impact of nitridation and sulfur passivation for Ino.s3Gao.47As surfaces on the A1/A1203/InGaAs MOS capacitors properties was investigated by comparing the characteristics of frequency dispersion and hysteresis, calculating the Dit and ANbt values, and analyzing the interface traps and the leakage current. The results showed that both of the methods could form a passivation-layer on the InGaAs surface. The samples treated by N2 plasma could obtain good interface properties with the smallest frequency dispersion in the accumulation region, and the best hysteresis characteristics and good I-V properties were presented. Also the samples with (NH4)ESx treatment showed the smallest frequency dispersion near the flat-band region and a minimum Dit value of 2.6 x10^11 cm-2 eV-1. 展开更多
关键词 n2 plasma nH4)2Sx treatment interface properties MOS capacitors
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N_2-Ar射频放电表面氮化的等离子体特性模拟
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作者 孙倩 杨莹 +3 位作者 赵海涛 郝莹莹 张连珠 赵国明 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期128-132,共5页
N2-Ar射频放电等离子体广泛应用于微电子工业的刻蚀、氮化物薄膜的制备及金属表面氮化等技术领域。开发了N2-Ar混合气体容性耦合射频放电PIC/MC自洽模型,模型主要描述了e-,N2+,N+,Ar+等主要带电粒子的行为分布。等离子体的碰撞过程分别... N2-Ar射频放电等离子体广泛应用于微电子工业的刻蚀、氮化物薄膜的制备及金属表面氮化等技术领域。开发了N2-Ar混合气体容性耦合射频放电PIC/MC自洽模型,模型主要描述了e-,N2+,N+,Ar+等主要带电粒子的行为分布。等离子体的碰撞过程分别考虑了带电粒子(e-,N2+,N+,Ar+)与基态中性N2分子和Ar原子的21种碰撞反应过程。模拟结果表明,在纯N2及N2-Ar混合气体容性耦合射频放电中,各种带电粒子的数密度都在等离子体区达到最大值,且氮分子离子为主要粒子;在N2容性耦合射频放电中,加入10%氩气时,N+平均能量有所增加,在射频电极处两种氮离子(N2+,N+)高能粒子所占比例增加。本研究对认识N2-Ar射频放电等离子体过程微观机理具重要意义。 展开更多
关键词 n2.Ar射频放电 PIC/MC模型 氮等离子体
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太阳电池生产线氮气使用量的计算
16
作者 王伟 刘婷 李锴 《中国建设动态(阳光能源)》 2010年第10期68-69,共2页
本文介绍在太阳电池生产线建设过程中,要以严谨的态度计算水、电、气等各种消耗量数据,结合作者实际经验并以N2为例,详细描述如何正确计算N2的平均消耗量。
关键词 n2 清洗制绒 去磷硅玻璃(PSG) 扩散 刻蚀 甩干 PECVD
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太阳电池生产线氮气使用量的计算
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作者 王伟 刘婷 李锴 《中国建设动态(阳光能源)》 2010年第5期68-69,共2页
本文介绍在太阳电池生产线建设过程中,要以严谨的态度计算水、电、气等各种消耗量数据,结合作者实际经验并以N2为例,详细描述如何正确计算N2的平均消耗量。
关键词 n2 清洗制绒 去磷硅玻璃(PSG) 扩散 刻蚀 甩干 PECVD
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N_2流量对等离子体增强磁控溅射TiN涂层的影响 被引量:8
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作者 谢启 付志强 +1 位作者 岳文 王成彪 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第6期161-167,共7页
