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一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪 被引量：17
1
作者 周连群 吴一辉 +3 位作者 张平 宣明 贾宏光 李正刚 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期637-642,共6页
研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验... 研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响,通过测试系统分辨率的实验,验证了采用微硅片狭缝的可行性。同时,对微小型光纤光谱仪的光谱带宽和像元分辨力进行了讨论,为波长的标定提供了一种理论依据。通过对采集的汞灯谱线的分析和MATLAB的精确计算,验证了所提出的通用波长-像元迭代公式的正确性,从而研制出了一种采用微硅片狭缝的半峰全宽为0.85 nm,波长标定精度小于0.2 nm,体积为50 mm×46 mm×14 mm的微小型光纤光谱仪。 展开更多
关键词 微硅片狭缝 微小型光纤光谱仪 微光机电系统 分辨率 波长标定公式
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一种基于MEMS微硅多狭缝分光光度计 被引量：3
2
作者 郝鹏 吴一辉 +3 位作者 张平 刘永顺 张科 黎海文 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1713-1716,共4页
研制出了一种采用后分光技术,微硅片多狭缝进行像元分割,硅光电二极管阵列为探测器的微型分光光度计。分析了光谱带宽对测试得到的溶液吸光度线性相关性的影响,讨论了分光前后狭缝宽度与分光光度计光谱带宽之间的关系,为分光光度计前后... 研制出了一种采用后分光技术,微硅片多狭缝进行像元分割,硅光电二极管阵列为探测器的微型分光光度计。分析了光谱带宽对测试得到的溶液吸光度线性相关性的影响,讨论了分光前后狭缝宽度与分光光度计光谱带宽之间的关系,为分光光度计前后狭缝的设计提供了理论依据。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、精度高、厚度薄的一体式微硅片狭缝,并将其应用于分光光度计中。采用此分光光度计对线性吸光度溶液进行测试,结果表明线性相关系数大于0.999,说明所研制的采用微硅片狭缝的分光光度计具有高度线性相关性。 展开更多
关键词 微硅狭缝 微型分光光度计 微光机电系统 光谱带宽
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应用二维微硅片狭缝阵列的阿达玛光谱仪 被引量：7
3
作者 范玉 吴一辉 +3 位作者 宣明 张平 周连群 庄须叶 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2724-2729,共6页
为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析。利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式。... 为了实现对微弱信号的光谱分析,采用Offner光学结构制作了高光通量高分辨率阿达玛光谱仪,并对光谱仪入射狭缝的类型选择进行分析。利用MEMS加工技术制作出阿达玛微硅片狭缝阵列,分析了入射狭缝的衍射现象,推导出衍射后的光强分布公式。采用Matlab软件对光强分布进行仿真,搭建了实验测量平台验证仿真结果。结果显示,在相同的条件下,阿达玛S15型狭缝阵列的光通量是阿达玛循环S15型狭缝阵列的1.45倍,推导得出的衍射光强分布公式正确,仿真方法准确,测试方法合理,表明阿达玛S型微硅片狭缝阵列适合本文设计的光谱仪。 展开更多
关键词 阿达玛光谱仪 微硅片狭缝阵列 光通量 阿达玛S型狭缝阵列 阿达玛循环S型狭缝阵列
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基于MEMS技术的微型分光光度计 被引量：5
4
作者 周连群 吴一辉 +3 位作者 张平 宣明 李正刚 贾宏光 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期990-997,共8页
研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高的微硅片对准机构和微硅片狭缝,并且对其性能进行了分析和论证。同时对影响分光光度计线性度精度的样品池的光学特性进行了分析,... 研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高的微硅片对准机构和微硅片狭缝,并且对其性能进行了分析和论证。同时对影响分光光度计线性度精度的样品池的光学特性进行了分析,推导出了透射光强与样品池的折射率、被探测介质的折射率关系式,并进一步分析因折射率引起光强的变化对吸光度的影响。实验结果表明,该微型分光光度计可以分辨出介质折射率相差0.01介质,同时参比介质的不同仅仅对A-C曲线产生平移,而对相关系数和斜率无任何影响,通过对实验数据的计算得到以空气和蒸馏水两种折射率的介质为参比时的系统相关系数都大于0.999,说明所研制的基于MEMS技术的微型分光光度计具有高度显著线性相关性。 展开更多
关键词 微硅片对准 微硅片狭缝 微型分光光度计 微小型光纤光谱仪 微光机电系统
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微硅狭缝紫外-可见光谱仪杂散光的产生与抑制 被引量：6
5
作者 黎海文 郝鹏 吴一辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期737-742,共6页
采用MEMS技术,研制了一种基于微硅狭缝的紫外-可见光谱仪。介绍了该光谱仪的系统组成,分析了其杂散光的产生原因,着重讨论了光谱仪的关键部件-微硅狭缝的直线度、厚度与杂散光之间的关系,并对狭缝直线度产生的杂散光进行了实验验证。针... 采用MEMS技术,研制了一种基于微硅狭缝的紫外-可见光谱仪。介绍了该光谱仪的系统组成,分析了其杂散光的产生原因,着重讨论了光谱仪的关键部件-微硅狭缝的直线度、厚度与杂散光之间的关系,并对狭缝直线度产生的杂散光进行了实验验证。针对以卤钨灯为光源的紫外-可见光谱仪进行测量时,紫外部分能量低,杂散光严重的问题,提出一种组合滤光片法,通过在入射狭缝前和探测器前增加双重滤光片,平衡紫外-可见光范围内各谱段的光波强度,抑制紫外波长处杂散光的影响。实验结果表明:采用组合滤光片法抑制杂散光后,杂散光降低为抑制前的23%。 展开更多
关键词 紫外-可见光谱仪 杂散光 滤光片 微硅狭缝
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