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超精瞄准定位系统的研究
被引量：
1
1
作者
浦昭邦
赵辉
+1 位作者
蔡红红
王建民
《计量学报》
CSCD
北大核心
1997年第2期81-84,共4页
本文对高精度孔径测量中超精瞄准定位系统的微位移技术及其控制方法进行了研究，在采用闭环控制和双频激光干涉仪检测的情况下可达００３μｍ的瞄准定位精度。
关键词
瞄准定位
微位移技术
孔径测量
超精加工
下载PDF
职称材料
题名
超精瞄准定位系统的研究
被引量：
1
1
作者
浦昭邦
赵辉
蔡红红
王建民
机构
哈尔滨工业大学
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
1997年第2期81-84,共4页
文摘
本文对高精度孔径测量中超精瞄准定位系统的微位移技术及其控制方法进行了研究，在采用闭环控制和双频激光干涉仪检测的情况下可达００３μｍ的瞄准定位精度。
关键词
瞄准定位
微位移技术
孔径测量
超精加工
Keywords
Ultra
precision
aiming
and
locating
microdisplacement
technique
Closed
loop
control
分类号
TH161.5 [机械工程—机械制造及自动化]
TG52 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超精瞄准定位系统的研究
浦昭邦
赵辉
蔡红红
王建民
《计量学报》
CSCD
北大核心
1997
1
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