目的研究N_2流量对等离子体增强磁控溅射TiN涂层组织结构和性能的影响,优化TiN涂层的制备工艺。方法在不同N_2流量的条件下,采用等离子体增强磁控溅射法制备TiN涂层。采用3D形貌仪和扫描电子显微镜观察涂层的表面形貌,利用X射线衍射仪... 目的研究N_2流量对等离子体增强磁控溅射TiN涂层组织结构和性能的影响,优化TiN涂层的制备工艺。方法在不同N_2流量的条件下,采用等离子体增强磁控溅射法制备TiN涂层。采用3D形貌仪和扫描电子显微镜观察涂层的表面形貌,利用X射线衍射仪测定涂层的相结构,利用显微硬度计测试涂层试样的硬度,利用球-盘摩擦磨损试验机考察涂层试样的摩擦磨损性能,利用能谱仪分析磨痕表面的化学组成。结果 N_2流量小于61.5 mL/min时,增加N_2流量对总气压和靶电压的影响很小;N_2流量超过61.5 mL/min后,总气压和靶电压均随着N_2流量的增加而显著增大。随着N_2流量的增大,制备的TiN涂层X射线衍射谱中的TiN(111)、TiN(220)衍射峰强度不断增大,TiN(200)衍射峰强度先不变后突然减小。N_2流量约为61.5 mL/min时,制备的TiN涂层试样的致密性最好,硬度最高。N_2流量在50~61.5 mL/min范围内,制备的TiN涂层试样的磨损率较低,最低可达7.4×10^(-16) m^3/(N·m)。当N_2流量超过63 mL/min后,TiN涂层试样的磨损率显著增大。结论 N_2流量对等离子体增强磁控溅射TiN涂层择优取向、硬度及摩擦磨损性能的影响较显著,N_2流量约为61.5 mL/min时,制备的TiN涂层试样的硬度和耐磨性最好。 展开更多
关键词 等离子体增强磁控溅射 TIn涂层 n2流量 迟滞回线 微观结构 摩擦磨损性能
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射频感应耦合Ar-N2等离子体物理特性的Langmuir探针测量及理论研究 被引量:7
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作者 高飞 毛明 +1 位作者 丁振峰 王友年 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期5123-5129,共7页
分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N2含量的变化规律.实验研究结果表明:电子能量分布呈现出非Maxwell型分布,并由双温分布向三温分布过渡;电... 分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N2含量的变化规律.实验研究结果表明:电子能量分布呈现出非Maxwell型分布,并由双温分布向三温分布过渡;电子温度在不同的气压下随N2含量的增加呈现出不同的变化规律.在放电气压小于1.3Pa时,电子温度随N2含量的增加而下降;当气压大于1.3Pa时,电子温度随N2含量的增加先迅速上升而后缓慢下降.在不同的放电气压下,电子密度随N2含量的增加迅速下降.数值模拟结果与Langmuir探针测量结果趋势一致. 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 Ar-n2混合气体放电 电子能量分布 LAnGMUIR探针
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纳秒脉冲电源作用下沿面介质阻挡放电等离子体激励器的特性 被引量:7
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作者 郝玲艳 李清泉 +1 位作者 秦冰阳 史瑞楠 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期2936-2942,共7页
沿面介质阻挡放电(SDBD)等离子体在空气动力学、生物医学以及环境保护等领域具有广阔的应用前景。为了进一步了解激励器结构对SDBD等离子体放电特性参数的影响,采用光电联合测量手段,分析了在ns脉冲电源作用下,等离子体激励器电极的封... 沿面介质阻挡放电(SDBD)等离子体在空气动力学、生物医学以及环境保护等领域具有广阔的应用前景。为了进一步了解激励器结构对SDBD等离子体放电特性参数的影响,采用光电联合测量手段,分析了在ns脉冲电源作用下,等离子体激励器电极的封装和对称性对放电电流、N2(C3Πu)振转温度、电子温度、电子密度等等离子体特性参数的影响。结果表明:封装有利于稳定放电,能够提高发射光谱的强度和振转温度,增加电子密度;与非对称结构等离子体激励器相比,对称结构等离子激励器放电发生的时刻较早,存在较为明显的二次放电,且具有较高的电流峰值、N2(C3Πu)振转温度、电子温度以及电子密度。当频率从200 Hz增加到1 400 Hz时,3种结构等离子体激励器放电对应的谱线强度和转动温度增加,振动温度下降,电子温度受重复频率的影响较小。研究结果有利于深入理解ns脉冲的放电机理及能量传递机理。 展开更多
关键词 SDBD等离子体激励器 nS脉冲 光谱强度 n2(C3Πu)振转温度 电子温度 电子密度
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