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现代X光电子能谱(XPS)分析技术 被引量:48
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作者 吴正龙 刘洁 《现代仪器》 2006年第1期50-53,共4页
现代电子能谱仪有3个主要功能:单色XPS(Mono XPS)、小面积XPS(SAXPS)和成像XPS(iXPS),被认为是光电子能谱仪发展方向。本文介绍这3个功能突出的特点及在材料微分析方面的实际应用。
关键词 单色xps 小面积xps 成像xps 显微分析
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