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110 GHz可溯源的On-wafer GaAs基Multi-TRL校准标准件研制 被引量：3
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作者 袁思昊 刘欣萌 黄辉 《计量学报》 CSCD 北大核心 2019年第5期760-764,共5页
设计制作了用于1~110GHzOn-wafer散射参数测试系统自校准的GaAs基Multi-TRL校准标准件。主要验证了Multi-TRL校准标准件设计的正确性;经过与国外计量标准及商用校准件比对,还验证了在频率范围1GHz^110GHz,用于Multi-TRL校准的校准标准... 设计制作了用于1~110GHzOn-wafer散射参数测试系统自校准的GaAs基Multi-TRL校准标准件。主要验证了Multi-TRL校准标准件设计的正确性;经过与国外计量标准及商用校准件比对,还验证了在频率范围1GHz^110GHz,用于Multi-TRL校准的校准标准件的准确性。 展开更多
关键词 计量学 共面波导 W波段 On-wafer 砷化镓 multi-trl校准件 散射参数
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